公开(公告)号：CN101135850A

公开(公告)日：2008-03-05

申请号：CN200710182370.1

申请日：2003-08-05

Applicant: 三菱化学株式会社 ,  日本合成化学工业株式会社

Inventor： 浦野年由 ,  龟山泰弘 ,  藤田理惠子 ,  宫泽隆司 ,  利光惠理子

IPC: G03F7/004 ,  G03F7/031 ,  G03F7/033

CPC classification number: G03F7/033 ,  G03F7/0045 ,  G03F7/031

Abstract: 本发明提供一种成像材料及其抗蚀剂成像法，该成像材料具有对紫光区激光束高度敏感的紫激光感光性抗蚀剂材料层，同时，即使当抗蚀剂材料层的膜较厚时，其感光性也不会下降。本发明提供一种具有紫激光感光性抗蚀剂材料层的成像材料，该成像材料包括被加工基板和形成于所述基板上的紫激光感光性抗蚀剂材料层，其中所述感光性抗蚀剂材料层的膜厚至少为10μm，并且在405nm的波长处具有每1μm膜厚至多为0.3的吸光度，本发明还提供一种抗蚀剂成像法，其中用波长为320nm至450nm的激光束对所述成像材料的感光性抗蚀剂材料层进行扫描曝光，随后进行显影处理。

公开(公告)号：CN101044433A

公开(公告)日：2007-09-26

申请号：CN200580035985.0

申请日：2005-10-20

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 浦野年由 ,  龟山泰弘 ,  水上润二

IPC: G03F7/031 ,  G03F7/032 ,  G03F7/033 ,  G03F7/004

Abstract: 本发明提供一种感光性组合物、成像材料、成像件以及成像方法，本发明提供的感光性组合物对激光、特别是对紫外到蓝紫色激光具有高灵敏度，同时具有优异的长期保存稳定性以及对基板的密合性，该感光性组合物特别适合作为阻焊层或干膜，并且特别适合用于利用紫外到蓝紫色激光的直接绘图；本发明提供的成像材料是使用了该感光性组合物的成像材料。所述感光性组合物含有(A)含烯键式不饱和基团的化合物、(B)光聚合引发剂以及(C)碱可溶性树脂，所述感光性组合物的特征在于，所述(B)光聚合引发剂含有具有特定结构且平均粒径为0.001μm～150μm的光聚合引发剂。

公开(公告)号：CN1717628A

公开(公告)日：2006-01-04

申请号：CN200480001615.0

申请日：2004-11-10

Applicant: 三菱化学株式会社

Inventor： 浦野年由 ,  增田哲也 ,  福井诚 ,  瑞穗右二 ,  水上润二 ,  田中俊行

IPC: G03F7/027 ,  G02B5/20 ,  G02F1/1335

CPC classification number: G03F7/027 ,  G03F7/0007

Abstract: 具有高感光度并且与基板的粘合性及其耐热性优异的可固化组合物，特别是适于在通过激光进行的直接成像中用于阻焊剂使用的可固化组合物，以及用于在液晶显示器的液晶面板中使用的滤色器、黑色基体、罩面层、肋条和垫片的可固化组合物及其固化产物，其具有高固化性能和优异的机械特性，并且该可固化组合物包括下式(I)表示的化合物，式中R1表示可以具有取代基的亚烷基或可以具有取代基的亚芳基；n为0至10的整数，四个苯环可进一步具有取代基；R2表示5或更多个碳原子的含烯键式不饱和基团的羰氧基，其可具有取代基；和R3和R4各自独立地表示任选的取代基。