公开(公告)号：CN109026804B

公开(公告)日：2020-07-31

申请号：CN201810772557.5

申请日：2018-07-13

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  董云宁 ,  齐京 ,  闫睿 ,  王欢 ,  柏向春 ,  延峰

IPC: F04D27/00

Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。

公开(公告)号：CN109026804A

公开(公告)日：2018-12-18

申请号：CN201810772557.5

申请日：2018-07-13

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  董云宁 ,  齐京 ,  闫睿 ,  王欢 ,  柏向春 ,  延峰

IPC: F04D27/00

CPC classification number: F04D27/001

Abstract: 本发明涉及一种基于接口为CF400的分子泵抽速测试系统及方法，该系统仅采用流量法一种方法测量抽速，研制了满足CF400分子泵测试需求的超高真空测试罩，采用复合型标准气体流量计在一套系统上实现了真空罩内处于10‑1Pa～10‑7Pa的压力范围下，能够对分子泵抽速范围实现3000L/s～5000L/s内的测量。真空系统的机械泵通过第一阀门与分子泵的抽气出口连接，分子泵的入口与第一真空室连接，第一真空室上面接了副标准电离真空计、监测真空计和第三阀门，第三阀门的另一端与第二真空室连接，第二真空室上面连接了第三阀门、复合型标准气体流量计的出气口，复合型标准气体流量计的进气口与第二阀门连接，第二阀门的另一端与气瓶连接。

公开(公告)号：CN108982021A

公开(公告)日：2018-12-11

申请号：CN201810772049.7

申请日：2018-07-13

Applicant: 北京东方计量测试研究所

Inventor： 卢耀文 ,  刘志宏 ,  齐京 ,  杨传森 ,  田虎林 ,  董云宁 ,  闫睿 ,  延峰

IPC: G01M3/20

CPC classification number: G01M3/202 ,  G01M3/207

Abstract: 本发明是一种下限为10-10Pam3/s的正压漏孔校准系统与方法，该系统包括：分子泵抽气系统、一个高纯氦气瓶、一个高纯氮气瓶、一个气体采样阀门(V4)、十个真空阀门(V1，V2，V3，V5，V6，V7，V8，V9，V10，V11)、三个真空室(VC1，VC2，VC3)、三个真空计(G1，G2，G3)、一个四极质谱仪(G4)、一个分子流进样元件(C)、一个吸气剂泵(NEG)、一个被校正压漏孔和一个恒温箱。