公开(公告)号：CN118525233A

公开(公告)日：2024-08-20

申请号：CN202280087960.9

申请日：2022-12-08

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 平重宪治 ,  大桥雅也 ,  泷川靖弘 ,  小林信高

IPC: G02B7/192 ,  B23K26/064 ,  G02B5/10 ,  G02B7/00

Abstract: 形状可变镜具有：反射镜，其具有反射面；第1支撑部件，其具有第1板部及第1固定部件，对反射镜进行支撑；第2支撑部件，其具有第2板部及第2固定部件，对反射镜进行支撑；以及调整部件，其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接，在将m设为大于或等于2的整数的情况下通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部，从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接，在将n设为大于或等于2的整数的情况下，通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。形状可变镜具有与第1固定部件接触，设置于第1支撑部件的第1凸起部及与第2固定部件接触，设置于第2支撑部件的第2凸起部之中的至少一者。

公开(公告)号：CN108475895B

公开(公告)日：2021-07-02

申请号：CN201780006760.5

申请日：2017-01-10

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 船冈幸治 ,  中筋淑江 ,  泷川靖弘

IPC: H01S3/10 ,  B23K26/064 ,  B23K26/067 ,  G02B5/18 ,  G02B5/30 ,  H01S3/00

Abstract: 得到能够容易地进行向被加工物的稳定的激光加工的激光加工装置、及在该激光加工装置中使用的用于激光的功率平衡装置。用于激光的功率平衡装置具有：偏振相位差板，其在相对的一对主面的一个主面侧，形成有由与基板材料相同的材料构成的多个凸部以设定周期P分别平行地直线状延伸的衍射光栅，形成为能够利用所述衍射光栅的构造性双折射，被射入远红外光的激光，且所述衍射光栅的所述周期P满足P＜λ/n(λ是入射光的波长，n是所述基板材料的折射率)；以及旋转机构，其使所述偏振相位差板旋转。

公开(公告)号：CN104646823B

公开(公告)日：2017-07-14

申请号：CN201410682333.7

申请日：2014-11-24

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 石塚智彦 ,  小林信高 ,  泷川靖弘

IPC: G02B5/10

Abstract: 目的在于得到一种不受针对反射镜的粘接的制约，能够对像散进行校正的形状可变镜以及激光加工装置。具有：第一按压部件，其对反射镜(1)的反射面(1sf)外周部的相对的2个部位(Pxf)进行按压；第二按压部件，其对反射镜(1)的背面(1sb)外周部的相对的2个部位(Pyb)进行按压；以及变形量调整部(4)，其以第一按压部件按压反射面(1sf)的位置、和第二按压部件按压背面(1sb)的位置，绕穿过反射面(1sf)的中心的轴而成为不同的位置的方式，对第二按压部件相对于第一按压部件的绕轴的位置进行定位，并且使轴向上的第一按压部件和第二按压部件的间隔变化，对由按压引起的反射镜(1)的变形量进行调整。

公开(公告)号：CN103529507A

公开(公告)日：2014-01-22

申请号：CN201310261976.X

申请日：2013-06-27

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 船冈幸治 ,  吉冈淑江 ,  曾田真之介 ,  泷川靖弘

IPC: G02B5/30 ,  G02B5/18 ,  B23K26/067 ,  B23K26/382

Abstract: 本发明提供一种制作容易且远红外光的透过光量损失少的透过型的偏振光相位差板以及使用了该偏振光相位差板的激光加工机。偏振光相位差板（100），在基板（102）的至少一方的主面上，由与基板（102）相同的材料形成排列了多个凸部（103）的具有一定的周期P的衍射光栅，利用衍射光栅的构造性双折射。衍射光栅的周期P在入射光的波长为λ、基板材料的折射率为n时，满足P＜λ/n。凸部（103）的截面形状从其底部到顶部形成为锥形状（106）。作为基板材料使用ZnS。

公开(公告)号：CN101439442B

公开(公告)日：2012-03-21

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN101439442A

公开(公告)日：2009-05-27

申请号：CN200810177545.4

申请日：2008-11-21

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 成濑正史 ,  岩下美隆 ,  泷川靖弘 ,  井岛健一 ,  小林信高

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/06 ,  B23K26/38 ,  G02B27/00

Abstract: 本发明得到一种激光加工装置，其将1束激光分光为多束，将它们同时照射在被加工物上而进行加工，该激光加工装置可以使分光后的各激光在被加工物上的照射区域大小相等。该激光加工装置具有：焦点差校正镜(25a)，其配置在分光后的多束激光中的激光(Lα)的光路上，使激光(Lα)在被加工物(12)上的光束直径变化；以及焦点差校正镜控制功能(52)，其以使焦点差校正镜(25a)的子午方向的成像位置和弧矢方向的成像位置不变的方式，改变焦点差校正镜(25a)的反射面的子午方向和弧矢方向的曲率。

公开(公告)号：CN204430558U

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201390000132.3

申请日：2013-04-22

Applicant: 三菱电机株式会社

Inventor： 伊藤健治 ,  石塚智彦 ,  泷川靖弘

IPC: B23K26/067 ,  B23K26/08 ,  B23K26/382

CPC classification number: B23K26/0648 ,  B23K26/066

Abstract: 在激光加工装置中，具有：掩模（3X），其对从激光振荡器（20）射出的激光（L1）的光束尺寸进行限制；工作台（8），其用于载置工件（7）；聚光透镜（6），其对穿过掩模（3X）的激光（L1）进行聚光并向工作台（8）上的工件（7）照射；转印率变更透镜（5A），其对激光（L1）的转印率进行变更，并且配置为能够在掩模（3X）和聚光透镜（6）之间的光路上取出/放入；以及控制部（43），其对转印率变更透镜（5A）向光路上的取出/放入进行控制，并且通过调整聚光透镜（6）和工件（7）之间的距离，从而对激光（L1）在工件（7）上聚光的聚光位置进行控制。