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公开(公告)号：CN110440690A
公开(公告)日：2019-11-12
申请号：CN201910697658.5
申请日：2019-07-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于单点金刚石车床直线轴误差测量的装置及方法，属于超精密加工装备精密测量领域。该装置包括标准靶阵列平板、显微相机，微特征提取程序模块和误差计算程序模块，显微相机按照预设的路径扫描标准靶阵列平板上的微特征获取微特征图像，微特征提取程序模块用于提取微特征中的圆环图案圆心位置和半径参数，误差计算程序模块用于计算出直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差中的至少一个。本发明的测量装置及方法可以实现直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差的高精度测量，具有测量范围大，实施方便与快速测量的优点。
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公开(公告)号：CN114509006B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210405090.7
申请日：2022-04-18
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种微纳跨尺度表面结构的多模式测量坐标统一方法，属于光学和电子制造精密测量领域。其以基于白光干涉的微纳跨尺度表面结构多模式测量装置为基础，结合激光干涉位移计量形成二者基准坐标统一。采用白光干涉测量模式和硅悬臂纳米探针测量模式分别测量标准器上的表征微米特征的第一台阶单元和表征纳米结构的第二台阶单元的中心坐标；结合微米特征与纳米特征实际的坐标关系获得两种测量模式下的平面校准量和垂直校准量；最后利用平面校准量实现微纳跨尺度水平坐标统一，利用垂直校准量实现微纳跨尺度垂直坐标统一。本发明有能够满足光电子、IC、MEMS、光学全息防伪等领域基于白光干涉的微纳跨尺度表面结构测量精度要求。
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公开(公告)号：CN110440690B
公开(公告)日：2020-11-17
申请号：CN201910697658.5
申请日：2019-07-30
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种用于单点金刚石车床直线轴误差测量的装置及方法，属于超精密加工装备精密测量领域。该装置包括标准靶阵列平板、显微相机，微特征提取程序模块和误差计算程序模块，显微相机按照预设的路径扫描标准靶阵列平板上的微特征获取微特征图像，微特征提取程序模块用于提取微特征中的圆环图案圆心位置和半径参数，误差计算程序模块用于计算出直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差中的至少一个。本发明的测量装置及方法可以实现直线轴定位误差、水平直线度误差及垂直度误差的高精度测量，具有测量范围大，实施方便与快速测量的优点。
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公开(公告)号：CN109909808A
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201910358530.6
申请日：2019-04-30
Applicant: 华中科技大学
IPC: B23Q17/24
Abstract: 本发明公开了一种多轴联动精密机床二维动态定位精度测量方法，激光器模块发出的激光束经过分光后分成两路，其中一路进入X轴干涉计量模块，另外一路进入Z轴干涉计量模块；X轴干涉计量模块和Z轴干涉计量模块分别位于高精度标准块相互垂直的两个方向，分别用于测量X方向和Z方向的动态位移；信号采集和处理模块用于对两个方向的信号进行同步分析，得到机床的二维动态定位精度特性。该方法基于高精度标准件与激光干涉仪，不仅能够实现多轴联动精密机床二维动态定位精度高精度测量，实现其多轴联动动态定位精度特性的表征，而且高度集成化，操作简单，具有较高的测量效率。
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