一种无金属底托的环状真空吸气元件的制备方法

    公开(公告)号:CN101295612B

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN200810114587.3

    申请日:2008-06-06

    IPC分类号: H01J9/39 H01J9/38 H01J7/18

    摘要: 本发明提供一种无金属底托的环状真空吸气元件的制备方法,属真空吸气元件制备领域。制备工艺为:首先用无水乙醇及加拿大胶制备粘结剂溶液,再将粘结剂溶解液慢慢加入到吸气剂粉末中混至均匀,并制成不同粒度组成的吸气剂球形颗粒,将制备的球形颗粒经烘干后,在环形模具中加压,压制成环状坯件,将此环状坯件在真空状态下去除粘结剂,最后将去除粘结剂的环状坯件在真空炉中进行高温烧结,降温出炉后便制得无金属底托环状吸气元件。其优点在于节省了底托金属,简化了工艺操作,降低了制作成本,便于感应加热,吸气元件的激活温度容易控制;去掉金属底托,在同等重量前提下相当于增加了吸气剂的净含量,相对提高了吸气元件单位重量的吸气性能。

    一种吸气剂串及其使用安全大抽速吸气剂泵

    公开(公告)号:CN101169112A

    公开(公告)日:2008-04-30

    申请号:CN200610114044.2

    申请日:2006-10-25

    IPC分类号: F04B37/02

    摘要: 一种吸气剂串及其使用安全大抽速吸气剂泵。该吸气剂串是在一根支撑杆上串接数片吸气剂片。该吸气剂泵是在壳体内均布排列若干根上述的吸气剂串,在壳体上设有一个开口为气剂泵口,并在壳体外部设有烘烤加热装置。该气剂泵采用外部烘烤加热方式激活泵体内吸气剂,使用维修方便安全;泵体内部结构设计合理,有利于均匀加热吸气剂、有利于气体扩散,提高抽速。

    钛基非蒸散型吸气材料的制备工艺方法

    公开(公告)号:CN1959916A

    公开(公告)日:2007-05-09

    申请号:CN200510117228.X

    申请日:2005-11-01

    IPC分类号: H01J29/94 B01J20/02

    摘要: 一种制备钛基多孔非蒸散型吸气材料的工艺方法,该制备工艺包括:(1)材料包括第一种元素为金属吸气元素Ti和第二种元素Mo;(2)将两种金属粉末按吸气材料的成分要求进行配料;(3)将配好的粉末混合物在惰性气体Ar气保护下,在球磨罐上进行机械混料,时间不少于20小时;(4)将混好的粉末在1500~3000kg/cm2的压力下压制成型,然后在700~1000℃温度下烧结5~30分钟。本发明的吸气剂有较高的孔隙度和较大的比表面积,具有良好的吸气性能,同时结合了较高的机械强度。

    一种高性能纳米TiO2光催化剂材料及其制备方法

    公开(公告)号:CN103894163A

    公开(公告)日:2014-07-02

    申请号:CN201210566972.8

    申请日:2012-12-24

    IPC分类号: B01J21/06 B01J35/10 C02F1/30

    CPC分类号: Y02W10/37

    摘要: 一种高性能纳米TiO2光催化剂材料及其制备方法,该光催化剂材料由中空纳米结构多面体TiO2粒子构成,该中空纳米结构多面体TiO2粒子具有暴露面均为{101}面的内外双层高活性面结构,其孔洞大小为100~200nm。其制备方法为:(1)将钛粉、氢氟酸和双氧水在去离子水中混合均匀后再转移到反应釜中;(2)将反应釜密封后,于180℃保温3h;(3)自然冷却,离心分离收集固体产物;(4)将固体产物重新分散到装有乙二醇的反应釜中,密封反应釜置于烘箱中于160~220℃保温48~72h;(5)自然冷却,离心分离,将产物烘干即可。该光催化材料具有高的光催化活性和降解有机污染物的能力,可在室温太阳光照下直接应用于光催化降解水体中的有机污染物。其制备方法简单,成本低廉。

    一种界面钝化改善高k栅介质性能的方法

    公开(公告)号:CN103187252A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201110445993.X

    申请日:2011-12-28

    IPC分类号: H01L21/28 H01L21/283

    摘要: 本发明提供一种界面钝化改善高k栅介质性能的方法,包括在硅衬底上依次沉积非晶体氧化铝薄膜和氧化钆掺杂的氧化铪薄膜。本发明采用特定的陶瓷烧结技术制备高纯度的氧化铝靶材,在硅衬底上沉积非晶氧化铝薄膜层,然后在该氧化铝薄膜层上沉积氧化钆掺杂的氧化铪薄膜。本发明在硅衬底与氧化钆掺杂的氧化铪薄膜之间上沉积非晶体氧化铝薄膜,从而在衬底与高k栅介质层之间形成界面钝化层,有效地阻止了Si、O、Hf原子的互扩散,使Si/Al2O3界面形成单一的SiOx,减少了界面处铪的硅化物或硅酸盐的形成,并且由于Al2O3致密稳定,使界面处的电荷缺陷减少,稳定性增加。

    一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法

    公开(公告)号:CN101290851B

    公开(公告)日:2011-06-22

    申请号:CN200810114966.2

    申请日:2008-06-13

    IPC分类号: H01J7/18 H01J9/39 B22F3/00

    摘要: 本发明提供了一种用粉末注射成型制备电真空吸气元件的方法,属于电真空吸气元件制造技术领域。制备工艺为:以Ti粉和Mo粉为原料在混料机上混合,将混合均匀的原料粉末与粘结剂按体积比混合并在混炼机上混炼,冷却后破碎成注射喂料,再进行注射成型,对注射成型的坯件采用二步脱脂工艺处理,先对注射成型坯件进行溶剂脱脂,再进行真空热脱脂,最终对脱脂后的坯件进行真空烧结,制备成真空吸气元件。本发明的优点在于:可以制备出形状复杂、尺寸精度高的吸气元件以满足各类电真空器件不同形状的空间对吸气元件复杂形状及尺寸精度的要求。产品孔径、孔隙度控制均匀,吸气元件的孔隙度可达到50%以上。

    一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

    公开(公告)号:CN101325139B

    公开(公告)日:2010-06-09

    申请号:CN200810116163.0

    申请日:2008-07-04

    IPC分类号: H01J9/39 H01J9/00 H01J7/18

    摘要: 本发明提供了一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法,属于真空吸气元件制备领域。首先将带双孔的陶瓷片洗净烘干;分别制备粘结剂、钛膏、吸气剂膏。取涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋丝作为加热丝。用钛膏将陶瓷片单面均匀涂敷并通过两个小孔固定螺旋加热丝,真空烧结制成加热体。将吸气剂涂敷在带有陶瓷片的加热体上制成吸气元件坯件,将此坯件进行真空烧结,降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术,从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层,彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题,使吸气元件整体强度增强,满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。

    一种使用安全大抽速吸气剂泵

    公开(公告)号:CN100497944C

    公开(公告)日:2009-06-10

    申请号:CN200610114044.2

    申请日:2006-10-25

    IPC分类号: F04B37/02

    摘要: 一种使用安全大抽速吸气剂泵。该吸气剂泵是在壳体内均布排列若干根吸气剂串,该吸气剂串是在一根支撑杆上串接数片吸气剂片。在壳体上设有一个开口为吸气剂泵口,并在壳体外部设有烘烤加热装置。该气剂泵采用外部烘烤加热方式激活泵体内吸气剂,使用维修方便安全;泵体内部结构设计合理,有利于均匀加热吸气剂、有利于气体扩散,提高抽速。

    一种吸气剂型的氩气净化器

    公开(公告)号:CN101070145A

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200710100348.8

    申请日:2007-06-08

    IPC分类号: C01B23/00 B01D53/18

    摘要: 本发明公开了属于气体净化领域的一种吸气剂型的氩气净化器,此净化器包括两个装吸气剂的圆筒形金属壳、金属壳体内装吸气材料颗粒、每个吸气剂圆形腔体顶端与预抽真空的空间相连处装两个金属过滤网,防止在振动冲击条件下净化材料颗粒物的脱落并过滤氩气中的微小颗粒物。有通气和出气的管道、净化器与气瓶和真空机组相连的阀门。本发明采用两级净化方式净化惰性气体氩气,其净化效果好,使氩气中的活性杂质气体从几个~十几个ppm减少到ppb量级。该净化器使用Zr-V-Fe合金颗粒和改性5A分子筛混合作为净化材料,采用400~500℃保温40分钟的工艺对净化材料颗粒进行激活处理。在室温工作,减少能耗;不需要水冷,使用方便安全。