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公开(公告)号：CN110441550B
公开(公告)日：2024-06-25
申请号：CN201910841272.7
申请日：2019-09-06
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明涉及敏感电子学技术领域，尤其是涉及一种电路内嵌式12电极石英加速度计，可应用于飞行器、车辆、舰船、工业自动化领域等的检测控制系统。该电路内嵌式12电极石英加速度计包括：外壳、支撑座、敏感元件、内嵌式电路板和插座；所述外壳与所述支撑座连接装配成一腔体；所述插座设置于所述支撑座上；所述敏感元件设置于所述支撑座上；所述内嵌式电路板设置于所述敏感元件的内部。本发明采用六电极20MHz的谐振器作信号获取元件，通过将六电极谐振器的激励电路改进为内嵌式，并置于敏感元件的腔体之内，提高了检测的灵敏度。
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公开(公告)号：CN106989741B
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201710159244.8
申请日：2017-03-17
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本申请公开了一种四丝敏感结构硅微机械三轴射流陀螺，该射流陀螺包括四丝敏感结构射流角速度敏感元件和PCB电路板，敏感元件和PCB电路板电连接，其中敏感元件包括压环、压电陶瓷圆振子、PMMA板、硅板；压电陶瓷圆振子嵌入至所述PMMA板上，并用压环固定它的边缘；PMMA板设置有气流通道；硅板上设置有气流通道和热线；PMMA板、硅板依次粘接构成所述四丝敏感结构射流角速度敏感元件。本申请提出了一种只用四根热线就能敏感三个正交轴—X、Y和Z轴角速度的新的三轴敏感原理，敏感元件结构只有两层，因此这种射流陀螺热线少，结构简单，成品率高，功耗低，能敏感三个正交方向(X、Y、Z)角速度，多轴一体，而且三个方向灵敏度为同一数量级，实用化强。
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公开(公告)号：CN106352863B
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201510419856.7
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明涉及一种微机械开放气流式Z轴气流角速度传感器，由开放式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片、引线组成，该开放式Z轴角速度芯片包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的角速度芯片结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，出口敏感室中下硅板表面设置一对长的平行热线分别作为PCB电路板中惠斯登电桥的两个臂。本发明出口敏感室内的热线较长，电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，灵敏度高，实用性强。
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公开(公告)号：CN109405800A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811493453.7
申请日：2018-12-07
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C9/00
Abstract: 本发明涉及水平姿态传感器领域，尤其是涉及一种使用石英力敏谐振器作敏感元件的水平姿态传感器。该水平姿态传感器包括：敏感元件、电路板、敏感质量块、底座、托盘、过载防护架、基座以及外壳；其中，所述敏感元件由两片六电极石英敏感元件构成，两片所述六电极石英敏感元件前后平行设置，二者的底部均与所述底座固定连接，顶部均与所述敏感质量块固定连接。本发明对应的六电极石英力敏元件，每个力敏元件经组合可得到15个差频信号，将此15个差频信号进行叠加求和，得到的力频转换系数可达n×103Hz/N的量级。本发明中，两个敏感元件同时工作，若将两个敏感元件的差频信号再叠加，则最终的力频转换系数可达2n×103Hz/N的量级。
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公开(公告)号：CN106338615A
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201510415600.9
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P3/28
Abstract: 本申请公开了一种硅微机械双通道循环流式Z轴角速度传感器，该气流式角速度传感器包括双通道循环流式Z轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，双通道循环流式Z轴角速度芯片包括PET上盖、上硅板、下硅板、PET底盖和压电陶瓷圆振子；压电陶瓷圆振子嵌入PET上盖上；上硅板上设置有射流网络；下硅板上设置有射流网络和两对分别位于两个射流敏感室的平行热线；PET上盖、上硅板、下硅板和PET底盖依次粘接构成所述角速度芯片。本申请的气流式角速度传感器的热线独立设置在两个不同的射流敏感室内分别与两个射流敏感体进行热量交换，彼此独立，互不影响，不仅敏感的角速度稳定性好，而且两对热线分别串联，热线电阻大，在通以相同热线电流情况下，角速度输出电压大，比普通单射流敏感室的气流式角速度传感器的灵敏度高，实用性强。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105066978A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510415599.X
申请日：2015-07-16
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/56
CPC classification number: G01C19/56
Abstract: 本申请公开了一种微型单循环气流式平面双轴PET角速度传感器，该传感器包括单循环气流式平面双轴角速度芯片、PCB电路板、底座、外壳、缓冲硅胶片和引线，其中单循环气流式平面双轴角速度芯片包括PET盖板、硅板和PET底座；PET盖板上设置有气流回路；硅板上设置有两对双自由度敏感热线；PET底座上设置有压电陶瓷振子和气流回路。本申请的气流式角速度传感器能抗高过载、耐强冲击；制作成本仅为全硅结构的1/10；能同时测量敏感轴平行于角速度芯片表面的两个正交方向的角速度，两个方向角速度信号的灵敏度一致性好，便于角速度信号的采集和控制，实用性强。
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公开(公告)号：CN104777330A
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：CN201410014008.3
申请日：2014-01-14
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01P15/09
Abstract: 本发明单岛多电极石英加速度计属于利用多电极石英力敏谐振器为敏感核心元件进行线加速度测量的领域。这种加速度计将加速运动时所产生的惯性力作用到多电极石英力敏谐振器，通过检测谐振器谐振频率的变化量得到对应的待测加速度。这种加速度计由底座、外壳、电路板、敏感元件及航空插座组成。底座与外壳构成密闭腔体，敏感元件安装在底座上，电路板安装在敏感元件上，插座安装在外壳上。敏感元件的单岛基座和密封罩紧密配合构成密封腔体，腔体内中央单岛的两则安装多电极石英力敏谐振器，单岛基座及中央单岛由一体加工而成，单岛基座上装有限位螺钉。该加速度计测量范围为10-4g～102g，可用于飞行器、车辆、舰船等的检测控制系统。
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公开(公告)号：CN104678262A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310610569.5
申请日：2013-11-28
Applicant: 国网青海省电力公司电力科学研究院 , 北京信息科技大学
IPC: G01R31/12
CPC classification number: G01R31/1254 , G01R31/1209 , H01H9/50 , H01H33/56 , H02B7/00
Abstract: 一种GIS(气体绝缘开关设备)击穿闪烙故障气室定位的方法及仪器。根据GIS结构及发生闪络时声波传播的特性，设计出GIS闪烙定位检测系统。该系统由一系列独立的声强检测仪构成，每个检测仪检测对应的GIS的气室声强，通过比较各个气室的声强值，定位出发生闪络的气室。检测仪由传感器、数据采集、信号处理、有效值显示、报警显示及电源管理等模块构成。其中传感器模块将来自GIS气室的声信号转换为电信号并送至数据采集模块，并进行放大、滤波等调理；信号处理模块完成信号的A／D转换及数据处理；有效值显示模块显示声信号对应的电压值；报警显示模块显示气室声压信号超出设定值时发出报警信号；电源管理模块为系统提供电源供给。
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公开(公告)号：CN105043372A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510364057.4
申请日：2015-06-26
Applicant: 北京信息科技大学
IPC: G01C19/58
Abstract: 本发明涉及一种微型三自由度开放式气流陀螺，包括三自由度开放式角速度敏感元件和与其实现电气连接的PCB电路板，该三自由度开放式角速度敏感元件包括上盖板、上硅板、下硅板和底板，通过层状的敏感元件结构形成开放式的气流网络结构，气流网络包括压电陶瓷振子下面的泵腔、入口敏感室和出口敏感室；上硅板的导流孔的横截面积大于泵腔腔口的横截面积但小于合流口的横截面积；PCB电路板的压电泵驱动电路向上盖板上的压电陶瓷振子提供激励电压，下硅板上的三对平行热线分别作为PCB电路板的三个惠斯登电桥的两个臂。本发明能够提高气流陀螺的灵敏度，并大幅减小体积和功耗。
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公开(公告)号：CN104601140A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201310534435.X
申请日：2013-11-04
Applicant: 北京信息科技大学
Abstract: 本发明涉及一种多电极石英力敏谐振器的设计、结构及制作。本发明在同一石英晶体基片上不同的位置设置多对电极，每对电极可构成一个独立的谐振器，分别与各自的激励电路连接时各谐振器可同时独立地工作，彼此之间互不干扰。当在基片的边缘位置沿直径方向给基片施加径向力作用时，不同位置的谐振器表现出不同的力敏特性；选择一定的径向力作用方位，利用不同位置的谐振器间的力敏特性差异，通过共模抑制及频率信号融合技术，可得到一种能抑制温度干扰并具有良好力敏特性的多电极石英力敏谐振器。这种多电极石英力敏谐振器可作为力敏元件用于姿态检测、惯性导航、形变监控等军用装备及民用设施检测控制领域。
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