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公开(公告)号：CN117212121B
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311127210.2
申请日：2023-09-04
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及高真空泵抽速测试装置及其使用方法，包括进气管路、与进气管路相连接的测试管路以及与测试管路相连接的校准管路；进气管路包括依次连接的流量系统和第五阀门；测试管路包括依次连接的第三阀门、第一测试罩、待测高真空泵和第一前级泵，第一测试罩上还连接有第二真空计；校准管路包括依次连接的第四阀门、第二测试罩、标准流导元件、抽气机组，第二测试罩上还连接有第三真空计；第一测试罩通过第一阀门、第二阀门与第二测试罩连接，第一阀门与第二阀门之间连接有第一真空计；第一测试罩与第二测试罩为结构和尺寸均不相同的真空容器。本发明可提高测试精度，减小测量不确定度，降低测试成本，避免校准真空计和给出等效氮气抽速的结果。
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公开(公告)号：CN116697177A
公开(公告)日：2023-09-05
申请号：CN202310818990.9
申请日：2023-07-05
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及用于高真空泵抽速测试进气散流机构，包括连接法兰、连接于所述连接法兰一侧的进气管、以及依次连接于所述连接法兰另一侧的平面散流板、第一连接杆、第一锥形散流版、第二连接杆和第二锥形散流版。本发明基于双级锥形散流结构的散流板可以保证气体分子在进入后至少发生两次碰撞，实现良好的平衡态，还具有放气量小的优点，同避免了传统弯管进气引起的束流效应，减小了本底真空的测量不确定度，可以提高测试效率和测试结果的可靠性。
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公开(公告)号：CN112945356B
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN112945356A
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202110116702.6
申请日：2021-01-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种气体流量计系统及其使用方法，系统包括主管线(1)、支管线(2)和抽真空管线(3)，所述主管线(1)上从上游至下游依次设有供气模块(4)、第二真空室(5)和流导模块(6)，所述抽真空管线(3)连接在所述第二真空室(5)上，所述主管线(1)上还设有第一真空室(8)，其位于所述供气模块(4)和所述第二真空室(5)之间，所述第一真空室(8)的容积小于所述第二真空室(5)的容积。本发明将直接供气、膨胀衰减压力供气和混合气体供气集成一体，从而满足(10‑5‑10‑16)Pa·m3/s的泄漏漏率、检漏仪及气体流量的校准需求。
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公开(公告)号：CN108918026B
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN201811054584.5
申请日：2018-09-11
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明公开了一种热阴极电离真空计电参数校准装置及方法，该装置包括了电离规热阴极灯丝模拟电阻、模拟发射电流源、模拟离子电流源和保护二极管，其特征在于，电离规热阴极灯丝模拟电阻和保护二极管模拟电离规电阻特性，模拟发射电流源和模拟离子电流源模拟电离规电离特性。本发明设计的一种热阴极电离真空计电参数校准装置方法，对传统热阴极电离真空计电参数校准装置进行改进，利用电路模拟热阴极电离规管的电特性，从而实现热阴极电离真空计电参数校准过程中不用外接真空规管。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109026804B
公开(公告)日：2020-07-31
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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公开(公告)号：CN109341946A
公开(公告)日：2019-02-15
申请号：CN201811432009.4
申请日：2018-11-28
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01L27/00
Abstract: 本发明提供一种复合型比较法真空校准系统及方法，包括：机械泵、分子泵、第一真空室、第二真空室、第一至第三真空计、第一至第十真空阀门、气瓶、第一至第三开孔；所述分子泵的抽气出口通过第一真空阀门与机械泵连接，其抽气入口通过第二真空阀门、第三开孔与第一真空室连接且其通过第三真空阀门连接至机械泵；第一真空室与第三真空计连接、通过第四真空阀门连接第二真空计；所述第一开孔通过第五真空阀门、第二开孔通过第六真空阀门连接至第七真空阀门后与气瓶连接；所述第八真空阀门连接至第二真空室，及第二真空室上连接第一真空计且通过第十真空阀门连接至机械泵。本发明将多种检测技术集成在一台设备上，能够节约设备成本，扩大校准范围。
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公开(公告)号：CN109026804A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810772557.5
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: F04D27/00
CPC classification number: F04D27/001
Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。
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公开(公告)号：CN108982021A
公开(公告)日：2018-12-11
申请号：CN201810772049.7
申请日：2018-07-13
Applicant: 北京东方计量测试研究所
IPC: G01M3/20
Abstract: 本发明是一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。
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公开(公告)号：CN119756680A
公开(公告)日：2025-04-04
申请号：CN202510095168.3
申请日：2025-01-21
Applicant: 北京东方计量测试研究所
Abstract: 本发明涉及一种航天器轨道真空度原位测量装置，转换模块包括模块主体和带多个散流孔的散流栅板，模块主体的内部为空腔，散流栅板设置于模块主体的空腔内，模块主体的侧面设置有与散流栅板相对应的进气孔板，进气孔板上设置有多个垂直进气孔；散流栅板用于使高速定向分子流气体进入转换模块后经过不少于一次碰撞转化为平衡态气体；检测模块的一端通过一固定流导小孔元件与转换模块相连通，另一端通过气动插板阀连接低温泵；检测模块内设置有真空测量模块。本发明，能够减小高速定向流场对检测室平衡态气体的影响，增大高速定向分子流进入转换模块内后的碰撞概率，提高高速定向分子流的平衡态转化程度，具有较高的压力测量精度和测量范围。
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