公开(公告)号：CN214586257U

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202120675700.6

申请日：2021-04-02

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 佘小娟 ,  廖涵 ,  赵瑛璇 ,  仇超 ,  甘甫烷

IPC: G02B27/28 ,  G02B6/126 ,  G02B6/136

Abstract: 本实用新型提供一种90°光混频器，该90°光混频器包括Si3N4MMI耦合器，该Si3N4MMI耦合器使用氮化硅作为波导的芯层材料，二氧化硅作为波导的包层材料，基于氮化硅材料制成的Si3N4MMI耦合器制作工艺简单，与集成器件、CMOS工艺兼容。该Si3N4MMI耦合器的四个输出波导输出的光功率保持一致，且四个输出波导输出光束的相位误差在‑5°～5°范围内，四个输出波导的总透射率大于0.9时，对应的带宽为68nm，覆盖了波长范围在1530nm‑1565nm之间的C波段，具有较高的实用价值。

公开(公告)号：CN215575764U

公开(公告)日：2022-01-18

申请号：CN202120882537.0

申请日：2021-04-27

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 佘小娟 ,  廖涵 ,  赵瑛璇 ,  仇超 ,  甘甫烷

IPC: G02B6/125 ,  G02B6/124 ,  G02B6/136

Abstract: 本实用新型提供一种基于氮化硅光子晶体的光分路器，该光分路器包括：自下而上依次设置的硅层、氧化硅层及氮化硅波导层；氮化硅波导层的中间部分形成有二维氮化硅光子晶体波导，两端分别形成有光栅发射器；二维氮化硅光子晶体波导包括一列沿氮化硅波导层长度方向呈周期性排布的圆形凹槽及中间部分氮化硅波导层；光栅发射器为半圆环形的同心环绕光栅且具有两个半圆环形镂空孔。采用氮化硅材料可应用的带宽大，且两个半圆环形镂空孔设计的氮化硅光栅光学损耗小，光出射效率高；另外，光分束器可实现对片外光波的收集同时对光波传输、分光形成片外出射光。

公开(公告)号：CN215266304U

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202120710744.8

申请日：2021-04-02

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 佘小娟 ,  廖涵 ,  赵瑛璇 ,  仇超 ,  甘甫烷

IPC: H01L27/144 ,  H01L31/0232 ,  H01L31/0352 ,  H01L31/18

Abstract: 本实用新型提供一种基于偏振分束器与光电探测器的8通道结构，本实用新型将光电探测器与偏振分束器进行有效的结合形成8通道结构，降低了系统的偏振灵敏度，同时保持较低的损耗。8通道的设计，有效地提高了系统的带宽，满足大量数据传输的需求。本实用新型还对光电探测器的结构做出改进，将光电探测器的光敏层设计为圆台形，圆台形的光敏层均衡了电流传输与电流扩展这两方面的影响因素，保证光生载流子在极短的时间内扩散以使电路迅速导通。