公开(公告)号：CN104071745A

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201410312619.6

申请日：2014-07-02

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 杨勋 ,  李铁 ,  张啸 ,  戴鹏飞 ,  王跃林

IPC: B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种具有密贴悬空栅极的硅纳米线场效应管的制备方法，包括步骤：通过至上而下的工艺在（111）型硅片上制备出特定尺寸的硅纳米线,保留氮化硅掩膜层，并以此为绝缘层在其上制作栅极，同时在硅纳米线两端的体硅上通过离子注入制备漏极和源极，构成了基于硅纳米线的场效应管，由于硅纳米线整体贴在氮化硅薄层上，成品率得到很大提高。所制备的纳米线直径和长度可控，比表面积大，活性强，可作为气体传感器和生化传感器的敏感元件，具有广阔的应用前景。

公开(公告)号：CN103901085A

公开(公告)日：2014-07-02

申请号：CN201410165319.X

申请日：2014-04-23

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 高安然 ,  李铁 ,  戴鹏飞 ,  鲁娜 ,  王跃林

IPC: G01N27/26 ,  G01N27/327 ,  B82Y40/00

Abstract: 本发明提供一种基于硅纳米线隧穿场效应晶体管的生物传感器及制作方法，包括制作具有三角形截面的硅纳米线沟道的硅纳米线隧穿场效应晶体管的步骤、于所述硅纳米线沟道表面进行试剂修饰形成活性薄膜以及于所述活性薄膜表面形成捕获探针的步骤。本发明工艺过程简单，可控性强，与现有半导体工艺完全兼容；成本较低，适于批量生产；器件具有双极特性，对双向检测结果进行对照，保证检测的准确性，特别适合生化分子检测的应用。另外，本发明的硅纳米线传感器中纳米线为三角形截面，该结构与其他纳米线结构（如圆柱，梯形截面）相比，比表面积更大，调制效率更高，且硅纳米线暴露的两（111）面更易形成致密的定向单分子生物敏感膜，对于生化传感有利。