公开(公告)号：CN117687074A

公开(公告)日：2024-03-12

申请号：CN202311700796.7

申请日：2023-12-12

Applicant: 北京大学

Inventor： 高营 ,  宋谭 ,  马文君 ,  赵家瑞

IPC: G01T1/29 ,  G01T1/20

Abstract: 本发明公开了一种带电粒子谱仪及带电粒子数据分析方法，所述带电粒子谱仪包括辐射敏感组件1和探测组件，所述辐射敏感组件包括多层闪烁光纤阵列，每层闪烁光纤阵列包括多个闪烁光纤，相邻层闪烁光纤阵列彼此正交排布，使得闪烁光纤分别被设置为X方向和Y方向；所述探测组件用于将闪烁光纤被激发后的可见光转化成电信号或图像信号。本发明公开的带电粒子谱仪及带电粒子数据分析方法，实现了对带电粒子束流的空间诊断和在线检测。

公开(公告)号：CN115302113A

公开(公告)日：2022-11-08

申请号：CN202210987946.6

申请日：2022-08-17

Applicant: 北京大学 ,  广东省新兴激光等离子体技术研究院

Inventor： 陈讯 ,  赵家瑞 ,  马文君 ,  高营 ,  颜学庆

IPC: B23K26/70

Abstract: 本发明公开了一种激光打靶防溅射装置及方法，该装置设置在聚焦镜与靶之间，包括可旋转的转轮，在转轮非中心位置设置有打靶孔，激光打靶时，打靶孔位于激光光路上，使得激光穿过转轮，轰击靶；激光打靶后，转轮旋转使得打靶孔转离激光光路，打靶产生的飞溅物被转轮阻挡。本发明公开的激光打靶防溅射装置及方法，能够有效的阻挡激光打靶产生的飞溅物，避免飞溅物对聚焦镜、反射镜等光学元件造成损坏。

公开(公告)号：CN114485279A

公开(公告)日：2022-05-13

申请号：CN202011157685.2

申请日：2020-10-26

Applicant: 北京大学

Inventor： 马文君 ,  赵家瑞 ,  彭梓洋 ,  颜学庆

IPC: F41J5/02

Abstract: 本发明公开了一种用于重频激光打靶的溅射屏蔽系统及方法，该系统包括物理屏蔽层(1)和气体屏蔽层(2)，还具有偏转磁场组件(3)、高反光率污染物收集镜(4)和高透光率防护膜(5)，通过物理屏蔽、气体屏蔽、磁场屏蔽步骤对重频激光打靶系统进行防护。本发明公开的用于重频激光打靶的溅射屏蔽系统及方法，通过多种方式组合屏蔽实现了对重频激光打靶系统的保护，极大提高了重频激光打靶系统中光学元件的使用寿命。