公开(公告)号：CN101568797B

公开(公告)日：2013-03-27

申请号：CN200780047754.0

申请日：2007-10-31

Applicant: 三菱重工业株式会社

Inventor： 坂井智嗣 ,  饭田政巳 ,  川添浩平

IPC: G01B11/06

CPC classification number: G01B11/0633 ,  G01B11/0683 ,  G01B11/303

Abstract: 本发明以降低膜厚的计测误差为目的。对将膜质状态及膜厚不同的薄膜形成于基板上的多个样本照射不同波长的照明光，分别计测与照射各波长的照明光时的透射光的光量相关的评价值，基于该计测结果，对每个波长作成表示各膜质状态中膜厚和评价值的相关关系的膜厚特性，在各膜厚特性中选择由膜质状态引起的评价值的计测差在规定范围内的波长。

公开(公告)号：CN102449495A

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN200980159607.1

申请日：2009-06-03

Applicant: 三菱重工业株式会社 ,  九州电力株式会社

Inventor： 重水哲郎 ,  饭田政巳 ,  西田健彦 ,  大石正纯 ,  足立和之 ,  村上慎治 ,  和田好广

IPC: G01R31/36

CPC classification number: G01R31/3624 ,  G01R31/361 ,  G01R31/3651 ,  G01R31/3662 ,  H01M10/425 ,  H01M10/441 ,  H01M10/482

Abstract: 电池充电率计算装置(100)包括：SOCV计算单元(5)，输出基于电压数据算出的第1充电率；SOCI计算单元(6)，输出基于电流数据算出的第2充电率；估计阻抗电压计算单元(12)，基于有效充电率和电流数据计算阻抗电压值；稳定判定单元(7)，判定所述阻抗电压值在以规定的阈值区分的范围内稳定了规定时间以上的情况，并输出该判定结果；以及SOC决定单元(20)，基于所述判定结果，在所述阻抗电压值稳定了的情况下，将所述第1充电率作为所述有效充电率输出，在除此之外的情况下，将所述第2充电率作为有效充电率输出。