一种基于机器视觉的自动对焦、自动对中方法及系统

    公开(公告)号:CN115330859B

    公开(公告)日:2025-05-09

    申请号:CN202211007236.9

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 本发明提出了一种基于机器视觉的自动对焦、自动对中方法及系统,属于基于机器视觉的自动化控制技术领域,通过控制载物台在电子显微镜成像距离区间内进行移动,并获取载物台在不同成像距离时,电子显微镜所扫描的图像,通过载物台图像中各像素的灰度值计算所述载物台图像的图像清晰度,确定图像清晰度值最高时的成像距离,并控制载物台移动到该位置,以此达到基于机器视觉的精准对焦;并且在完成精准对焦后,通过电子显微镜获取载物台上能清晰体现压头和样品之间布置关系的图像,并对其中的压头区域和样品区域的中线进行对齐,实现了基于机器视觉的精准对中,避免了人工手动对焦、对中所存在的效率低、精度差的问题,提高了对焦和对中的效率。

    一种用于扫描电镜力热耦合的加热装置

    公开(公告)号:CN119153300B

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411629423.X

    申请日:2024-11-15

    Abstract: 本发明公开了一种用于扫描电镜力热耦合的加热装置,涉及扫描电子显微镜原位加热测试技术领域,包括固定部,所述固定部横截面为圆环形结构,且所述固定部内侧壁上环设有第一接电端子,所述第一接电端子外接电源;转动部活动套设于所述固定部内,且所述转动部底部设于扫描电镜的旋转样品台上;所述转动部外侧壁环设有第二接电端子,所述第二接电端子与所述第一接电端子接触连接;加热部固定设于所述转动部内,且与所述第二接电端子电连接,所述加热部顶部设有样品放置装置,所述加热部能够对所述样品放置装置内的样品加热。本发明能够带动样品实时旋转,从而能在不同视角下动态观察材料的状态,提高了实验效果。

    一种二维材料加工测试一体化样品台及二维材料的加工测试方法

    公开(公告)号:CN118409054B

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202410888993.4

    申请日:2024-07-04

    Abstract: 本发明提供了一种二维材料加工测试一体化样品台及二维材料的加工测试方法,属于材料检测装置技术领域。本发明将基座与承载模块中的一个螺孔连接,将PI88纳米压痕仪中的PTP装置固定在长方体凹槽上,之后放入扫描电镜的样品台上对二维材料进行切割,在放入到力学测试设备中时,只需将基座与承载模块通过另外一个螺孔连接,基座的圆杆与力学测试设备连接,即可实现样品在基座上的方向转换,原位对样品进行力学实验,长方体凹槽的设计能够防止力学实验时PTP装置移动,从而提高了性能评估的准确性;同时,无需重复粘贴PTP装置,只需改变基座与承载模块的连接状态就可以实现二维纤维的切割与测试,从而简化了操作。

    一种二维材料的转移方法
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN118458773B

    公开(公告)日:2024-10-01

    申请号:CN202410895082.4

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本发明提供了一种二维材料的转移方法,属于二维材料转移技术领域。本发明对载网的结构进行设计,通过分级孔径设计,利用了重力和孔径大小的配合,不仅可以提供物理支持,还可以通过层与层之间的缓冲作用来保护二维材料的结构完整性,之后为了防止二维材料在转移和聚焦离子束操作中二维材料弯曲或破裁,在所需样品的周围沉积一圈铂(Pt)可以加固二维材料;再将二维材料加工成目标形状,通过控制电流,能够减少离子束对样品的损伤,确保样品的结构完整性。

    一种二维材料的转移方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118458773A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410895082.4

    申请日:2024-07-05

    Abstract: 本发明提供了一种二维材料的转移方法,属于二维材料转移技术领域。本发明对载网的结构进行设计,通过分级孔径设计,利用了重力和孔径大小的配合,不仅可以提供物理支持,还可以通过层与层之间的缓冲作用来保护二维材料的结构完整性,之后为了防止二维材料在转移和聚焦离子束操作中二维材料弯曲或破裁,在所需样品的周围沉积一圈铂(Pt)可以加固二维材料;再将二维材料加工成目标形状,通过控制电流,能够减少离子束对样品的损伤,确保样品的结构完整性。

    一种FIB专用样品台及其空间调整方法

    公开(公告)号:CN116759282A

    公开(公告)日:2023-09-15

    申请号:CN202310820679.8

    申请日:2023-07-05

    Abstract: 本发明公开了一种FIB专用样品台及其空间调整方法,包括样品台、载物台和支座,支座的两端分别与载物台和样品台可拆卸连接,载物台上有至少两个不平行的连接面能够与支座可拆卸连接,载物台上设置有一置物面,试样的一端连接于置物面上、另一端伸出置物面。本发明的载物台具有可拆卸的特点,便于更换与调整试样的空间位置,实现了复杂微观力学测试试样的多方位加工,克服了现有单一FIB加工模式;使样品台可应用于试样的存放、加工、试验等多种场景,具有良好的兼容性;提供了一种成本低、可操作性高的样品台及其空间调整方法,便于批量加工微观力学性能测试试样。

    微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验方法及试验装置

    公开(公告)号:CN113514352B

    公开(公告)日:2022-06-21

    申请号:CN202110782965.0

    申请日:2021-07-12

    Abstract: 本发明公开一种微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验方法及试验装置,涉及集成电路芯片技术领域,采用悬臂型试样,通过在悬臂型试样的一端保留试样测振部来抑制试样的高谐振频率,并能够准确调控试样整体的谐振频率。通过激振装置激励的方式,使得微纳尺度试样可以进行高周循环加载,而无需接触。并用激光多普勒测振仪在悬臂型试样的两处取点测量。采用非接触式加热装置,利用热辐射的方式对悬臂型试样加热,避免影响悬臂型试样的振动,从而可以在原位测试中对微纳尺度试样进行无支撑衬底、无残余应力、无接触以及加热条件下的完全反向循环加载,从而完成微纳米材料与结构力热耦合高周疲劳试验,提升了试验结果的准确度。

    一种能够搭载微纳尺度样品的样品台

    公开(公告)号:CN214844915U

    公开(公告)日:2021-11-23

    申请号:CN202121181366.5

    申请日:2021-05-31

    Abstract: 本实用新型公开了一种能够搭载微纳尺度样品的样品台,包括基座、封盖和金属丝,基座呈立方体状,立方体的六个面上分别设置有螺纹孔,封盖通过螺丝与基座的上表面固连,金属丝的中部和底部位于封盖和基座之间,封盖和基座将金属丝的中部和底部夹紧,金属丝的顶端为平面,通过显微沉积焊接工艺将微纳尺度样品固定在金属丝的顶端的平面上。本实用新型的能够搭载微纳尺度样品的样品台能够方便地对微纳尺度样品进行制备、转移和测试。

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