公开(公告)号：CN104024835A

公开(公告)日：2014-09-03

申请号：CN201280065039.0

申请日：2012-11-09

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大久保宪治 ,  山本比佐史

IPC: G01N21/956 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01N21/956

Abstract: 本发明提供一种自动外观检查装置，其能够不受摄像机的处理能力的制约而缩短检查时间。具体而言，该自动外观检查装置的特征在于，具有：载台部、扫描台部、闪光灯照明部、镜筒部、摄像部、以及检查部，所述检查部根据预先登记的检查条件，判断所摄像的检查对象物的图像是否良好，扫描台部具有测量载台部的当前位置的位置测量单元，镜筒部具有使观察光的一部分透射并且使一部分改变角度而进行反射的光分支单元，镜筒部安装有多个摄像部，使得能够分别对光分支单元所分支的光进行摄像，控制部具有对于每次摄像逐次切换用于摄像的摄像部来进行摄像的功能。

公开(公告)号：CN102349142A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201080011823.4

申请日：2010-03-01

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 大美英一 ,  山本比佐史

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/956

CPC classification number: G01N21/9501 ,  G01N21/956

Abstract: 一种薄片检查条件生成方法，生成检查形成在薄片(10)上的半导体芯片外观的多台检查装置的检查条件数据，该方法包括以下步骤：计算出相对于设计值的每台薄片检查装置(A～C)装置的机差，然后将机差校正数据进行登录；在所选择的任意一台薄片检查装置(A)中，使用薄片(10)生成检查条件数据；从检查条件数据和所选择的任意一台薄片检查装置(A)的机差校正数据，生成通用检查条件数据；从通用检查条件数据和每台薄片检查装置(B～C)装置机差校正数据，生成每台薄片检查装置(B～C)装置的检查条件数据。