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公开(公告)号：CN115014575A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210661316.X
申请日：2022-06-13
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01K11/3206 , G01N21/41 , G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种具有折射率自补偿的温度测量传感器，属于光纤传感器技术领域。该传感器包括同轴依次连接的第一单模光纤、第一多模光纤、镀膜细芯光纤、第二多模光纤和第二单模光纤，所述镀膜细芯光纤的径向由内向外依次设有纤芯、包层和金属膜，其中纤芯直径为3.8‑9μm，包层直径为80‑125μm，金属膜厚为40‑60nm。本发明基于MZI原理测量折射率和温度，SPR原理测量折射率，实现折射率自补偿功能，具有成本低、体积小、使用寿命长，制备安全等优点。
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公开(公告)号：CN114965302A
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202210630771.3
申请日：2022-06-06
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N21/25 , G01N21/552 , C25D1/04 , B82Y40/00 , B82Y15/00
Abstract: 本发明公开了湿度传感器技术领域的一种纳米陀螺形结构阵列的湿度传感器及其制备方法，包括：包括能够引起的F_P模式的纳米陀螺形结构阵列，且纳米陀螺形结构阵列中部设置有能够引起圆盘SPP模式的圆盘阵列，所述纳米陀螺形结构阵列的F_P模式和圆盘阵列的圆盘SPP模式叠加形成Fano模式，所述纳米陀螺形结构阵列中还设置有吸水材料，且吸水材料在不同湿度的空气中，通过自身吸水量的变化改变纳米陀螺形结构阵列的谐振模式，进而使纳米陀螺形结构阵列在光照下反射出不同颜色的光。本发明解决现有传感器寿命短，稳定性差，精度低，可重复性差的缺陷。
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公开(公告)号：CN113324949A
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202110629305.9
申请日：2021-06-07
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01N21/41
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米同轴波导管的光纤氢气传感器及其制备方法，涉及气体传感器技术领域。该光纤氢气传感器由光纤、设置于光纤端面上的周期性环形同轴波导管阵列结构以及包裹于周期性环形同轴波导管阵列结构外侧的钯层组成。通过光谱仪检测微结构激发表面等离激元共振的波长位置的移动判断氢气浓度的变化，以高灵敏度的光学检测方法测量氢气，同时具有高稳定、低外界干扰的特性。相比于现有氢气传感器，本发明中的结构和制备方法灵敏度高，可靠性高，成本低，体积小，功耗低，易于组成传感网络等。
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公开(公告)号：CN110207760A
公开(公告)日：2019-09-06
申请号：CN201910608958.1
申请日：2019-07-08
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了同时检测温度与湿度的光纤传感器，属于光纤传感技术领域，包括普通单模光纤，该普通单模光纤芯层为普通单模光纤纤芯；在普通单模光纤上设置裸芯区域，露出普通单模光纤纤芯；在裸芯区域上覆盖金膜，在金膜上覆盖PDMS膜，形成基于等离子体共振的温度传感器；普通单模光纤一侧端面与空芯光子晶体光纤一侧的端面熔接，形成基于法布里-珀罗干涉的检测湿度传感器。本发明还公开了其制备方法。本发明制作普通单模光纤一定长度的裸芯区域，并在裸芯区域涂覆金膜，在金膜上涂覆PDMS膜，形成基于等离子体共振的温度传感器部分，普通单模光纤与空芯光子晶体光纤进行熔接，并在空芯光子晶体光纤的右端面涂覆PVA膜，形成F-P腔，形成基于法布里—珀罗干涉仪的气体检测传感器；其制备方法简单，成本低。
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公开(公告)号：CN109540179A
公开(公告)日：2019-03-29
申请号：CN201811569503.5
申请日：2018-12-21
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01D5/26
CPC classification number: G01D5/268
Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离子体共振的光纤锥形传感探头及其制作方法，传感探头包含单模光纤、金属-金属氧化物复合膜、敏感膜、以及金属反射薄膜；单模光纤末端的纤芯被拉伸为锥形探针；金属-金属氧化物复合膜覆盖在锥形探针的锥腰表面；敏感膜覆盖在所述金属-金属氧化物复合膜的表面上；金属反射薄膜设置在所述锥形探针末端的端面上。制备时，首先对单模光纤进行熔融拉锥，然后用光纤切割刀将锥形光纤从锥腰处切成两段，形成两根锥形光纤探针；最后依次在锥形光纤探针上镀膜。本发明结构简单、成本低；利用反射式结构可以将传感探头伸进特定的工作环境下，可以避免测量人员与被测物的直接接触，从而提高安全性。
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公开(公告)号：CN106052915B
公开(公告)日：2019-02-01
申请号：CN201610582111.7
申请日：2016-07-22
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS光纤压力传感器及制作方法，包括光纤、压力敏感元件和基座，所述基座的上表面设置有光纤槽，所述光纤安装在所述光纤槽内，所述压力敏感元件和基座的尺寸相同，所述压力敏感元件的下表面和基座的上表面通过阳极键合相互连接，所述光纤的一端与所述压力敏感元件之间相对间隔一定的距离从而形成法布里‑珀罗腔；本发明具有体积小，能批量生产，制作方法简单，机械性能强，温度系数低，灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN108195494A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：CN201810204154.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 南京信息工程大学
Abstract: 本发明公开了一种基于狭缝表面等离激元效应的光学压力传感器及压力检测方法，所述光学压力传感器主要构成为：刻蚀有脊形波导阵列的基底，在其表面溅射一层金属膜，外部加上套筒保护器件内部结构。基底上的一维或二维金属阵列之间的间隙(gap)在特定频率光子激发下形成Gap-SPP。压力使基底发生形变，进而使阵列之间gap的大小改变，进而引起SPP波长的改变，将压力信号转为光学信号来检测。本发明基于SPP共振模式的变化来检测压力的变化。对比基于法泊腔压力传感器，本发明对光纤距离敏感膜的距离不敏感，因此可以减少温度的影响，同时易于加工制造。
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公开(公告)号：CN105842228A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610328132.6
申请日：2016-05-17
Applicant: 南京信息工程大学
CPC classification number: G01N21/658 , B82Y40/00
Abstract: 本发明公开了一种基于表面等离激元效应的纳米环形腔SERS基底，包括基片，基片上设置有纳米级单层PS微球阵列，PS微球阵列中填充有SiO2或者TiO2前驱物溶液形成的凝胶层，凝胶层的厚度小于微球直径，PS微球顶部与凝胶层之间设有纳米级环形凹腔，在基片的表层还覆有金属层，覆有金属层的环形凹腔形成金属环形腔阵列。将待检测样品填充在环形凹腔内，光照时金属环形腔内形成圆柱形表面等离激元，形成强烈的局域电场增强，待检测样品借助增强的电场激发出能够检测到的拉曼信号，结构简单，易于加工制备。本发明还公开了一种SERS基底的制作方法，采用纳米微球和旋涂方法在平面基片制备环形腔阵列，方法简单，易于规模化生产。
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公开(公告)号：CN105762272A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610283834.7
申请日：2016-04-29
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: H01L41/083 , H01L41/22 , G01L1/16 , B82Y15/00
Abstract: 本发明公开了一种基于巨压电效应的氧化锌纳米阵列应变传感器、测量电路、标定系统及制备方法，包括受力底座和压电式传感单元，压电式传感单元包括两个水平方向平行且间隔设置的传感器芯片；传感器芯片包括依次层叠设置的基底层、粘合层、氧化锌种子层、PR窗口层、PDMS保护层、金属电极层；氧化锌种子层设有一个下电极；PR窗口层设有深槽，深槽中垂直生长着氧化锌纳米阵列，氧化锌纳米阵列与金属电极层之间接触形成应变敏感的肖特基势垒；金属电极层设有两个电极。本发明采用了垂直结构的氧化锌纳米阵列，利用氧化锌纳米阵列与金电极形成的肖特基异质结的巨压电效应极大地提升了传感器的灵敏度，实现了更高灵敏度与精确度的应变检测。
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公开(公告)号：CN104359587A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410570597.3
申请日：2014-10-23
Applicant: 南京信息工程大学
IPC: G01K11/32
Abstract: 本发明公开一种光纤法布里-珀罗温度传感器，包括传导光纤和第一、第二金属膜片，所述传导光纤在端部形成凹槽，第二金属膜片设于传导光纤的该端部表面，凹槽与第二金属膜片形成法布里-珀罗腔，所述第二金属膜片的外侧设有第一金属膜片，第一和第二金属膜片构成双金属膜；所述第一和第二金属膜片分别采用单晶硅和铝。所述光纤法布里-珀罗温度传感器可提高光纤温度传感器测温的稳定性和精确性。
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