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公开(公告)号:CN115443305B
公开(公告)日:2024-07-19
申请号:CN202180027743.6
申请日:2021-04-08
Applicant: 三菱电线工业株式会社
Abstract: 本公开旨在提供一种弹性体组合物和使用了该弹性体组合物的密封件,其能够实现理想的耐压缩破坏性、压缩永久变形等特性。本公开的弹性体组合物含有弹性体、粉体酚醛树脂以及粉体二氧化硅。本公开的密封件是对本公开的弹性体组合物进行交联成形而得到的。该密封件可以使用于半导体制造装置。
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公开(公告)号:CN115443305A
公开(公告)日:2022-12-06
申请号:CN202180027743.6
申请日:2021-04-08
Applicant: 三菱电线工业株式会社
Abstract: 本公开旨在提供一种弹性体组合物和使用了该弹性体组合物的密封件,其能够实现理想的耐压缩破坏性、压缩永久变形等特性。本公开的弹性体组合物含有弹性体、粉体酚醛树脂以及粉体二氧化硅。本公开的密封件是对本公开的弹性体组合物进行交联成形而得到的。该密封件可以使用于半导体制造装置。
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公开(公告)号:CN119923310A
公开(公告)日:2025-05-02
申请号:CN202380066733.2
申请日:2023-09-20
Applicant: 三菱电线工业株式会社
Abstract: 本发明提供一种弹性体的成形方法,从LSR供给装置的前端的可移动的供给喷嘴(6)向安装于冲压机的模具(14)的上表面(11a)以隆起的方式供给具有流动性的液状硅橡胶(50),使供给喷嘴(6)移动而进行避让,使冲压机(10)进行合模,向模具(14)的型腔(15)内填充液状硅橡胶(50),同时进行加压及加热而成形出成形品。由此,即使不进行预成形,也容易成形质量好的弹性体成形品。
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