一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法

    公开(公告)号:CN116944006B

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311203223.3

    申请日:2023-09-19

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法,解决了现有PMUT性能较低的技术问题,该方法包括在SOI片上表面制备压电层;在压电层上制作上电极;在SOI片下表面沉积二氧化硅层,在二氧化硅层的下表面向上刻蚀漏出SOI片的埋层;对二氧化硅层和SOI片中的埋层进行腐蚀,得到PMUT单元的空腔结构。本发明提供的PMUT单元采用压电材料表面横向伸缩工作模式膜薄压电层与振动层产生位移差,实现弯曲振动,可用于超声成像,同时可提高输出电压及相应灵敏度;该方法避免了压电层图形化过程中刻蚀工艺复杂、困难

    一种柔性薄膜及其制备方法与基于柔性薄膜的传感器

    公开(公告)号:CN114295261A

    公开(公告)日:2022-04-08

    申请号:CN202210025798.X

    申请日:2022-01-11

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于柔性力学传感器以及微机电技术领域,具体为一种表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜及其制备方法,及基于此柔性薄膜制备的传感器,解决了背景技术中的技术问题,柔性薄膜的正面具有均匀分布的多个微米级正四棱锥台结构,正四棱锥台结构的表面辅以多个随机、紧密排列的纳米级凸起结构。本发明的表面具有经过修饰后的微锥台阵列结构的柔性薄膜表面具有微纳米级别结构,可有效提升薄膜表面比表面积,利用本发明的三种柔性力学传感器的灵敏度高、微弱压力感知能力强和测量范围广;本发明所述的方法操作步骤简单,而且实施条件要求低,满足生产成本等要求,可利用硅片模板批量制备柔性薄膜。

    一种适用于气流法评价起泡剂性能的自动测试系统及方法

    公开(公告)号:CN118671066A

    公开(公告)日:2024-09-20

    申请号:CN202411154875.7

    申请日:2024-08-22

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明属于煤泥浮选药剂评价方法技术领域,具体为一种适用于气流法评价起泡剂性能的自动测试系统及方法,本发明测试系统包括充气装置、气泡发生装置和图像采集装置;充气装置通过自动泄压阀避免系统压力过大造成事故;充气装置中电磁阀通过接收上位机软件发送的指令实现自动通断;图像采集装置包括图像采集单元和计算机;图像采集单元通过以太网接口与计算机连接;图像采集单元通过无线通信模块与电磁阀连接;计算机上运行气流法评价起泡剂性能的自动测试系统上位机软件,上位机软件控制图像采集和电磁阀通断;本发明应用于气流法评价起泡剂性能测试,解决了传统气流法评价泡沫性能测试不准确及测试效率低的问题。

    一种适用于飞行器的自驱动复合式多源振动传感器

    公开(公告)号:CN117890050B

    公开(公告)日:2024-06-21

    申请号:CN202410294477.9

    申请日:2024-03-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及用于与飞机配合或装到飞机上的设备技术领域,尤其涉及一种适用于飞行器的自驱动复合式多源振动传感器,解决单一传感器的准确度不能有效保证或复杂的传感器会增加飞行器的用电负担的技术问题,其包括柔性薄膜、上外壳和下外壳,柔性薄膜包括堆叠的上摩擦介质层、中间间隔层和下摩擦介质层,中间间隔层的两侧设置有相吸附的第一永磁体和第二永磁体;柔性薄膜位于上外壳和下外壳之间。本发明中的四组传感器均随着外部激励的增大可产生更强的输出信号,通过后期算法能够使四组传感器互相校正,提升了长时间振动测量的可靠性;同时,基于四组传感器能实现对外部振动激励信号的自驱动监测,降低飞行器的能耗。

    一种多任务断电续存系统、方法及数据采集设备

    公开(公告)号:CN118093264A

    公开(公告)日:2024-05-28

    申请号:CN202410071243.8

    申请日:2024-01-17

    Abstract: 本发明提供了一种多任务断电续存系统、方法及数据采集设备,该系统包括任务地址分配表读写控制模块、IIC读写控制模块和eMMC读写控制模块,eMMC读写控制模块用于根据任务地址分配表读写控制模块发来的任务起始地址向eMMC中按序写入数据,并且每间隔预设时间将当前正在写入的页地址作为任务结束地址发送给任务地址分配表读写控制模块;IIC读写控制模块用于根据任务信息计算第一校验值并一同写入eeprom中;IIC读写控制模块还用于根据读取的任务信息计算第二校验值,并将其与第一校验值比较;任务地址分配表读写控制模块用于根据比较结果进行数据续存。应用本发明的技术方案,以解决现有技术中无法实现多任务存储且断电续存方法复杂的技术问题。

    一种适用于飞行器的自驱动复合式多源振动传感器

    公开(公告)号:CN117890050A

    公开(公告)日:2024-04-16

    申请号:CN202410294477.9

    申请日:2024-03-15

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本发明涉及用于与飞机配合或装到飞机上的设备技术领域,尤其涉及一种适用于飞行器的自驱动复合式多源振动传感器,解决单一传感器的准确度不能有效保证或复杂的传感器会增加飞行器的用电负担的技术问题,其包括柔性薄膜、上外壳和下外壳,柔性薄膜包括堆叠的上摩擦介质层、中间间隔层和下摩擦介质层,中间间隔层的两侧设置有相吸附的第一永磁体和第二永磁体;柔性薄膜位于上外壳和下外壳之间。本发明中的四组传感器均随着外部激励的增大可产生更强的输出信号,通过后期算法能够使四组传感器互相校正,提升了长时间振动测量的可靠性;同时,基于四组传感器能实现对外部振动激励信号的自驱动监测,降低飞行器的能耗。

    一种集成自供电传感装置
    20.
    发明公开

    公开(公告)号:CN114877918A

    公开(公告)日:2022-08-09

    申请号:CN202210530815.5

    申请日:2022-05-16

    Applicant: 中北大学

    Abstract: 本申请公开了一种集成自供电传感装置,包括:定子、转子及磁性联轴器,所述定子安装在壳体内,所述转子安装在所述壳体内并相对所述定子转动连接,所述磁性联轴器设置在所述定子的顶部,并与所述转子通过磁力连接;其中,在外界旋转运动刺激下,所述转子产生传感信号和能量输出。本申请利用摩擦纳米发电机实现传感功能,通过对摩擦纳米发电机的输出信号的采集与分析,评估被测设备的旋转速度和方向等旋转参数,以判断被测设备的实时旋转状态;同时装置内置的电磁发电单元通过收集被测设备的旋转能为整个装置提供稳定且持久的能量供给,真正实现了传感装置的自供电功能。

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