公开(公告)号：CN108227385A

公开(公告)日：2018-06-29

申请号：CN201711230827.1

申请日：2017-11-29

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明涉及一种硬掩模用组合物，硬掩模用组合物包含碳原子数6～20的芳香族化合物、化学式1所表示的连接化合物的聚合物、和溶剂。化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～3的烷基、或碳原子数6～10的芳基，X为碳原子数2～10的脂肪族亚烷基、或者至少一个亚甲基被氧原子取代的碳原子数2～10的脂肪族亚烷基，a和b各自为0～2的整数，a与b之和为2。通过使用硬掩模用组合物，能够形成平坦性、耐热性、耐蚀刻性同时提高的硬掩模。[化学式1]

公开(公告)号：CN107797385A

公开(公告)日：2018-03-13

申请号：CN201710686901.4

申请日：2017-08-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，更详细而言，提供通过包含含有特定结构的重复单元的共聚物和溶剂，从而能够形成溶解性和涂布均匀性优异且成膜后耐裂纹性优异的抗蚀剂下层膜(硬掩模)的硬掩模用组合物。

公开(公告)号：CN111587403B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN201980007915.6

申请日：2019-02-20

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 崔相俊 ,  梁敦植 ,  李殷相 ,  崔汉永 ,  赵庸桓 ,  金烔永

IPC: G03F7/11 ,  G03F7/004 ,  C08L65/00 ,  C08G61/12

Abstract: 本发明的硬掩模用组合物包含吲哚衍生物和芳香族单元。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、涂布性和耐化学性同时提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN110275391B

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN201910181558.7

申请日：2019-03-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 李殷相 ,  梁敦植 ,  宋寅珏

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00

Abstract: 本发明提供感光性树脂组合物及使用其的图案形成方法。上述感光性树脂组合物包含碱溶性树脂、感光剂、含有二烷系化合物的显影增强剂和溶剂。通过显影增强剂的作用，能够提高灵敏度和分辨率。

公开(公告)号：CN108427246B

公开(公告)日：2022-01-04

申请号：CN201810130569.8

申请日：2018-02-08

Applicant: 东友精细化工有限公司 ,  崔相俊

Inventor： 梁敦植 ,  梁振锡 ,  朴根永 ,  崔汉永 ,  崔相俊

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明涉及一种硬掩模用组合物，其通过包含碳原子数6～35的芳香族化合物与下述化学式1的化合物的聚合物、以及溶剂，从而能够形成平坦性、溶解性和耐蚀刻性同时提高的硬掩模。下述化学式1中，R1和R2各自独立地为碳原子数1～8的烷基，彼此可以连接而形成环，烷基可以在主链上进一步包含一个以上的氧原子，Ar为来源于碳原子数6～20的芳香族化合物的官能团。

公开(公告)号：CN105867069B

公开(公告)日：2019-10-08

申请号：CN201610084773.1

申请日：2016-02-14

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 全志珉 ,  金圣彬 ,  梁敦植

IPC: G03F7/038

Abstract: 本发明涉及可以低温固化、对于基板的密合性、耐化学性优异的负型感光性树脂组合物、使用其形成的光固化图案和包含所述图案的图像显示装置。

公开(公告)号：CN109212902A

公开(公告)日：2019-01-15

申请号：CN201810469903.2

申请日：2018-05-16

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  金烔永 ,  崔汉永

IPC: G03F7/039 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物及图案形成方法，该硬掩模用组合物包含苄醇(benzyl alcohol)单元与咔唑(carbazole)单元结合而成的芳香族化合物、和溶剂。通过使用硬掩模用组合物，能够形成填隙特性、耐蚀刻性提高了的硬掩模。

公开(公告)号：CN108663905A

公开(公告)日：2018-10-16

申请号：CN201810201666.1

申请日：2018-03-12

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 梁敦植 ,  崔汉永

IPC: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其包含含有咔唑单元、联苯单元、和来源于甲醛或其合成等价物或者下述化学式3所表示的化合物中的至少一种的连接单元的缩聚物、及溶剂。由硬掩模用组合物能够形成耐蚀刻性、溶解性和平坦性同时提高了的硬掩模。下述化学式3中，R2为碳原子数6～20的芳香族烃基，R3和R4各自独立地为氢、或碳原子数1～4的烷基。

公开(公告)号：CN107340688A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710233535.7

申请日：2017-04-11

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  梁敦植 ,  金相泰 ,  成始震

IPC: G03F7/11

CPC classification number: G03F7/11

Abstract: 本发明提供一种硬掩模用组合物，其通过包含含有选自由特定化学式组成的组中的至少一种重复单元的聚合物和溶剂，从而能够形成具有优异的耐热性、高温耐热性及涂覆均匀性的抗蚀剂下层膜(硬掩模)。更详细而言，所述聚合物包含选自由下述化学式1-1和化学式1-2组成的组中的至少一种重复单元，下述化学式1-1中，Ar1及Ar2各自独立地为碳原子数6～20的芳香族烃基，或者Ar1为氢原子且Ar2为碳原子数1～25的烃基，Ar1和Ar2可彼此连结而形成5～7元环，n为1～3的整数；下述化学式1-2中，Ar3为4～20的亚芳基。

公开(公告)号：CN107337624A

公开(公告)日：2017-11-10

申请号：CN201710297087.7

申请日：2017-04-28

Applicant: 东友精细化工有限公司

Inventor： 崔汉永 ,  李升鲁 ,  李宪熙 ,  梁敦植 ,  张虎振

IPC: C07C323/52 ,  C07D207/16 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027

Abstract: 本发明提供一种多官能丙烯酸酯及包含其的光固化性树脂组合物，更详细而言，涉及通过包含两个以上(甲基)丙烯酸酯基、一个以上亚烷氧基链和一个以上羧酸基从而具有能够提高显影性及耐显影性的效果的多官能丙烯酸酯及包含该多官能丙烯酸酯的光固化性树脂组合物。