一种腔长可控的光纤F-P腔构成装置

    公开(公告)号:CN107152941B

    公开(公告)日:2019-11-26

    申请号:CN201710352387.0

    申请日:2017-05-18

    Abstract: 本发明属于光纤传感技术领域,具体涉及一种腔长可控的光纤F‑P腔构成装置。该装置包括光源、环形器、1×2耦合器、光谱仪和三维精密微位移平台,平面反射片、中空准直管、平面反射片夹持装置、传输光纤和光纤夹持装置;该装置利用平面反射片和传输光纤端面构成光纤F‑P腔,通过中空准直管保证传输光纤端面与平面反射片端面的平行度,利用三维精密微位移平台实现对传输光纤的移动控制,从而实现光纤F‑P腔的腔长的精密控制。可实现对腔长大范围调节和精确控制,用于在解调设备研制过程中提供标准腔长。

    一种膜片式光纤F-P腔压力传感器温度补偿方法

    公开(公告)号:CN103674358B

    公开(公告)日:2015-06-17

    申请号:CN201310606168.2

    申请日:2013-11-25

    Abstract: 本发明涉及一种膜片式F-P腔压力传感器温度补偿方法,属于光纤传感和压力测量及健康监测领域。首先选取玻璃7740材料制作腔底,同时采用硅制作F-P腔膜片,厚度为40μm;其次根据材料的热膨胀系数,玻璃的为3.3×10-6,硅片的为2.4×10-6,同时考虑到与硅的亲和性与柔韧性,选用钛进行真空溅射镀膜,其热膨胀系数为10.8×10-6,膜厚为100nm;然后采用研磨、抛光仪器对硅及玻璃表面进行预处理,并采用高温键合方法将两者固定一起,腔体为真空环境;最后采用环氧树脂胶粘剂将传输光纤固定于腔底的下侧。本发明流程简单,易于实现可以代替复杂的软件算法进行的温度补偿。

    一种光纤光栅应变传感器的封装装置及封装方法

    公开(公告)号:CN119354085A

    公开(公告)日:2025-01-24

    申请号:CN202411514130.7

    申请日:2024-10-28

    Abstract: 本发明公开了一种光纤光栅应变传感器的封装装置及封装方法,所述装置包括第一和第二光纤夹持器、基底夹具、第一和第二微位移平台、六轴光学调整平台、光纤光栅解调仪、高精度拉力计、视觉观察系统、定量给胶泵和胶粘剂固化装置;第一与第二光纤夹持器夹持第一和第二光纤;基底夹具安装应变基底;第一和第二微位移平台控制移动光纤夹持器;六轴光学调整平台承载基底夹具;光纤光栅解调仪监测光纤光栅的中心波长与波形图谱;高精度拉力计对光纤光栅施加拉力;视觉观察系统对光纤光栅和应变基底的位置姿态进行观察;定量给胶泵给出胶粘剂;胶粘剂固化装置加速固化胶粘剂。本发明能够有效控制光纤光栅应变传感器的封装质量,提高应变灵敏度的一致性。

    一种基于刚架梁的高温应变校准装置及其溯源方法

    公开(公告)号:CN117906567A

    公开(公告)日:2024-04-19

    申请号:CN202410258159.7

    申请日:2024-03-07

    Abstract: 本发明公开了一种基于刚架梁的高温应变校准装置及其溯源方法,所述装置的两个加载力臂通过刚架梁滚珠支架安装在水平台上,两个加载刀口分别与两个加载刀头相配合;加载刀头与位移丝杠连接,步进电机能够带动位移丝杠旋转来进行机械力加载,使得两个加载刀头沿位移丝杠进行轴向运动,带动两个加载刀口和两个加载力臂的一端沿位移丝杠轴向运动,从而使设置于两个加载力臂另一端的高温标定梁产生弯曲变形;位移传感器能够测量两个加载刀口沿位移丝杠的轴向运动的位移值;高温炉用于对高温标定梁进行温度加载,三点挠度计用于测量高温标定梁的挠度值。本发明能够实现高温下应变的校准,满足高温应变传感器静态参数校准对标准应变激励源的需求。

    一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112629720B

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202011378695.9

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开的一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法,涉及一种采用MEMS加工具有低损耗光路的光纤压力传感器及其制作方法,属于光纤压力传感器技术领域。低损耗光纤压力传感器是基于膜片结构的光纤EFPI式压力传感器,包括压力敏感结构、圆柱形中空管和传输光纤,其中压力敏感结构上制作有波导结构。本发明采用基于波导结构的光信号传输方法,能够有效解决基于MEMS工艺技术的光纤EFPI压力传感器敏感结构中基底对回光能量的损耗问题,显著提高光信号的可解调性;本发明采用的玻璃棒波导结构易于刻制加工,与玻璃晶圆片的装配不但可保证压力敏感结构密封性,而且易于加工实现,同时也能够提高光纤压力传感器的耐温能力。

    一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN112629720A

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN202011378695.9

    申请日:2020-11-30

    Abstract: 本发明公开的一种低损耗光纤压力传感器及其制作方法,涉及一种采用MEMS加工具有低损耗光路的光纤压力传感器及其制作方法,属于光纤压力传感器技术领域。低损耗光纤压力传感器是基于膜片结构的光纤EFPI式压力传感器,包括压力敏感结构、圆柱形中空管和传输光纤,其中压力敏感结构上制作有波导结构。本发明采用基于波导结构的光信号传输方法,能够有效解决基于MEMS工艺技术的光纤EFPI压力传感器敏感结构中基底对回光能量的损耗问题,显著提高光信号的可解调性;本发明采用的玻璃棒波导结构易于刻制加工,与玻璃晶圆片的装配不但可保证压力敏感结构密封性,而且易于加工实现,同时也能够提高光纤压力传感器的耐温能力。

    一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法

    公开(公告)号:CN107014520A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710353372.6

    申请日:2017-05-18

    CPC classification number: G01K11/32

    Abstract: 本发明涉及一种毛细管式光纤光栅高温温度传感器及其制作方法,可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量,属于光纤传感测量技术领域。该传感器包括作为温度测量敏感元件的光纤光栅和作为封装结构的非金属毛细管,利用焊接方法实现光纤和毛细管的一体化封装,减小了传感器结构尺寸,降低了封装结构与光纤之间热不匹配性的影响,避免了胶粘剂引起的容易老化和蠕变、以及高温下软化甚至分解的问题,提高了传感器的工作温度范围,以及在高温等恶劣环境下工作的长期稳定性和可靠性,可用于航空航天、兵器、核工业等领域中的结构件表面温度和气流温度等高温温度的精密测量。

    一种基于光纤传感器高温环境下的应变测量方法

    公开(公告)号:CN106931898B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201710352945.3

    申请日:2017-05-18

    Abstract: 本发明涉及一种基于光纤传感器高温环境下的应变测量方法,属于测试技术领域。该方法包含以下步骤:1、测试工作环境下应变测量,2、模拟环境下复现应变测量数据,3、应变值获取。本发明间接实现应变测量的原位校准,使得高温环境下应变测量数据可溯源;无需对传感器进行高温环境下的参数(如灵敏系数、热输出等)标定,可直接用于试验测试,避免了标定过程中引入误差,同时复现测试环境、被测试件状态及传感器安装,抵消了测量过程中的隐含误差源,可显著提高高温环境下应变测量的准确度。

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