形状可变镜、激光加工装置及形状可变镜的制造方法

    公开(公告)号:CN118525233A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202280087960.9

    申请日:2022-12-08

    Abstract: 形状可变镜具有:反射镜,其具有反射面;第1支撑部件,其具有第1板部及第1固定部件,对反射镜进行支撑;第2支撑部件,其具有第2板部及第2固定部件,对反射镜进行支撑;以及调整部件,其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接,在将m设为大于或等于2的整数的情况下通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部,从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接,在将n设为大于或等于2的整数的情况下,通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。形状可变镜具有与第1固定部件接触,设置于第1支撑部件的第1凸起部及与第2固定部件接触,设置于第2支撑部件的第2凸起部之中的至少一者。

    形状可变镜、激光加工装置及形状可变镜的制造方法

    公开(公告)号:CN118525232A

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202280087854.0

    申请日:2022-12-08

    Abstract: 形状可变镜(10)具有:反射镜(11),其具有对光进行反射的反射面;第1支撑部件(21),其具有第1板部及第1固定部件,对反射镜进行支撑;第2支撑部件(31),其具有第2板部及第2固定部件,对反射镜进行支撑;以及调整部件,其使第1板部和第2板部之间的距离变化。第1板部从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第1固定部件与第1板部连接,在将m设为大于或等于2的整数的情况下,通过反射镜的m个第1固定部位对反射镜进行固定。第2板部隔着第1板部,从反射镜的背面隔开规定的间隔而配置。第2固定部件与第2板部连接,在将n设为大于或等于2的整数的情况下,通过与反射镜的第1固定部位不同的n个第2固定部位对反射镜进行固定。反射镜在背面具有与第1固定部件及第2固定部件的至少一者接触的凸起部(14x、14y)。

Patent Agency Ranking