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公开(公告)号:CN1604482A
公开(公告)日:2005-04-06
申请号:CN200410009766.2
申请日:2004-11-10
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供一种SIGMA-DELTA调制器的调制方法,属于模—数转换和小数分频频率综合器的应用领域。该方法与现有技术不同在于,将SIGMA-DELTA调制器的输出信号通过反馈电路反馈回SIGMA-DELTA调制器中。本发明利用SDM输出信号本身在低频段噪声低的特点,将SDM输出信号作为高频伪随机信号加入到SDM中,使产生高频伪随机信号的电路得到简化。
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公开(公告)号:CN1448991A
公开(公告)日:2003-10-15
申请号:CN03109609.3
申请日:2003-04-09
IPC: H01L21/265 , H01L21/66 , H01L21/70 , H01J37/317
Abstract: 本发明提供了一种包含剂量效应的离子注入高速模拟方法,是将分裂方法和剂量效应相结合,具体是虚离子、实离子交替注入模拟,直至完成所有实离子的注入。本发明的方法一共只进行一次模拟实验,注入离子被人为地划分为实离子和虚离子,实离子模拟级联碰撞,不断产生注入过程中的缺陷分布;虚离子模拟注入的射程分布,不必跟踪级联碰撞,亦不产生注入靶材料的缺陷分布。本发明的模拟方法,离子注入的射程分布可以很好地被模拟,模拟结果很好地符合SIMS的实验结果;对离子注入的模拟不但可以保持高精度,而且还可以实现高速高效模拟;同时由于本发明的模拟方法引入了缺陷产生,得到的缺陷分布还可以应用后续的退火模拟,并最终实现完全的工艺仿真。
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