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公开(公告)号：CN1800977B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200510048390.0
申请日：2005-12-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C67/11 , C07C67/14 , C07C69/75 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D493/04 , G03F7/0397
Abstract: 化学放大的阳性抗蚀剂组合物；本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。
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公开(公告)号：CN101921219A
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN201010203131.1
申请日：2010-06-10
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C303/32 , C07D307/00 , C07D333/46 , C07C25/18 , C07C17/35 , C07C309/12 , G03F7/039 , G03F7/00
CPC classification number: C07D307/94 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2601/14 , C07C2603/74 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种盐以及含有该盐的光致抗蚀剂组合物。一种以式(a1)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C4全氟烷基；X1表示-CO-O-Xa1-或-CH2-O-Xa2-，其中Xa1和Xa2各自独立地表示C1-C15亚烷基，并且所述亚烷基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；Y1表示C3-C36脂环族烃基或C6-C24芳族烃基，并且所述脂环族烃基和所述芳族烃基可以具有一个或多个取代基，并且所述脂环族烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替；并且Z+表示有机阳离子。
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公开(公告)号：CN101125824A
公开(公告)日：2008-02-20
申请号：CN200710140077.9
申请日：2007-08-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C309/02 , C07C381/12 , G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D307/93 , G03F7/0046 , G03F7/0392 , Y10S430/122
Abstract: 本发明提供一种式(I)表示的锍化合物，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1－C6全氟烷基，并且A+表示有机抗衡离子。
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公开(公告)号：CN1800977A
公开(公告)日：2006-07-12
申请号：CN200510048390.0
申请日：2005-12-20
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , C07C67/11 , C07C67/14 , C07C69/75 , C07C69/753 , C07C2601/14 , C07C2602/42 , C07C2603/74 , C07D493/04 , G03F7/0397
Abstract: 本发明提供一种化学放大的阳性抗蚀剂组合物，其包含(i)一种在碱性水溶液中不溶或溶解性差但是在碱性水溶液中通过酸的作用而变得可溶的聚合物，(ii)一种产酸剂，和(iii)一种式(I)的化合物。本发明还提供可用作化学放大的阳性抗蚀剂组合物的组分的酯衍生物以及生产该酯衍生物的方法。
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公开(公告)号：CN113227222A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980086081.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C08J5/18 , C08G73/14 , G02F1/1333 , G09F9/00 , H01L27/32
Abstract: 本发明提供具有高的弹性模量及表面硬度的光学膜。光学膜包含具有式(1)表示的结构单元及式(2)表示的结构单元的聚酰胺酰亚胺系树脂。式(1)中，R1及R2相互独立地表示碳原子数为1～12的烷基、碳原子数为1～12的烷氧基、碳原子数为6～12的芳基、碳原子数为6～12的芳基氧基、碳原子数为1～12的羰基、碳原子数为1～12的氧基羰基或卤代基，其中，R1及R2中包含的氢原子相互独立地可以被卤素原子、碳原子数为1～4的烷基、碳原子数为1～4的烷氧基、羟基或羧基取代；V表示单键、‑O‑、二苯基亚甲基、碳原子数为1～12的直链状、支链状或脂环式的2价烃基、‑SO2‑、‑S‑、‑CO‑、‑PO‑、‑PO2‑、‑N(R30)‑或者‑Si(R31)2‑，其中，该烃基中包含的氢原子相互独立地可以被卤素原子取代，R30及R31相互独立地表示氢原子、或可以被卤素原子取代的碳原子数为1～12的烷基；m表示0～2的整数，n表示1～4的整数，p表示0～4的整数，q表示0～4的整数。式(2)中，X表示2价有机基团，Y表示4价有机基团。
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公开(公告)号：CN113227208A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN201980085962.2
申请日：2019-12-24
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明提供具有高弹性模量及低湿度膨胀系数的光学膜。一种包含重均分子量为200,000～1,000,000的聚酰胺酰亚胺系树脂的光学膜，所述聚酰胺酰亚胺系树脂至少具有式(1)表示的结构单元及式(2)表示的结构单元。式(1)中，Ar1表示具有碳原子数为1～12的氟烷基的2价芳香族基团，X表示2价有机基团。式(2)中，X表示2价有机基团，Y表示4价有机基团。
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公开(公告)号：CN110734544A
公开(公告)日：2020-01-31
申请号：CN201910642672.5
申请日：2019-07-16
Applicant: 住友化学株式会社
Abstract: 本发明的课题在于提供能形成具有优异的耐光性的光学膜的聚酰胺酰亚胺树脂。本发明的解决手段为一种聚酰胺酰亚胺树脂，其包含式(1)及式(2)表示的结构单元。式(1)及式(2)中，X各自独立地表示2价有机基团，Y表示4价有机基团，Z表示2价杂环。
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公开(公告)号：CN102890412A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201210251269.8
申请日：2012-07-19
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/0397 , G03F7/2041
Abstract: 本发明公开了抗蚀剂组合物和用于生产抗蚀图案的方法，所述抗蚀剂组合物具有：具有由式(I)表示的结构单元的树脂，在碱性水溶液中不可溶或难溶但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液并且不包含由式(I)表示的结构单元的树脂，和酸生成剂，其中R1、A1、A13、A14、X12、Rb1、Rb2、Lb1、环Wb1、Rb3、Rb4、m和Z1+如说明书中限定。
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公开(公告)号：CN102167676A
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN201110038553.2
申请日：2011-02-14
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C309/17 , C07C25/18 , C07D333/46 , C08F212/14 , C08F220/38 , G03F7/004 , G03F7/00
CPC classification number: C08F212/14 , C07C25/18 , C07C309/06 , C07C309/12 , C07C309/17 , C07C381/12 , C07D333/46 , G03F7/0045 , G03F7/0046 , G03F7/029 , G03F7/0397 , Y10S430/122 , Y10S430/126 , C08F220/18 , C08F2220/281 , C08F2220/385
Abstract: 本发明提供一种由式(I)表示的盐，其中R1和R2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中的一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，并且所述C1-C17二价饱和烃基可以具有一个或多个氟原子，R3表示氢原子或甲基，并且Z1+表示有机抗衡阳离子；以及提供一种含有该盐的光致抗蚀剂组合物。
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