常关型极化超结GaN基场效应晶体管和电气设备

    公开(公告)号:CN116830274A

    公开(公告)日:2023-09-29

    申请号:CN202180093495.5

    申请日:2021-10-05

    Abstract: 该常关型极化超结GaN基场效应晶体管具有:未掺杂GaN层11、AlxGa1‑xN层12(0<x<1)、岛状的未掺杂GaN层13、p型GaN层14、p型InyGa1‑yN层15(0<y<1)、p型InyGa1‑yN层15上的栅电极16、AlxGa1‑xN层12上的源电极17和漏电极18。在将AlxGa1‑xN层12与未掺杂GaN层11之间的异质界面和AlxGa1‑xN层12与未掺杂GaN层13之间的异质界面的极化电荷量设为NPZ、将AlxGa1‑xN层12的厚度设为d时,NPZd≤2.64×1014[cm‑2nm]成立。

    常关型极化超结GaN系场效应晶体管和电气设备

    公开(公告)号:CN115398647A

    公开(公告)日:2022-11-25

    申请号:CN202180025734.3

    申请日:2021-09-16

    Abstract: 该常关型极化超结GaN系FET具有依次层叠的未掺杂GaN层11、AlxGa1‑xN层12、岛状的未掺杂GaN层13、p型GaN层14和p型InyGa1‑yN层15,在最上层具有栅极16,在AlxGa1‑xN层12上具有源极17和漏极18,在AlxGa1‑xN层12上具有与未掺杂GaN层13的一端部接近的p型InzGa1‑zN层19和栅极20。栅极20可以隔着栅绝缘膜设置在p型InzGa1‑zN层19上。在非工作时,将在未掺杂GaN层11/AlxGa1‑xN层12异质界面处形成的2DEG22的、栅极20的正下方的部分的浓度设为n0、将栅极16的正下方的部分的浓度设为n1、将极化超结区域的浓度设为n2、将极化超结区域与漏极18之间的部分的浓度设为n3时,n0≤n1<n2<n3。

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