公开(公告)号：CN112731344B

公开(公告)日：2023-11-28

申请号：CN202011517749.5

申请日：2020-12-21

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 杨克成 ,  李志标 ,  鄢淦威 ,  李微 ,  郭文平 ,  夏珉

IPC: G01S7/481 ,  G01S17/08 ,  G02B27/64

Abstract: 本发明公开一种具有主动光学防抖功能的放大型面阵扫频测距/厚的装置，涉及激光扫频测距领域，包括第一、二二向色镜、分束器、镜头、相机、光谱仪、采集控制单元和可运动反射器件，第一二向色镜的透射光方向上设分束器，分束器反射光方向上设载物台，载物台和分束器之间设镜头，分束器有四个端口，第一端口正对第一二向色镜，第二端口正对镜头，第三端口正对可运动反射器件，第四端口正对第二二向色镜，第二二向色镜透射光方向上设置相机，相机与采集控制单元相连，第二二向色镜反射光方向上设光谱仪，光谱仪连通采集控制单元，采集控制单元具有采集相机和光谱仪的信号以及显示数据的功能。本发明装置结构简单、测量快速、测量精度高。

公开(公告)号：CN110369859B

公开(公告)日：2020-09-18

申请号：CN201910648605.4

申请日：2019-07-18

Applicant: 华中科技大学

Inventor： 杨克成 ,  鄢淦威 ,  夏珉 ,  郭文平

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/03 ,  B23K26/06 ,  B23K26/70

Abstract: 本发明公开一种飞秒激光闭环加工系统及方法，属于飞秒激光加工领域。系统包括飞秒加工系统、飞秒测距系统、三维运动平台和处理器。加工系统和测距系统共用部分元器件。飞秒加工系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一分束器和显微物镜。飞秒测距系统包括飞秒激光器、光隔离器、第一、二分束器、显微物镜、第一、二参考臂、耦合透镜、F‑P滤波器和光谱仪。被加工的物体放置在三维运动平台上，由处理器控制运动平台的运动、分析飞秒测距系统中光谱仪获取的信息，从而获得物体加工点的高度信息，进而反馈至飞秒加工系统，由此形成闭环控制。本发明还提供了相应的加工方法。本发明系统和方法可以实现对工件的高精度在线反馈加工。