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公开(公告)号：CN117490783A
公开(公告)日：2024-02-02
申请号：CN202311352968.6
申请日：2023-10-18
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种下限为5×10‑18Pa·m3/s的流量计及其使用方法，所述标准气体流量计包括：分子流导取气模块，包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门和第一高真空泵机组、第四阀门、第一标准流导元件、第五阀门、第一真空计和第二真空计；压力取气模块，包括第二气瓶、第八阀门、第七阀门、第六阀门、第三真空室、第九阀门和第二高真空泵机组、第五真空计和第六真空计；分子流导供气模块，包括第二真空室、第十阀门、第二标准流导元件、第十一阀门、第四真空室、第十二阀门、第三高真空泵机组、第十三阀门、第三真空计、第四真空计和第七真空计。本发明设备简单、成本低、操作方便，可将标准气体流量下限延伸至10‑18数量级。
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公开(公告)号：CN113310626B
公开(公告)日：2022-08-19
申请号：CN202110578312.0
申请日：2021-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明涉及一种真空计校准装置及校准方法，包括依次相连通的供气源、流量流量计、第一真空阀门、校准室、限流孔、第三阀真空阀、分子泵抽气机组、第四真空阀和前级泵，所述校准室具有赤道平面，所述赤道平面上开设有法兰接口分别连接有第一真空计、第二真空计和第二真空阀门，所述第二真空阀门的另一端分别与第三真空计、第五真空阀门、第六真空阀门、第七真空阀门相连接，所述第五真空阀门的另一端连接有真空室，第六真空阀门另一端连接有第四真空计，所述第七真空阀门的另一端与所述前级泵相连接，所述赤道平面上还设有校准接口用于连接待校准真空计。本发明的真空计校准装置校准操作方便，校准精度高。
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公开(公告)号：CN109341946B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201811432009.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接，其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵；第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计；所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接；所述第八真空阀门连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上，能够节约设备成本，扩大校准范围。
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公开(公告)号：CN109323817A
公开(公告)日：2019-02-12
申请号：CN201811090584.0
申请日：2018-09-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-16 Pam3/s的超灵敏度检漏装置及方法。该检漏装置包括干泵(RP1)、分子泵(TMP1)、吸气剂泵(NEG1)、真空规(G1)、四级质谱计(QMS)、第一至第五真空阀门、检测室(VC1)、固定流导法流量计(FM)、气源、真空管道。本发明基于累积比较的方法，采用固定流导法流量计提供下限为1.3×10-16 Pam3/s的标准气体流量，从而将检漏装置的检漏下限延伸至10-16Pam3/s。
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公开(公告)号：CN108981866A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810771203.9
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01F25/00
Abstract: 一种基于航空发动机涡轮生产喷涂设备的气体流量校准系统及方法，真空系统的机械泵经第一真空阀门与分子泵抽气出口连接，分子泵入口与第三阀门、第二阀门连接，第三阀门另一端与第一真空室连接，第二阀门另一端与第二真空室连接，第一真空室上面接了第四真空计、第五真空计与第六真空阀门、第六真空阀门与第六真空计连接，第二真空室上面连接第一真空计和第二真空计以及第五阀门，第五阀门与第三真空计连接，第三真空室与第九阀门和第七真空计连接，第四阀门一端与第九阀门、第三真空室和第七真空计连接，另一端与第八阀门、第七阀门及第一真空室连接，流量计通过第八阀门、第九阀门连接，活塞安装在真空室内部，位置测量仪用于测量活塞运动情况。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119893815A
公开(公告)日：2025-04-25
申请号：CN202510095167.9
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高速定向分子流发生装置及其应用，该装置包括供气系统、离子源、栅极组件、中性化孔板及带电粒子吞食器；所述供气系统通过管道与所述离子源的进气端连通，为所述离子源提供中性气体；所述离子源用于将所述中性气体电离为等离子体，所述离子源的出气端依次串接所述栅极组件、所述中性化孔板、所述带电粒子吞食器；所述栅极组件用于引出离子、加速离子、聚焦离子；所述中性化孔板接地，用于使经过的离子束流发生俄歇过程，将离子转化为中性分子；所述带电粒子吞食器用于吸收未被转换的离子和漂移电子。本发明，复杂度较低，产生的高速定向分子流具有良好的准直度，为空间真空测量仪器的开发与地面校准提供了重要实验基础。
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公开(公告)号：CN119641209A
公开(公告)日：2025-03-18
申请号：CN202411697253.9
申请日：2024-11-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本申请提供了一种基于轨道支撑的真空装置门结构组件，门结构组件包括：封头大门，封头大门包括封头和封头边缘固定连接的法兰；门支撑架，门支撑架与封头大门通过连接组件和第一调整组件连接，连接组件实现门支撑架对封头大门的支撑，连接组件和第一调整组件共同实现封头大门与门支撑架间的第一相对倾斜调整；门调整单元，门调整单元实现门支撑架和轨道车间的第二相对倾斜调整；轨道车，轨道车与门调整单元连接，且轨道车远离门调整单元一侧设置有滑动组件，能够实现门结构组件沿垂直于封头大门水平轴线方向滑动。当地基发生沉降，上述组件可以通过第一调整组件和第二调整组件进行调整，使得真空腔体和封头大门位置恢复。
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公开(公告)号：CN116398421B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116398421A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202310603958.9
申请日：2023-05-26
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种高真空泵抽速测试装置及其使用方法，高真空泵抽速测试装置包括进气管路、测试管路和对比管路，测试管路包括顺序连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵、第一前级泵，第一测试罩还连接有第二真空计；对比管路包括顺序连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、流导抽气机组，第二测试罩还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为相同的真空容器。本发明，克服了传统测量抽速等效氮气的不足，提高测试精度，减小测量不确定度，提高测试效率，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN112304804A
公开(公告)日：2021-02-02
申请号：CN202011169846.X
申请日：2020-10-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01N7/14
Abstract: 本发明公开了一种材料放气率测试系统及其测试方法，包含第一真空室、第二真空室、第三真空室、第一小孔元件、第二小孔元件、第一真空计、第二真空计、第三真空计、机械泵、第一分子泵、第二分子泵、第一真空阀门、第二真空阀门、第三真空阀门、第四真空阀门、第五真空阀门、第六真空阀门，第七真空阀门、第八真空阀门、第九真空阀门、第十真空阀门、第十一真空阀门、一个气体流量控制器、一个减压阀门、离子泵、一个标准气瓶和一个恒温箱，一方面减小了两次分别测量过程中由于暴露大气对装置本底放气影响；另一方面可以实现样品和本底同时测量，将原有的测量过程缩短了一半时间，提高了测量效率。
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