公开(公告)号：CN101349780B

公开(公告)日：2010-06-02

申请号：CN200810079330.9

申请日：2008-08-30

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  闫树斌 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  严英占 ,  吉喆 ,  王少辉 ,  姜国庆 ,  王宝花

IPC: G02B6/12 ,  G02B6/13 ,  G02F1/35 ,  H01S5/10 ,  H01S3/08

Abstract: 本发明涉及微型光学谐振器-光学微腔，具体是一种平面环形微腔的制造方法。解决了以现有加工方法加工制得的环形微腔未能获得超高品质因数Q值的问题，采用以下制造步骤：1、在硅基上热生长出二氧化硅层，去离子水和丙酮清洗，氮气烘干，高温炉内烘烤；2、利用刻蚀工艺将硅基上的二氧化硅层刻蚀成圆盘状；3、对硅基进行各向同性腐蚀以在圆盘状二氧化硅层下方形成光滑的圆台状支柱；4、采用激光器以高斯热分布模式经汇聚透镜对圆盘状二氧化硅层进行表面热处理，使圆盘状二氧化硅层中心表面塌陷形成环状腔体。具有良好的光学特性、光学存储作用、超高品质因数，在非线性光学、光子学、量子电动力学、高灵敏度微光学器件等领域具有广泛的应用前景。

公开(公告)号：CN101387496A

公开(公告)日：2009-03-18

申请号：CN200810079473.X

申请日：2008-09-25

Applicant: 中北大学

Inventor： 张文栋 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  闫树斌 ,  吉喆 ,  严英占 ,  王少辉 ,  王宝花 ,  姜国庆

IPC: G01B11/02 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明涉及基于集成面环形微腔与悬臂梁的微位移传感器，它包括平面环形微腔、光波导、基底、与光波导相连的入射光纤及出射光纤，所述平面环形微腔与光波导的光相耦合；其特点是所述微位移传感器还有悬臂梁与探针，悬臂梁的一端连接在基底上，另一端为自由端；所述探针在悬臂梁的下表面自由端前部中间位置，悬臂梁和探针均用刻蚀形成；所述平面环形微腔与光波导均被刻蚀在悬臂梁的上表面；是利用现代MEMS加工技术制成的，可适用于磁场环境复杂，真空环境，被测物体范围广，除普通的金属，非金属物质表面外，也可对生物细胞进行表面测量。其测量精度可达10－4埃。