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公开(公告)号：CN112886175A
公开(公告)日：2021-06-01
申请号：CN202110041855.9
申请日：2021-01-13
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明涉及一种采用最少集总元件组成的不等功分器拓扑结构及其设计方法。该功分器仅由6个集总元件组成，是目前使用元件数量最少的不等功分器电路结构。该功分器的三个端口在中心频率处都具有良好的端口阻抗匹配性能，两个输出端口具有良好的隔离特性，以及超过10％的工作带宽。这些优异特性彰显该不等功分器将在诸多领域具有明显的应用前景。
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公开(公告)号：CN111193089A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010013119.8
申请日：2020-01-07
Applicant: 上海科技大学
Inventor： 杨瑾屏
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明涉及一种具有一个可控传输零点的+45°相移集总元件功分器及其设计方法。本发明基于±45°集总元件功分器提出了四种新的功分器。该功分器的三个端口都具有良好的端口阻抗匹配，而信号输出端口一和信号输出端口二具有相等的幅度和相位并且相互隔离。在中心工作频率处该功分器的输出端口与信号输入端口的相位差为45°(或-45°)，这一点与经典威尔金森功分器(90°)显著不同。进一步，本发明提出的功分器可以在指定频率产生一个传输零点，能够有效滤除谐波或者是强的杂散信号。
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公开(公告)号：CN111162360B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202010013132.3
申请日：2020-01-07
Applicant: 上海科技大学
Inventor： 杨瑾屏
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明涉及一种具有‑/+45°相移的双频带通响应集总元件功分器及其设计方法。本发明提供的功分器的三个端口都具有良好的端口阻抗匹配，而输出端口2和端口3具有相等的幅度和相位并且相互隔离。在低频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为‑45°，在高频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为45°，这一点与经典双频威尔金森功分器(±90°)显著不同。进一步，本电路发明只需要4个电容，4个电感和一个隔离电阻，共9个元件。该电路发明还具有更宽的工作带宽等独特优点。
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公开(公告)号：CN112125277A
公开(公告)日：2020-12-25
申请号：CN202011076966.5
申请日：2020-10-10
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了一种适用于超导探测器玻璃窗的制备工艺，其特征在于，在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧切割出芯片边界切割槽一，并完全刻蚀芯片边界切割槽一内的硅或氮化硅及截止层；将玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧与承载晶圆键合；在键合晶圆的硅层一侧刻蚀玻璃窗，并在对应芯片边界切割槽一的位置刻蚀出芯片边界切割槽二，露出截止层；采用氧气等离子体清洗残留的光刻胶；使用有机溶剂分离玻璃窗晶圆与承载晶圆，将含玻璃窗的芯片与玻璃窗晶圆分离。采用本发明提供的适用于宇宙微波背景辐射探测的超导探测器玻璃窗的制备方案，可将制备含探测器图形的玻璃窗的成功率提高到100％，含玻璃窗的芯片从玻璃窗晶圆上分离的成功率同样达到100％。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112071788A
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN202011077138.3
申请日：2020-10-10
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本发明公开了一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法。所述晶圆键合装置包括晶圆对准装置及承重砝码，所述晶圆对准装置上设有晶圆放置槽，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽的边缘设有夹取晶圆的镊子槽。使用方法为：首先，在玻璃窗晶圆及承载晶圆上旋涂粘合物；然后，将承载晶圆、玻璃窗晶圆先后放入晶圆槽，晶圆切边与镊子槽对齐放置；第三，将承重砝码放置在玻璃窗晶圆上，并配合加热来赶走两片晶圆之间的气泡，从而实现晶圆键合。本发明在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧键合一片承载晶圆，利用承载晶圆来承受玻璃窗制备时的背部氦气气压，以此来解决玻璃窗破裂的难题。
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公开(公告)号：CN111193090A
公开(公告)日：2020-05-22
申请号：CN202010013247.2
申请日：2020-01-07
Applicant: 上海科技大学
Inventor： 杨瑾屏
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明涉及一种带有隔离阻带的+/-45°相移双频带通响应集总元件功分器及其设计方法。本发明提供的功分器的三个端口都具有良好的端口阻抗匹配，而信号输出端口一和信号输出端口二具有相等的幅度和相位并且相互隔离。在低频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为45°，在高频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为-45°，这一点与经典双频威尔金森功分器(±90°)显著不同。进一步，在本发明提出新型威尔金森功分器两个工作频带中间，还具有一个宽频阻带，可以有效的抑制谐杂波信号的传输。此外，本电路发明还具有只需要共9个元件，以及更宽的工作带宽等独特优点。
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公开(公告)号：CN111162360A
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN202010013132.3
申请日：2020-01-07
Applicant: 上海科技大学
Inventor： 杨瑾屏
IPC: H01P5/16
Abstract: 本发明涉及一种具有-/+45°相移的双频带通响应集总元件功分器及其设计方法。本发明提供的功分器的三个端口都具有良好的端口阻抗匹配，而输出端口2和端口3具有相等的幅度和相位并且相互隔离。在低频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为-45°，在高频频带中心工作频率处该功分器的输出端口与输入端口的相位差为45°，这一点与经典双频威尔金森功分器(±90°)显著不同。进一步，本电路发明只需要4个电容，4个电感和一个隔离电阻，共9个元件。该电路发明还具有更宽的工作带宽等独特优点。
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公开(公告)号：CN212848330U
公开(公告)日：2021-03-30
申请号：CN202022247713.1
申请日：2020-10-10
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，包括晶圆对准装置及承重砝码，所述晶圆对准装置上设有晶圆槽，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽的边缘设有夹取晶圆的镊子槽。本实用新型在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧键合一片承载晶圆，利用承载晶圆来承受玻璃窗制备时的背部氦气气压，以此来解决玻璃窗破裂的难题。
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公开(公告)号：CN214488078U
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202022159929.2
申请日：2020-09-27
Applicant: 上海科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种光刻板清洗装置。所述光刻板清洗装置包括置于耐有机溶剂容器内的光刻板清洗花篮，所述光刻板清洗花篮包括用于放置光刻板的支架；所述光刻板清洗花篮的边缘处设有用于拿取光刻板的拇指槽。首先，将光刻板的光刻胶接触面向下置于光刻板清洗花篮的支架上；然后，将光刻板清洗花篮放入已装满有机溶剂的耐有机溶剂容器中；最后，将耐有机溶剂容器连同光刻板、光刻板清洗花篮一起放入超声清洗机中进行清洗。本实用新型设计结构简单、易操作，可以在不接触容器的前提下夹持光刻板，光刻板使用面可朝下放入，能减少在清洗过程中已经脱离的光刻胶残留物、粉尘颗粒回落到光刻板表面而产生二次污染的概率，提高光刻板寿命。
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