感光性树脂组合物和电子装置

    公开(公告)号:CN104216222A

    公开(公告)日:2014-12-17

    申请号:CN201410230856.8

    申请日:2014-05-28

    Abstract: 本发明提供一种耐化学药品性与感光性树脂组合物所要求的其他特性之间的平衡优异的感光性树脂组合物和具有该感光性树脂组合物的电子装置。所述感光性树脂组合物包含下述式(1)所示的聚合物(第一聚合物)、与该聚合物进行交联的第一交联剂、作为含有与上述聚合物或上述第一交联剂进行交联的反应性基团的第二交联剂的丙烯酸树脂,以及感光剂。(式(1)中,l和m表示聚合物中的摩尔含有率,l+m=1,n为0、1或2。R1、R2、R3和R4分别独立地表示氢或碳数1~30的有机基团,A是由下述式(2a)、(2b)、(2c)或(2d)所示的结构单元)(式(2a)和式(2b)中,R5、R6和R7分别独立地表示碳数1~18的有机基团)。

    光致抗蚀剂用树脂组合物、光致抗蚀剂以及液晶设备的制造方法

    公开(公告)号:CN103389622A

    公开(公告)日:2013-11-13

    申请号:CN201310170897.8

    申请日:2013-05-10

    Inventor: 今村裕治

    Abstract: 本发明提供一种灵敏度、图案形状、分辨率以及残膜性各自平衡良好的优异的光致抗蚀剂用树脂组合物。一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其特征在于,含有:(A)使含有间甲酚、对甲酚以及2,5-二甲酚的酚类和醛类在酸催化剂的存在下于110℃~220℃的温度条件下反应而得到的邻位率为23%以上的高邻位酚醛清漆型酚醛树脂,(B)萘醌二叠氮化物衍生物,和(C)溶剂。

    光致抗蚀剂用树脂组合物

    公开(公告)号:CN103329042B

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201280006326.4

    申请日:2012-02-20

    Inventor: 今村裕治

    CPC classification number: C08G8/24 C08K5/235 G03F7/0236 C08L61/06

    Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性,其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂,所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。

    光致抗蚀剂用树脂组合物

    公开(公告)号:CN103329042A

    公开(公告)日:2013-09-25

    申请号:CN201280006326.4

    申请日:2012-02-20

    Inventor: 今村裕治

    CPC classification number: C08G8/24 C08K5/235 G03F7/0236 C08L61/06

    Abstract: 本发明提供一种光致抗蚀剂用树脂组合物,其以良好的灵敏度·分辨率具有高残膜性,其它特性也不比通用的光致抗蚀剂用树脂组合物差。该光致抗蚀剂用树脂组合物含有高邻位酚醛清漆型酚醛树脂、萘醌二叠氮化物衍生物和溶剂,所述高邻位酚醛清漆型酚醛树脂是将选自间甲酚、对甲酚、3,5-二甲酚和2,3,5-三甲基苯酚中的一种或二种以及醛类在酸催化剂的存在下于110-220℃的温度下反应而得的。

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