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公开(公告)号：CN102782001A
公开(公告)日：2012-11-14
申请号：CN201080038928.9
申请日：2010-07-01
Applicant: 普罗梅鲁斯有限责任公司 , 住友电木株式会社
CPC classification number: C08G61/08 , C08G2261/3324 , C08G2261/418 , C08L65/00 , G03F7/0233 , G03F7/0382
Abstract: 根据本发明的实施方式包括可自成像膜形成组合物，所述组合物包含降冰片烯型聚合物并能够配制成正色调成像剂或负色调成像剂。由此形成的膜可以用于形成微电子器件和光电子器件。
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公开(公告)号：CN110178085B
公开(公告)日：2022-10-21
申请号：CN201780083437.8
申请日：2017-12-08
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 池田阳雄
IPC: G03F7/038 , C08F290/04
Abstract: 本发明的负型感光性树脂组合物包含作为共聚物的聚合物、交联剂和光敏剂。其中，共聚物包含被含有末端不饱和碳双键的官能团取代的降冰片烯型结构单元、被羧基取代的降冰片烯型结构单元和来自马来酸酐、马来酸酐衍生物、马来酰亚胺或马来酰亚胺衍生物的结构单元。
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公开(公告)号：CN114450318A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202080067912.4
申请日：2020-09-15
Applicant: 住友电木株式会社
Inventor： 池田阳雄
IPC: C08F232/08 , C08F232/00 , C08F222/00 , C08F290/12 , G03F7/004 , G03F7/027 , G03F7/038 , H01L21/027
Abstract: 一种聚合物，其包含由以下的式(1)和(2a)表示的结构单元。式(1)中，R1、R2、R3和R4分别独立地为氢或碳原子数1～30的有机基团，n为0、1或2，式(2a)中，R5为碳原子数1～30的有机基团，R1、R2、R3、R4和R5中的至少一个为碳原子数1～30的含氟有机基团。
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公开(公告)号：CN104216228B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201410228802.8
申请日：2014-05-27
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08F8/14 , C08F8/00
Abstract: 本发明提供分辨率与图案形成所花费的时间的平衡优异的负型感光性树脂组合物、电子装置、聚合物。本发明提供一种负型感光性树脂组合物，包含聚合物和光自由基聚合引发剂，该聚合物包含以下(1)和(2a)所示的重复单元，式(2a)的R5具有自由基聚合性基团且为碳原子数2～18的有机基团。(式(1)中，R1、R2、R3和R4各自独立地为氢或碳原子数1～30的有机基团。n为0、1或2。)
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108779196A
公开(公告)日：2018-11-09
申请号：CN201780016046.4
申请日：2017-02-06
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: C08F8/14 , C08F22/06 , C08F220/08 , G03F7/038 , G03F7/20
CPC classification number: C08F8/14 , C08F22/06 , C08F220/08 , G03F7/038 , G03F7/20
Abstract: 本发明提供聚合物的制造方法、负型感光性树脂组合物的制造方法、树脂膜的制造方法、电子装置的制造方法和聚合物。本发明的聚合物的制造方法包括以下工序：准备包含由以下的式(1a)表示的结构单元的前体聚合物；使由R1-OH表示的醇或水作用于包含由式(1a)表示的结构单元的所述前体聚合物，以使由式(1a)表示的结构单元的马来酸酐部位开环，从而在所述前体聚合物中生成羧基或其盐，其中，R1为碳原子数1～18的有机基团；和使由式(3)表示的具有环氧基的化合物与已使马来酸酐部位开环的所述前体聚合物进行反应。式(3)中，R2为碳原子数2～18的有机基团且在其结构中具有碳-碳双键。
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公开(公告)号：CN103069339B
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201180040734.7
申请日：2011-08-23
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特别具有高耐热性、且具有良好的感光度、分辨率和高残膜性，其它特性也不劣于通用的光致抗蚀剂用树脂组合物。所述光致抗蚀剂用树脂组合物含有酚醛树脂、环状烯烃树脂以及含萘醌二叠氮基的化合物，优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂，该降冰片烯树脂优选具有酸性基团，特别是酚基，分子量为1000～500000道尔顿。
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公开(公告)号：CN104216228A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410228802.8
申请日：2014-05-27
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/027 , G03F7/004 , C08F222/06 , C08F232/08 , C08F8/14 , C08F8/00
Abstract: 本发明提供分辨率与图案形成所花费的时间的平衡优异的负型感光性树脂组合物、电子装置、聚合物。本发明提供一种负型感光性树脂组合物，包含聚合物和光自由基聚合引发剂，该聚合物包含以下(1)和(2a)所示的重复单元，式(2a)的R5具有自由基聚合性基团且为碳原子数2～18的有机基团。(式(1)中，R1、R2、R3和R4各自独立地为氢或碳原子数1～30的有机基团。n为0、1或2)
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公开(公告)号：CN104216222A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410230856.8
申请日：2014-05-28
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供一种耐化学药品性与感光性树脂组合物所要求的其他特性之间的平衡优异的感光性树脂组合物和具有该感光性树脂组合物的电子装置。所述感光性树脂组合物包含下述式(1)所示的聚合物(第一聚合物)、与该聚合物进行交联的第一交联剂、作为含有与上述聚合物或上述第一交联剂进行交联的反应性基团的第二交联剂的丙烯酸树脂，以及感光剂。(式(1)中，l和m表示聚合物中的摩尔含有率，l+m＝1，n为0、1或2。R1、R2、R3和R4分别独立地表示氢或碳数1～30的有机基团，A是由下述式(2a)、(2b)、(2c)或(2d)所示的结构单元)(式(2a)和式(2b)中，R5、R6和R7分别独立地表示碳数1～18的有机基团)。
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公开(公告)号：CN103069339A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180040734.7
申请日：2011-08-23
Applicant: 住友电木株式会社
IPC: G03F7/023 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/0233 , G03F7/0236
Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物，其特别具有高耐热性、且具有良好的感光度·分辨率和高残膜性，其它特性也不劣于通用的光致抗蚀剂用树脂组合物。所述光致抗蚀剂用树脂组合物含有酚醛树脂、环状烯烃树脂以及含萘醌二叠氮基的化合物，优选环状烯烃树脂为降冰片烯树脂，该降冰片烯树脂优选具有酸性基团，特别是酚基，分子量为1000～500000道尔顿。
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