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公开(公告)号：CN118367427B
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410786131.0
申请日：2024-06-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/1109 , H01S3/10 , H01S3/082
Abstract: 本发明公开了一种双光梳碟片激光器，属于固体激光技术领域，包括：泵浦源、碟片激光晶体、泵浦模块、色散补偿单元、第一谐振腔和第二谐振腔；其中，泵浦源输出的泵浦激光经泵浦光路聚焦到碟片激光晶体上；碟片激光晶体产生的激光在第一谐振腔和第二谐振腔所提供的往返光路中来回振荡；第一谐振腔和第二谐振腔共用一个偏振分光棱镜作为克尔介质以实现锁模激光脉冲。本发明解决了传统双光梳系统中使用两个独立锁模激光器时所需的额外稳定装置的问题。本发明将两个谐振腔整合至一个激光器内部，有效地减少了谐振腔外部噪声的影响，提升了激光器装置的稳定性，并集偏振分光器件和克尔介质于一体，简化了双光梳系统的复杂性。
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公开(公告)号：CN115939919B
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202310045559.5
申请日：2023-01-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/1112 , H01S3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于克尔透镜锁模的固体激光器，用于输出可以自启动克尔透镜锁模的高稳定性飞秒激光脉冲，属于固体激光技术领域，包括：泵浦源、激光晶体、谐振腔和外腔反射镜；其中，泵浦源输出的泵浦激光经泵浦光路聚焦到激光晶体上；激光晶体产生的激光在谐振腔所提供的往返光路中来回振荡；外腔反射镜用于将谐振腔透射出的激光反射回谐振腔，从而以光扰动的形式启动克尔透镜锁模。本发明解决了传统克尔透镜锁模需要工作人员施加机械扰动的方式启动锁模的问题，具有较高的稳定性，避免了因长期使用需推动谐振腔镜所导致的光路偏移问题，进而可以实现结构简单、易操作、可重复组装的高稳定性、窄脉宽的飞秒激光器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119246417A
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202411362288.7
申请日：2024-09-27
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于半导体暗场缺陷检测的傅里叶过滤器的设计方法，属于半导体缺陷检测领域，该方法基于傅里叶光学原理求解晶圆表面图案的空间频谱，通过空间频谱分布设计相应空间频谱遮挡针，对晶圆表面图样进行过滤处理，以有效抑制图案噪声，突出显示晶圆表面其他种类的缺陷疵病，辅助暗场检测系统完成有图形晶圆的缺陷检测；该方法适用于各种形状和尺寸的有图案晶圆，由于空间频谱分析具有唯一性，可对不同图案的晶圆需进行频谱分析与傅里叶滤波器设计；此外，可通过改变滤波器中用于进行带通的滤波针的位置、滤波针之间的间隔等参数达到所需调制波面的设计要求，具有一定的设计自由度。
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公开(公告)号：CN118539261A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202411013011.3
申请日：2024-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种集展宽与压缩功能于一体的超快激光脉冲调制装置，属于激光器领域，该装置利用第一电光开关控制激光展宽或压缩在谐振器内振荡的往返次数从而控制激光展宽或压缩的倍数以将激光灵活展宽或压缩至不同的脉冲宽度；利用第二电光开关控制激光从不同方向入射至啁啾体布拉格光栅内，以控制光线进入展宽或压缩谐振腔，使激光获得符号不同的色散从而得到展宽或者压缩；该装置充分利用了啁啾体布拉格光栅的色散特性，仅使用一块色散光栅，展宽和压缩经过同一个啁啾体布拉格光栅，使整个装置在体积和结构上更加紧凑；与传统的基于平面光栅的展宽器与压缩器相比，本发明提供的装置在安装调试方面对使用人员的光学调试要求较低。
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公开(公告)号：CN114204397A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202111399101.7
申请日：2021-11-19
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种GHz量级超高重复频率高功率飞秒碟片激光器，属于飞秒激光技术领域。包括：用于提供泵浦激光的泵浦源；用于增益介质的激光晶体；用于克尔透镜锁模且与振荡激光成布儒斯特角放置的克尔介质；谐振腔，用于提供往返的振荡激光；激光晶体面向泵浦源的一侧镀有泵浦激光和振荡激光的增透膜，背向泵浦源的一侧镀有对泵浦激光和振荡激光的高反膜；激光晶体为直径10mm、厚度为220μm的薄圆盘形状。不对称的透镜组设计用于增大激光晶体上的激光光斑大小，进而提高输出功率；本发明采用不对称的透镜组腔型设计结合薄圆盘状激光晶体，较好地解决了GHz量级高重复频率飞秒激光器输出功率较低的问题，进而实现了高功率的高重复频率飞秒激光脉冲的输出。
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公开(公告)号：CN118605066A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410690055.3
申请日：2024-05-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: G02F1/35
Abstract: 本发明公开了一种大能量超短脉冲非线性展宽装置，属于激光器领域。该装置，包括：依光路设置的脉冲分割模块、涡旋光模式转换模块、耦合模块、非线性展宽模块、涡旋光模式逆转换模块和脉冲合束模块；脉冲分割模块将输入的单激光脉冲分割为多个激光脉冲；涡旋光模式转换模块将激光模式转换为涡旋光模式；耦合模块对激光进行整形与优化啁啾量，导入非线性展宽模块；非线性展宽模块对激光脉冲进行非线性展宽处理；涡旋光模式逆转换模块将非线性展宽后的激光模式逆转换为基模高斯；脉冲合束模块将多个光模式脉冲合成单个大能量脉冲。实现了有效降低装置中的激光峰值功率密度，增强系统的整体性能和应用范围的效果。
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公开(公告)号：CN114204397B
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202111399101.7
申请日：2021-11-19
Applicant: 华中科技大学
IPC: H01S3/081 , H01S3/04 , H01S3/1112
Abstract: 本发明公开了一种GHz量级超高重复频率高功率飞秒碟片激光器，属于飞秒激光技术领域。包括：用于提供泵浦激光的泵浦源；用于增益介质的激光晶体；用于克尔透镜锁模且与振荡激光成布儒斯特角放置的克尔介质；谐振腔，用于提供往返的振荡激光；激光晶体面向泵浦源的一侧镀有泵浦激光和振荡激光的增透膜，背向泵浦源的一侧镀有对泵浦激光和振荡激光的高反膜；激光晶体为直径10mm、厚度为220μm的薄圆盘形状。不对称的透镜组设计用于增大激光晶体上的激光光斑大小，进而提高输出功率；本发明采用不对称的透镜组腔型设计结合薄圆盘状激光晶体，较好地解决了GHz量级高重复频率飞秒激光器输出功率较低的问题，进而实现了高功率的高重复频率飞秒激光脉冲的输出。
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