公开(公告)号：CN301872687S

公开(公告)日：2012-03-28

申请号：CN201130327096.X

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  山下润 ,  伴昌和 ,  植田笃

Abstract: 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：主视图。5.后视图、左视图分别与主视图、右视图对称，故省略后视图和左视图。

公开(公告)号：CN300788462D

公开(公告)日：2008-06-04

申请号：CN200730147466.5

申请日：2007-06-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 植田笃

Abstract: 1.本产品是透明的；

公开(公告)号：CN301895306S

公开(公告)日：2012-04-25

申请号：CN201130327098.9

申请日：2011-09-13

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 铃木公贵 ,  山下润 ,  伴昌和 ,  植田笃

Abstract: 1.外观设计产品的名称：等离子体处理装置的衬里。2.外观设计产品的用途：本产品是设置在使用等离子体对基板进行蚀刻等处理的等离子体处理装置内壁上的衬里，用于防止处理容器的构成材料等造成金属污染。3.外观设计的设计要点：本外观设计的设计要点在于产品的形状。4.指定的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN300781671D

公开(公告)日：2008-05-21

申请号：CN200730147471.6

申请日：2007-06-15

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 植田笃 ,  田才忠

Abstract: 后视图与主视图对称，故省略后视图；左视图与右视图对称，故省