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公开(公告)号：CN111584672A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010329369.2
申请日：2020-04-23
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
IPC: H01L31/101 , H01L31/0203 , H01L23/498
Abstract: 本发明涉及一种红外焦平面探测器的铟柱的制备方法及用该方法制备的铟柱，本发明方法首先在芯片表面旋涂薄光刻胶，对准像元或读出单元电极中心开展一次套刻，制备圆形打底金属沉积孔，通过电子束蒸发蒸镀复合金属膜，采用湿法剥离方式获得打底金属图形阵列；然后，旋涂中等厚度光刻胶，对准打底金属图形中心开展二次套刻，制备方形铟柱沉积孔，再通过真空热蒸发沉积铟膜，采用湿法剥离工艺获得铟柱；最后采用回流炉在甲酸氛围下缩球，获得大高宽比铟柱阵列。本发明整体工艺难度比现有方式低，制备出的铟柱尺寸能够满足要求，而且尺寸均匀性较高，铟柱表面均匀且光滑，完全能够满足倒装互连工艺一致性要求。
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公开(公告)号：CN114200162B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202111428053.X
申请日：2021-11-29
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
Abstract: 本发明公开了一种微光学加速度计，由上层的光收发模块，中间层的异构集成腔光力加速度敏感芯片以及下层的保护封盖封装在陶瓷基底上得到，还有间隔键合层，光收发模块由带有金属引线的氮化铝陶瓷基板以及激光器芯片和探测器芯片组成，异构集成腔光力加速度敏感芯片由多个光子晶体波导、MEMS敏感结构、光力传感结构以及谐振光栅耦合器组成，保护封盖为二氧化硅盖板，陶瓷基底带有金属焊盘；本发明集成了多级差分探测结构，抑制了激光器，探测器，MEMS机械振子敏感结构，拉链腔式腔光力传感等多种共模噪声，比现有的光学式加速度计具备更低的本底噪声，从而能够实现更高精度的加速度测量。
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公开(公告)号：CN112816068B
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202011600026.1
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
Abstract: 本发明实施例提供一种红外光谱成像系统及其光谱图像重构方法，该系统包括前置光学系统、抛物面反射镜、凸面光栅、微镜阵列器件DMD、红外探测焦平面阵列IRFPA和数据采集处理模块。所述红外探测焦平面阵列IRFPA用于将收到的光信号转换成数字图像信号并传输给所述数据采集处理模块；所述数据采集处理模块用于将收到的数据进行存储，并利用编码信息对数据进行光谱图像重构，以重建出场景的光谱数据立方。本发明实施例不需要高精度运动控制，光机结构更加简单，可靠性更高；系统采用多通道结构，能量利用率更高，信噪比更高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112505807B
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202011389125.X
申请日：2020-12-01
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
Abstract: 本发明实施例提供了一种太赫兹波准直聚焦透镜，所述太赫兹波准直聚焦透镜，包括呈圆锥台状的透镜本体，所述透镜本体直径较小端凹设有一容置空间，所述容置空间包括第一入光面及第二入光面，所述透镜本体还包括有与第二入光面连接的全反射面以及与全反射面连接的第二出光面，其特征在于：所述第二出光面的中心凹设有中间透射部，所述中间透射部包括有与第一入光面正对的第一出光面，且所述第一出光面与第二出光面平行，入射至所述太赫兹波准直聚焦透镜的光线由所述全反射面反射后自所述第一出光面出射或者入射至所述第二入光面后自所述第二出光面出射。本发明还涉及一种包括所述太赫兹波准直聚焦透镜的太赫兹波系统。
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公开(公告)号：CN111584672B
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202010329369.2
申请日：2020-04-23
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
IPC: H01L31/18 , H01L31/101 , H01L31/0203 , H01L23/498
Abstract: 本发明涉及一种红外焦平面探测器的铟柱的制备方法及用该方法制备的铟柱，本发明方法首先在芯片表面旋涂薄光刻胶，对准像元或读出单元电极中心开展一次套刻，制备圆形打底金属沉积孔，通过电子束蒸发蒸镀复合金属膜，采用湿法剥离方式获得打底金属图形阵列；然后，旋涂中等厚度光刻胶，对准打底金属图形中心开展二次套刻，制备方形铟柱沉积孔，再通过真空热蒸发沉积铟膜，采用湿法剥离工艺获得铟柱；最后采用回流炉在甲酸氛围下缩球，获得大高宽比铟柱阵列。本发明整体工艺难度比现有方式低，制备出的铟柱尺寸能够满足要求，而且尺寸均匀性较高，铟柱表面均匀且光滑，完全能够满足倒装互连工艺一致性要求。
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公开(公告)号：CN112816068A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202011600026.1
申请日：2020-12-29
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
Abstract: 本发明实施例提供一种红外光谱成像系统及其光谱图像重构方法，该系统包括前置光学系统、抛物面反射镜、凸面光栅、微镜阵列器件DMD、红外探测焦平面阵列IRFPA和数据采集处理模块。所述红外探测焦平面阵列IRFPA用于将收到的光信号转换成数字图像信号并传输给所述数据采集处理模块；所述数据采集处理模块用于将收到的数据进行存储，并利用编码信息对数据进行光谱图像重构，以重建出场景的光谱数据立方。本发明实施例不需要高精度运动控制，光机结构更加简单，可靠性更高；系统采用多通道结构，能量利用率更高，信噪比更高。
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公开(公告)号：CN112505807A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011389125.X
申请日：2020-12-01
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
Abstract: 本发明实施例提供了一种太赫兹波准直聚焦透镜，所述太赫兹波准直聚焦透镜，包括呈圆锥台状的透镜本体，所述透镜本体直径较小端凹设有一容置空间，所述容置空间包括第一入光面及第二入光面，所述透镜本体还包括有与第二入光面连接的全反射面以及与全反射面连接的第二出光面，其特征在于：所述第二出光面的中心凹设有中间透射部，所述中间透射部包括有与第一入光面正对的第一出光面，且所述第一出光面与第二出光面平行，入射至所述太赫兹波准直聚焦透镜的光线由所述全反射面反射后自所述第一出光面出射或者入射至所述第二入光面后自所述第二出光面出射。本发明还涉及一种包括所述太赫兹波准直聚焦透镜的太赫兹波系统。
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公开(公告)号：CN215297726U
公开(公告)日：2021-12-24
申请号：CN202023189959.4
申请日：2020-12-26
Applicant: 华中光电技术研究所(中国船舶重工集团公司第七一七研究所)
IPC: G02B5/18
Abstract: 本实用新型公开了一种用于振幅/相位双重调制的四区域光栅，包括基底，所述基底沿着水平方向上光栅按照一个周期被划分成四个区域；四个所述区域从左至右依次分别为高基底层、高金属层、低基底层和低金属层；在所述高金属层和低金属层的上表面均设置有金属掩膜层；所述低金属层和低基底层的高度不同；所述高金属和高基底层的总高度相同。本实用新型将基底沿着水平方向上光栅按照一个周期被划分成四个区域，四个区域的横向宽度相等，四个区域的高度不同，由于四个区域能够提高光强和相位双重控制的精确性，从而能够减少0级光的衍射效率，将能量集中到±1级，而且能够提升光栅干涉仪等系统的信号对比度和信噪比。
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