公开(公告)号：CN101041891B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN200710088796.0

申请日：2007-03-22

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉川俊明 ,  真下精二 ,  福田直人

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/50

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/12

Abstract: 本发明的目的是，减少在汽相淀积源中产生的激溅，并以稳定、高速的汽相淀积速度实施汽相淀积。通过以下步骤实施根据本发明的汽相淀积：将多个多纳圈状平板垂直层叠在坩埚中，将薄的汽相淀积材料安装在多纳圈状平板上，使用包围坩埚的加热器以加热多纳圈状平板上的汽相淀积材料，使得从汽相淀积材料产生的蒸汽通过各层上的流动空间A流到垂直的流动路径B中，和从流动路径B的顶部的开口向要被淀积的衬底排放蒸汽。流动空间A的传导力比流动路径B的传导力小。

公开(公告)号：CN101106848A

公开(公告)日：2008-01-16

申请号：CN200710128785.0

申请日：2007-07-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 福田直人 ,  吉川俊明 ,  真下精二

IPC: H05B33/10

CPC classification number: C23C14/26 ,  C23C14/243 ,  C23C14/545 ,  C23C14/56 ,  H01L51/001 ,  H01L51/56

Abstract: 实现了一种能够提高有机电致发光部件的生产率的真空淀积装置。第一管道连接到用于蒸发有机电致发光材料的淀积源，并且两个第二管道指向由衬底和掩膜组成的两个薄膜淀积对象，由此形成有机淀积薄膜。蒸汽从淀积源同时释放到不同平面上的多个薄膜淀积对象以淀积薄膜，这促进了薄膜淀积时间的减少和装置的小型化。

公开(公告)号：CN1081798C

公开(公告)日：2002-03-27

申请号：CN96113232.9

申请日：1996-07-12

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 吉川俊明 ,  龟山诚 ,  铃木博幸 ,  小佐野永人 ,  松久裕英 ,  岩田研逸

IPC: G02B1/10 ,  G02B5/20 ,  C03C17/34

CPC classification number: G02F1/133512 ,  C03C17/30 ,  C03C17/38 ,  C03C23/006 ,  G02F1/133516

Abstract: 本申请公开的是一种制造用于图象装置的彩色滤光器基板的方法，该基板通过在透明衬底上有选择地配置挡光元件和大量具有彼此不同的光谱特性的着色元件构成，其步骤包括在部分地方有挡光元件形成的基底上形成由硅烷偶合剂组成的防水层，将基底的表面暴露在氧等离子体下，并在基底的透明区域配置大量具有彼此不同的光谱特性的着色元件。

公开(公告)号：CN1058534C

公开(公告)日：2000-11-15

申请号：CN95108952.8

申请日：1995-07-18

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 平林敬二 ,  吉川俊明

IPC: C23C16/27 ,  C23C16/505

CPC classification number: C23C16/278 ,  C23C16/272 ,  C23C16/507

Abstract: 一种通过高频等离子体CVD方法形成金刚石膜的方法，使用了电感耦合放电，并将高频波的频率设定在40-250MHz之间，由此将含碳的原料气体分解为等离子体状态，以在基体上形成金刚石膜。