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公开(公告)号:CN115443305A
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN202180027743.6
申请日:2021-04-08
Applicant: 三菱电线工业株式会社
Abstract: 本公开旨在提供一种弹性体组合物和使用了该弹性体组合物的密封件,其能够实现理想的耐压缩破坏性、压缩永久变形等特性。本公开的弹性体组合物含有弹性体、粉体酚醛树脂以及粉体二氧化硅。本公开的密封件是对本公开的弹性体组合物进行交联成形而得到的。该密封件可以使用于半导体制造装置。
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公开(公告)号:CN115443305A
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN202180027743.6
申请日:2021-04-08
Applicant: 三菱电线工业株式会社
Abstract: 本公开旨在提供一种弹性体组合物和使用了该弹性体组合物的密封件,其能够实现理想的耐压缩破坏性、压缩永久变形等特性。本公开的弹性体组合物含有弹性体、粉体酚醛树脂以及粉体二氧化硅。本公开的密封件是对本公开的弹性体组合物进行交联成形而得到的。该密封件可以使用于半导体制造装置。