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公开(公告)号：CN107425128A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201710367124.7
申请日：2017-05-23
Applicant: 东京毅力科创株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L51/0005 , H01L51/001 , H01L51/5016 , H01L51/56
Abstract: 本发明涉及一种以使用喷墨方式的成膜法在基板上形成有机发光二极管的有机层的基板处理系统，在维持各颜色良好的发光特性的同时，延长蓝色光的点亮寿命。基板处理系统(100)包括：以第1烧制温度在基板上形成红色用和绿色用的空穴注入层的第1空穴注入层形成装置(110)；在红色用和绿色用的空穴注入层上以比第1烧制温度高的第2烧制温度形成红色用和绿色用的空穴输送层的空穴输送层形成装置(120)；和在形成有红色用和绿色用的空穴注入层和空穴输送层的基板上，以第1烧制温度以下的第3烧制温度形成蓝色用的空穴注入层的第2空穴注入层形成装置(130)。
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公开(公告)号：CN110620186A
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201910514340.9
申请日：2019-06-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明提供一种经由电子输送层和电子注入层高效地将电子从辅助电极供给到阴极的技术。一种有机EL面板，其包括：以矩阵状形成有多个有机EL元件，有机EL元件按如下顺序具有阳极、发光层、电子输送层、电子注入层和阴极，电子输送层、电子注入层和阴极以遍及多个有机EL元件的方式连续地形成，有机EL面板包括：辅助电极，其在多个有机EL元件之间，经由电子输送层和电子注入层将电子供给到阴极；和具有第一开口部及第二开口部的绝缘层，其中第一开口部在内部形成有发光层，第二开口部形成有从辅助电极去往阴极的电子的供给路径，辅助电极的与电子输送层相对的表面的功函数比阳极的与发光层相对的表面的功函数小。
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公开(公告)号：CN104228329B
公开(公告)日：2017-06-30
申请号：CN201410251369.X
申请日：2014-06-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明的干燥装置和干燥处理方法在短时间内高效率地去除在对基板上的有机材料膜进行干燥的干燥装置的处理容器内残留的溶剂。干燥装置(100)具备能够进行抽真空的处理容器(1)、在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、向处理容器(1)的内部照射紫外线的紫外线照射装置(5)以及控制部(6)。紫外线照射装置(5)作为溶剂分解单元而发挥功能，其在从处理容器(1)搬出已完成干燥处理的基板(S)之后，将残留在处理容器(1)内的溶剂中包含的有机化合物分解为低分子量的化合物。
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公开(公告)号：CN104228329A
公开(公告)日：2014-12-24
申请号：CN201410251369.X
申请日：2014-06-06
Applicant: 东京毅力科创株式会社
Abstract: 本发明的干燥装置和干燥处理方法在短时间内高效率地去除在对基板上的有机材料膜进行干燥的干燥装置的处理容器内残留的溶剂。干燥装置(100)具备能够进行抽真空的处理容器(1)、在处理容器(1)内支承基板(S)的作为支承构件的载置台(3)、向处理容器(1)的内部照射紫外线的紫外线照射装置(5)以及控制部(6)。紫外线照射装置(5)作为溶剂分解单元而发挥功能，其在从处理容器(1)搬出已完成干燥处理的基板(S)之后，将残留在处理容器(1)内的溶剂中包含的有机化合物分解为低分子量的化合物。
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公开(公告)号：CN104043573A
公开(公告)日：2014-09-17
申请号：CN201410096586.6
申请日：2014-03-14
Applicant: 东京毅力科创株式会社 , 精工爱普生株式会社
IPC: B05D3/04
Abstract: 本发明提供能够高效地且在短时间内除去被涂敷在基板上的有机材料膜中的溶剂、并且能够在基板的面内进行均匀的干燥处理的干燥装置及干燥处理方法。干燥装置（100）包括能够抽成真空的处理容器（1）、用于在处理容器（1）内支承基板（S）的作为支承构件的载置台（3）、用于朝向支承在载置台（3）的基板（S）上的有机材料膜喷射气体的气体喷射装置（5）、以及控制部（6）。干燥装置（100）还包括用于调节处理容器（1）内的压力的压力控制机构。多个喷嘴（51）构成为能够针对每个喷嘴（51）独立调节气体的喷射流量、气体的种类。
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