等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法

    公开(公告)号:CN117457467A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311743459.6

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法,涉及半导体刻蚀技术领域,解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置,并对其空间不均匀性进行评估校准”,装置包括:腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块,所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直;方法包括:通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强;基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强;通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数,得到等离子体二维空间分布;评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准;该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点,对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。

    基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置

    公开(公告)号:CN117451238A

    公开(公告)日:2024-01-26

    申请号:CN202311743364.4

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种基于神经网络的推进器推力波动在轨光学检测方法及装置,涉及电推进技术领域,方法包括:将所述原子光与各价离子光数据和所述基于推力架获得的推进器推力输入发散角修正系数循环神经网络,得到羽流发散角修正系数;根据所述羽流发散角修正系数构建推力循环神经网络,将预先测得的电压电流噪声特性和所述在轨电压和在轨电流输入所述推力循环神经网络,得到未修正推力;将预先测得的响应时间间隔内的卫星动量差以及所述未修正推力输入天地修正循环神经网络,得到天地修正系数,并根据所述天地修正系数对所述未修正推力进行修正得到实时推力;该方法结合循环神经网络计算得出实时推力变化,具有实时性高、高精度、对推力器羽流没有影响的优势。

    等离子体推进器远场羽流离子通量监测装置及方法

    公开(公告)号:CN118678524A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202410877288.4

    申请日:2024-07-02

    Abstract: 等离子体推进器远场羽流离子通量监测装置及方法,涉及电推进系统技术领域。解决目前对于羽流轰击离子通量分布的测量手段的不足,严重影响了电推进寿命的评估与应用的问题。装置包括:霍尔推进器、阻滞势分析仪RPA、热电偶、滑动轨道、石英窗口、红外热像仪、太阳能板和真空罐;霍尔推进器、阻滞势分析仪RPA、热电偶、滑动轨道和太阳能板位于真空罐内部;霍尔推进器的羽流方向处设置太阳能板,热电偶一端紧贴太阳能板,热电偶另一端安装在滑动轨道上;太阳能板与霍尔推进器设有阻滞势分析仪RPA;真空罐外部设有红外热像仪,石英窗口固定在真空罐外部,红外热像仪与石英窗口位于同一水平线上。应用于电推进系统寿命评估领域。

    霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置

    公开(公告)号:CN118443162B

    公开(公告)日:2024-09-03

    申请号:CN202410923850.2

    申请日:2024-07-11

    Abstract: 霍尔推力器通道壁面在轨沉积监测方法及装置,涉及航天器设备监测技术领域。为解决现有技术中存在的,现有的实时监测霍尔推力器通道壁面侵蚀的方法,只能间接监测通道壁面的侵蚀情况,无法直接观测到壁面的沉积状态的技术问题,本发明提供的技术方案为:方法包括:采集霍尔推力器通道壁面的图像信息的步骤;得到图像信息中各个预设点的温度的步骤;根据各个预设点的温度,得到霍尔推力器通道壁面的热辐射功率的步骤;采集霍尔推力器通道壁面的热传导功率的步骤;根据霍尔推力器通道壁面的热辐射功率和热传导功率,得到霍尔推力器通道壁面因沉积获得的热量的功率的步骤。可以应用于监测霍尔推力器通道壁面的沉积状态。

    等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法

    公开(公告)号:CN117457467B

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202311743459.6

    申请日:2023-12-19

    Abstract: 一种等离子体腔室阵列成像监测装置及空间不均匀性校准方法,涉及半导体刻蚀技术领域,解决的技术问题为“开发一种实时监测等离子体放电状态的装置,并对其空间不均匀性进行评估校准”,装置包括:腔室、第一成像监测模块和第二成像监测模块,所述第二成像监测模块与所述第一成像监测模块的轴线垂直;方法包括:通过所述等离子体腔室阵列成像监测装置采集积分光强;基于所述积分光强计算腔室内视线交点光强;通过所述视线交点光强与所述先验分布拟合求解最优分布系数,得到等离子体二维空间分布;评估所述等离子体二维空间分布的不均匀性并校准;该装置及方法通过设置两组相互垂直的光纤形成视线交点,对等离子体不均匀性进行精确的评估校准。

    一种推进器通道侵蚀速率在线校准装置及校准方法

    公开(公告)号:CN117233079B

    公开(公告)日:2024-02-06

    申请号:CN202311489414.0

    申请日:2023-11-10

    Abstract: 本发明提出了一种推进器通道侵蚀速率在线校准装置及校准方法,属于航天等离子体推进器领域。解决了现有等离子体推进器通道侵蚀速率难以进行在线校准的问题。在线校准装置包括光学探头、光谱仪和空心阴极,空心阴极包括导气管、发射体、顶孔板和通道管壁,发射体和顶孔板依次设置在导气管内部,导气管设置在通道管壁的内部,通道管壁的内壁面上设置有衬垫层,衬垫层的材料与推进器通道壁面的材料相同,空心阴极设置在空心阴极真空罐内,空心阴极与空心阴极供气单元和空心阴极电源相连,光学探头设置在空心阴极真空罐或推进器真空罐内,光学探头与光谱仪相连。它主要用于推进器通道侵蚀速率在线校准。

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