线电极放电加工装置、以及线电极放电加工方法

    公开(公告)号:CN102026766B

    公开(公告)日:2012-12-05

    申请号:CN200880129195.2

    申请日:2008-07-03

    CPC classification number: B23H7/065

    Abstract: 作为加工体积运算单元的速度比运算单元(23),基于存储在角部控制信息存储单元(20)中的放电间隙值和加工余量的值,计算直线部的加工体积和角部的加工体积,计算它们的体积比。角部速度运算单元(24)基于由速度比运算单元(23)计算出的体积比,计算在角部处的加工进给速度,基于角部前区间运算单元(21)输出的角部前区间的长度和角部后区间运算单元(22)输出的角部后区间的长度,向伺服放大器(8)输出从进入角部前区间至离开角部后区间为止的与加工进给速度相关的指令。

    放电加工装置
    15.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100551595C

    公开(公告)日:2009-10-21

    申请号:CN200610132092.4

    申请日:2003-12-05

    CPC classification number: B23H7/30 B23H7/26 B23H7/265 B23H7/28

    Abstract: 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括:顶端部指向被加工物且在与被加工物之间加上电压进行放电的加工用电极;与该加工用电极连接的驱动轴;供给电力的电流供给装置;具有向电磁铁部供给来自所述电流供给装置的电流来控制电磁铁部的吸引力而使所述驱动轴向作为轴线方向的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向及与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向这三方向中的至少Z轴方向移动的磁轴承的电极驱动装置;其特征在于,具有固定在所述驱动轴上的叶片,及顶端部指向上述叶片且把流体导引到所述叶片的附近、同时为了使所述驱动轴旋转而把流体吹到叶片上的旋转用导管。

    放电加工装置
    16.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1309521C

    公开(公告)日:2007-04-11

    申请号:CN200310119767.8

    申请日:2003-12-05

    CPC classification number: B23H7/30 B23H7/26 B23H7/265 B23H7/28

    Abstract: 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括:顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1);与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7);向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线方向的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5);其中,具有:与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述三方向上移动的联轴节(100);以及与该联轴节(100)的端部连接且通过联轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。

    放电加工装置
    17.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1575898A

    公开(公告)日:2005-02-09

    申请号:CN200310119767.8

    申请日:2003-12-05

    CPC classification number: B23H7/30 B23H7/26 B23H7/265 B23H7/28

    Abstract: 本发明得到了应答驱动性提高且加工速度也提高了的放电加工装置。本发明的放电加工装置包括:顶端部指向被加工物(2)且在与被加工物(2)之间加上电压后进行放电的加工用电极(1);与该加工用电极(1)连接的驱动轴(7);向电磁铁部(40b、50b、51b)供给电流来控制电磁铁部(40b、50b、51b)的吸引力并使前述驱动轴(7)向作为轴线的Z轴方向、与Z轴方向垂直交叉的Y轴方向和与Y轴方向及Z轴方向垂直交叉的X轴方向的(3)方向移动且具有磁轴承(40、50、51)的电极驱动装置(5);与前述驱动轴(7)的端部连接且能在前述3方向上移动的连轴节(100);与该连轴节(100)的端部连接且通过连轴节(100)使前述驱动轴(7)旋转的电动机(20)。

    线放电加工装置及半导体晶片的制造方法

    公开(公告)号:CN115916444A

    公开(公告)日:2023-04-04

    申请号:CN202080102529.8

    申请日:2020-09-10

    Abstract: 为了在多线放电加工中减小从被加工物切出的多个薄板状部件的板厚的波动,具有:1根线电极(1),其绕多个引导辊(2)卷绕多次,由此形成并列设置有多个线切断部的并列线部(1a);放电波形控制装置(32),其基于放电波形指令对极间的电压波形或极间的电流波形进行控制;线行进控制装置(35),其基于线电极行进指令对线电极的行进进行控制;切断台驱动装置(34),其基于切断进给台指令对并列线部和被加工物之间的相对位置进行控制;加工状态取得部(33),其取得极间的电气特性即切断部电气特性或与线切断部的状态有关的信息即电极状态信息而作为加工状态信息;以及加工控制装置(31),其基于加工状态信息而决定线电极行进指令、放电波形指令及切断进给台指令。

    线电极放电加工装置
    19.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104053520B

    公开(公告)日:2016-08-24

    申请号:CN201280067416.4

    申请日:2012-12-17

    CPC classification number: B23H7/06 B23H1/028 B23H7/02 B23H7/10

    Abstract: 在本发明的线电极放电加工装置中具有控制部件,该控制部件基于被加工物的端面和与该端面非平行的包含多个切断线电极的面所成的角度、切断线电极的并列间隔、以及切断线电极和被加工物的相对距离,选择由脉冲电压产生单元施加脉冲电压的切断线电极,驱动单元构成为,在不与包含多个切断线电极的面垂直的方向驱动被加工物,通过施加脉冲电压对被加工物进行放电加工从而进行切断。

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