公开(公告)号：CN103500788B

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201310500968.6

申请日：2013-10-23

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛靖 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: H01L33/48 ,  H01L33/56 ,  B81B7/02

Abstract: 本发明公开了一种可集成的纳米结构红外光源，利用MEMS/CMOS工艺，对非晶硅表面进行纳米修饰加工，形成锥状纳米结构，再对锥状纳米结构进行TiN镀层加工；最后采用正面XeF2释放技术，对硅衬底进行深硅刻蚀，分离窄带红外光源与硅衬底的接触，减小热量在硅丝欧姆发热过程中的损耗，提高光源的工作功率。本发明采用MEMS/CMOS光源制造技术，利用金属诱导晶化技术实现红外光源的表面修饰，得到锥状纳米结构，并对其进行表面TiN镀层加工，实现Si-TiN，TiN-Air之间的表面等离子体共振技术。采用正面释放技术形成微悬臂梁对红外光源进行支撑来降低热损耗，并通过在加热层下预埋介质层氮化硅，来降低结构应力。

公开(公告)号：CN103698020A

公开(公告)日：2014-04-02

申请号：CN201310630488.1

申请日：2013-12-02

Applicant: 中北大学

Inventor： 谭秋林 ,  陈媛婧 ,  熊继军 ,  薛晨阳 ,  张文栋 ,  刘俊 ,  毛海央 ,  明安杰 ,  欧文 ,  陈大鹏

IPC: G01J5/12 ,  G01N21/3504 ,  H01L35/32 ,  H01L35/34

Abstract: 本发明属于热电堆红外气体探测器的技术领域，具体涉及一种复合薄膜作为红外吸收层的热电堆红外气体探测器及其加工方法，解决了传统热电堆红外探测器热电转化率低和释放过程中悬浮结构易损坏等问题。其包括SOI衬底、热偶条、SiO2介质层、金属连接和焊盘、SiO2隔离层以及吸收层，N/P多晶硅热偶条的冷端支撑于SOI衬底，吸收层悬浮设置于探测器的顶部。本发明利用复合纳米薄膜对近红外波段较强的吸收率，并且将吸收层悬浮于器件上方，提高了器件单元占空比，相应地提高探测器的响应率和探测率，进而优化探测器的性能指标。