公开(公告)号：CN111373325A

公开(公告)日：2020-07-03

申请号：CN201880075015.0

申请日：2018-08-06

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  诹访充史 ,  小林秀行

IPC: G03F7/075 ,  C08F2/44

Abstract: 提供保存稳定性优异，即使在100℃以下的低温固化条件下，也可以获得与玻璃基板、金属基板的密合性和耐化学性优异的固化膜的硅氧烷树脂组合物。一种硅氧烷树脂组合物，其含有(A)聚硅氧烷、(B)感光剂、(C)具有磷原子的聚合性化合物和(D)具有脲基的硅烷化合物。

公开(公告)号：CN115356873B

公开(公告)日：2025-04-25

申请号：CN202210992042.2

申请日：2019-06-26

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  诹访充史 ,  小林秀行

IPC: G02F1/1335 ,  G03F7/023 ,  G03F7/027 ,  G03F7/038 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明涉及树脂组合物、遮光膜、遮光膜的制造方法及带隔壁的基板。树脂组合物，其含有：树脂；和有机金属化合物，其含有选自由银、金、铂及钯组成的组中的至少1种金属；和光聚合引发剂或醌二叠氮化合物；和溶剂。提供即使在250℃以下的加热条件下也能形成兼具高反射率和高遮光性的隔壁的树脂组合物。

公开(公告)号：CN117957494A

公开(公告)日：2024-04-30

申请号：CN202280062985.3

申请日：2022-09-13

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  诹访充史 ,  小林秀行 ,  藤井真实

IPC: G03F7/075 ,  C08F2/44 ,  C08F2/50 ,  C08F290/12 ,  G02F1/1335 ,  G03F7/004 ,  G03F7/027 ,  G03F7/031 ,  G03F7/038 ,  G09F9/30 ,  H01L33/00 ,  H01L33/50 ,  H05B33/02 ,  H05B33/12 ,  H05B33/22 ,  H10K50/00 ,  H10K59/00

Abstract: 本发明以提供在高曝光量加工时也能够如光掩模的设计线宽那样形成兼有预烘烤后的膜的无粘性、与熟化后的耐热性的厚膜间隔壁的树脂组合物作为目的。本发明的目的可以通过下述树脂组合物来实现，上述树脂组合物含有光自由基引发剂、受阻酚化合物和/或受阻胺化合物、包含特定的结构的聚硅氧烷、以及包含特定的结构的(甲基)丙烯酸系聚合物和/或包含特定的结构的cardo系聚合物，上述聚硅氧烷的重量与(甲基)丙烯酸系聚合物和cardo系聚合物的合计重量之比为30/70～70/30。

公开(公告)号：CN111771163B

公开(公告)日：2023-06-02

申请号：CN201980015528.7

申请日：2019-03-08

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 小林秀行 ,  诹访充史 ,  饭冢英祐 ,  东后行伦

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G06F3/041 ,  C08G77/24 ,  G06F3/044

Abstract: 一种负型感光性着色组合物，是含有(A)白色颜料、(B)硅氧烷树脂、(C)光聚合引发剂、(D)光聚合性化合物和(E)有机溶剂的负型感光性着色组合物，上述(B)硅氧烷树脂至少包含：下述通式(1)所示的重复单元和/或下述通式(2)所示的重复单元、以及下述通式(3)所示的重复单元，在上述(B)硅氧烷树脂的全部重复单元中，含有合计40～80摩尔％的下述通式(1)所示的重复单元和下述通式(2)所示的重复单元；在上述通式(1)～(3)中，R1表示氢的全部或一部分被氟取代了的碳原子数1～10的烷基、烯基、芳基或芳基烷基；R2表示单键、‑O‑、‑CH2‑CO‑、‑CO‑或‑O‑CO‑；R3表示碳原子数1～20的1价有机基；R4可以彼此相同也可以不同，分别表示碳原子数1～20的1价有机基。提供一种负型感光性着色组合物，其能够形成即使为厚膜，也为高分辨率，反射率高，耐热性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN110662805B

公开(公告)日：2022-02-08

申请号：CN201880034950.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  山口美智子 ,  诹访充史 ,  鸭川政雄

IPC: C08L83/07 ,  C08G77/20 ,  C08L83/04 ,  C09J4/00 ,  C09J183/04 ,  C09J183/07 ,  H01L21/52

Abstract: 提供粘合性和微细图案加工性优异的硅氧烷树脂组合物。硅氧烷树脂组合物含有包含下述通式(1)所示结构、下述通式(2)所示结构和下述通式(3)所示结构的硅氧烷树脂(A)、具有不饱和双键的化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。(通式(1)～(3)中，R1、R2及R3各自独立地表示氢、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数为1～30的1价有机基团。X表示链烯基、炔基、具有氮原子和碳‑氧不饱和键的1价有机基团或者具有环状醚键的1价有机基团。Y表示具有光自由基聚合性基团(不包括链烯基和炔基)的1价有机基团。Z表示具有碱溶性基团的1价有机基团。a、b及c各自独立地表示1以上的整数。a～c为2以上时，多个R1、R2、R3、X、Y及Z各自可以相同也可以不同。)

公开(公告)号：CN111771163A

公开(公告)日：2020-10-13

申请号：CN201980015528.7

申请日：2019-03-08

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 小林秀行 ,  诹访充史 ,  饭冢英祐 ,  东后行伦

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/004 ,  G03F7/075 ,  G03F7/20 ,  G06F3/041 ,  C08G77/24 ,  G06F3/044

Abstract: 一种负型感光性着色组合物，是含有(A)白色颜料、(B)硅氧烷树脂、(C)光聚合引发剂、(D)光聚合性化合物和(E)有机溶剂的负型感光性着色组合物，上述(B)硅氧烷树脂至少包含：下述通式(1)所示的重复单元和/或下述通式(2)所示的重复单元、以及下述通式(3)所示的重复单元，在上述(B)硅氧烷树脂的全部重复单元中，含有合计40～80摩尔％的下述通式(1)所示的重复单元和下述通式(2)所示的重复单元；在上述通式(1)～(3)中，R1表示氢的全部或一部分被氟取代了的碳原子数1～10的烷基、烯基、芳基或芳基烷基原；子R数2表1～示单20键的、1‑价O有‑、机‑C基H；2‑RC4可O‑以、‑彼CO此‑相或同‑O也‑可CO以‑；不R同3表，示分碳别表示碳原子数1～20的1价有机基。提供一种负型感光性着色组合物，其能够形成即使为厚膜，也为高分辨率，反射率高，耐热性优异的固化膜。

公开(公告)号：CN110662805A

公开(公告)日：2020-01-07

申请号：CN201880034950.2

申请日：2018-06-21

Applicant: 东丽株式会社

Inventor： 饭冢英祐 ,  山口美智子 ,  诹访充史 ,  鸭川政雄

IPC: C08L83/07 ,  C08G77/20 ,  C08L83/04 ,  C09J4/00 ,  C09J183/04 ,  C09J183/07 ,  H01L21/52

Abstract: 提供粘合性和微细图案加工性优异的硅氧烷树脂组合物。硅氧烷树脂组合物含有包含下述通式(1)所示结构、下述通式(2)所示结构和下述通式(3)所示结构的硅氧烷树脂(A)、具有不饱和双键的化合物(B)、光聚合引发剂(C)和溶剂(D)。(通式(1)～(3)中，R1、R2及R3各自独立地表示氢、羟基、具有硅氧烷键的基团或碳原子数为1～30的1价有机基团。X表示链烯基、炔基、具有氮原子和碳-氧不饱和键的1价有机基团或者具有环状醚键的1价有机基团。Y表示具有光自由基聚合性基团(不包括链烯基和炔基)的1价有机基团。Z表示具有碱溶性基团的1价有机基团。a、b及c各自独立地表示1以上的整数。a～c为2以上时，多个R1、R2、R3、X、Y及Z各自可以相同也可以不同。)