一种制备高熵钎料合金的多边形装置

    公开(公告)号:CN211840674U

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201922393996.8

    申请日:2019-12-27

    Abstract: 一种制备高熵钎料合金的多边形装置,包括真空腔室,所述真空腔室为多边形,在真空腔室内壁上均设置有磁场发生机构,在磁场发生机构的内侧还设置有靶材,所述真空腔室底部有中心柱,真空腔室底板和中心柱构成基底;还包括直流电源、转动机构和真空调节系统,直流电源的负极与靶材连接,直流电源的阳极与基底的中心柱连接,直流电源还与控制系统连接;转动机构套设在基底的中心柱上,且转动机构通过变频器与控制系统连接,在真空腔室内设置压力传感器,压力传感器与控制系统连接;真空调节系统包括与真空腔室连通的高压气体存储装置和通过排气管道与真空腔室连通的抽气泵。顺利解决多元、多尺度箔带钎料及超薄钎料制备的难题。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

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