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公开(公告)号：CN104297521B
公开(公告)日：2017-10-24
申请号：CN201310304676.5
申请日：2013-07-19
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125
Abstract: 一种MEMS高灵敏度横向加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根弹性梁相连接；所述质量块与所述框架之间设置有相对的梳状耦合结构；所述质量块在水平方向上移动，所述梳状耦合结构用于检测水平方向上的加速度。本加速度计对水平方向上的加速度检测精度高，而且制作工艺简单，对盖板的材料要求低。
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公开(公告)号：CN104215236A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201310221698.5
申请日：2013-06-05
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01C19/574 , G01C19/5769
CPC classification number: G01C19/5769 , B81B3/0048 , B81B2201/0242 , B81B2203/0118 , B81B2203/0136 , B81C1/00531 , B81C2201/0132 , B81C2201/0159 , B81C2201/0176 , B81C2203/0118 , G01C19/574 , G01C19/5747
Abstract: 一种MEMS反相振动陀螺仪，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体为两个，沿垂直方向相对连接，每个所述测量体包括外框架、位于所述外框架内的内框架以及位于所述内框架内的质量块；两个所述测量体之间通过所述外框架相连接；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过所述第二弹性梁相连接；所述内框架与所述外框架之间的相对边设置有梳状耦合结构；两个所述质量块在垂直方向上以相反方向振动，本发明通过测量所述梳状耦合结构之间的电容变化来测量旋转角速度。本发明具有检测灵敏度高、耦合能耗小、噪声小等特点。
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公开(公告)号：CN104166016A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201310182168.4
申请日：2013-05-16
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
CPC classification number: G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18
Abstract: 一种高灵敏度三轴MEMS加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体为两层结构，每层包括外框架、内框架以及质量块；所述外框架与所述内框架之间通过第一弹性梁相连接；所述质量块与所述内框架通过第二弹性梁相连接，所述质量块与所述内框架之间设置有梳状耦合结构，其中上层测量体的梳状耦合结构走向与下层测量体的梳状耦合结构走向在投影平面上相互垂直，所述上层测量体与所述下层测量体分别测量两个相互垂直方向上的加速度，所述上层测量体及下层测量体通过所述内框架形成在第三个方向上运动的整体，并通过测量与上下盖板之间电容的改变测量第三个方向上的加速度。本发明能够实现三轴同时检测，精度高，稳定性好。
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公开(公告)号：CN103675345A
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：CN201210356542.3
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00269 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , G01P15/02 , G01P15/0802 , G01P15/125
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；每组所述弹性折叠梁之间通过一连接臂相互连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明的加速度计结构具有极大的模态隔离比值，进一步降低了MEMS芯片的噪声。为此，本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。
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公开(公告)号：CN110346930A
公开(公告)日：2019-10-18
申请号：CN201910771820.3
申请日：2019-08-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种MEMS微镜及MEMS光开关，该MEMS微镜包括：驱动镜面结构，驱动镜面结构位于衬底上，包括两个L型结构，两个L型结构的首尾相对排布，每个L型结构包括第二扭转梁、L型横板和第二梳齿状结构，L型横板的首端下方衬底上设置有第一驱动电极，且该首端通过第二扭转梁支撑旋转，L型横板的尾端上有第二梳齿状结构；微镜镜面层位于驱动镜面结构的上方，第一扭转梁通过衬底固定且用于支撑微镜镜面层的两侧，微镜镜面层上与第二梳齿状结构相对应的两侧分别有第一梳齿状结构，使得对第一驱动电极施加较小的驱动电压时，第一、第二梳齿状结构的正对面积有较大的改变，产生的静电吸引力作用与第一梳齿状结构，使得微镜镜面层转动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105445495B
公开(公告)日：2018-11-02
申请号：CN201410340002.5
申请日：2014-07-16
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
Abstract: 一种对称的MEMS加速度敏感芯片，所述加速度敏感芯片包括上半部及下半部，所述上半部与所述下半部键合后形成框架整体以及设置在所述框架内的质量块整体；所述框架整体及所述质量块整体之间通过弹性梁相连接，所述质量块整体的上下两端分别形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架整体的上下两端分别形成有第二连接部；所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部；所述凹陷部上方设置有多组梳齿结构；每组梳齿结构包括从所述第一连接部延伸出的活动梳齿以及从第二连接部延伸出的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成差分检测电容。本加速度敏感芯片实现同时具有高对称性，大质量块，大电容，低阻尼的高灵敏度加速度计。
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公开(公告)号：CN104297522B
公开(公告)日：2018-02-02
申请号：CN201310305611.2
申请日：2013-07-19
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
Abstract: 一种MEMS悬臂梁式加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板以及下盖板；所述测量体包括框架、位于所述框架内的质量块，所述质量块与所述框架之间通过多根悬臂梁相连接；所述质量块与所述框架之间还设置有缓冲梁，所述缓冲梁的一端与所述质量块相连接，所述缓冲梁的另一端与所述框架相连接。缓冲梁可以有效地保护加速度计，防止其因外力过大而损坏。
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公开(公告)号：CN103675345B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201210356542.3
申请日：2012-09-21
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81C1/00
CPC classification number: B81C1/00269 , B81B2201/0235 , B81C2203/0118 , G01P15/02 , G01P15/0802 , G01P15/125
Abstract: 一种加速度计，包括：测量体、与所述测量体相连接的上盖板硅片以及下盖板硅片；所述测量体包括框架、位于所述框架内的弹性梁和质量块；所述质量块与所述框架通过多组所述弹性梁相连接，每组所述弹性梁包括两根弹性折叠梁,所述弹性折叠梁以所述质量块的中线为轴对称设置；每组所述弹性折叠梁之间通过一连接臂相互连接。所述测量体的上下表面上均键合有带电极的盖板硅片。并与测量体之间形成一电容。本发明的加速度计结构具有极大的模态隔离比值，进一步降低了MEMS芯片的噪声。为此，本加速度计具有检测精确度高、稳定性强、噪声低等优点。
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公开(公告)号：CN105445495A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201410340002.5
申请日：2014-07-16
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B81B2203/051 , G01P2015/0814
Abstract: 一种对称的MEMS加速度敏感芯片，所述加速度敏感芯片包括上半部及下半部，所述上半部与所述下半部键合后形成框架整体以及设置在所述框架内的质量块整体；所述框架整体及所述质量块整体之间通过弹性梁相连接，所述质量块整体的上下两端分别形成有多个凹陷部及第一连接部，所述框架整体的上下两端分别形成有第二连接部；所述弹性梁连接所述第一连接部和第二连接部；所述凹陷部上方设置有多组梳齿结构；每组梳齿结构包括从所述第一连接部延伸出的活动梳齿以及从第二连接部延伸出的固定梳齿，所述活动梳齿与所述固定梳齿之间形成差分检测电容。本加速度敏感芯片实现同时具有高对称性，大质量块，大电容，低阻尼的高灵敏度加速度计。
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公开(公告)号：CN104296784A
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201310304674.6
申请日：2013-07-19
Applicant: 中国科学院地质与地球物理研究所
Abstract: 一种MEMS检测装置，包括：测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。从而在外部冲击力幅度超出检测装置的限定幅度时，保护质量块，进而保护检测装置。
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