具有垂直磁隧道结的磁存储装置

    公开(公告)号:CN104347796B

    公开(公告)日:2018-10-16

    申请号:CN201410370250.4

    申请日:2014-07-30

    Abstract: 提供了一种磁存储装置,所述磁存储装置可以包括通过隧道阻挡件彼此分隔开的自由磁结构和参考磁结构。自由磁结构可以包括交换耦合层以及通过交换耦合层彼此分隔开的第一自由层和第二自由层。第一自由层可以设置在第二自由层和隧道阻挡件之间。第一自由层的厚度可以大于第一最大各向异性厚度,第一最大各向异性厚度是第一自由层具有最大垂直各向异性时的厚度。第二自由层的厚度可以小于第二最大各向异性厚度,第二最大各向异性厚度是第二自由层具有最大垂直各向异性时的厚度。具有不同厚度的两个自由层的磁隧道结能够实现具有提高的MR比率和减小的切换电流的磁存储装置。

    磁存储器件及其形成方法
    12.
    发明授权

    公开(公告)号:CN103682084B

    公开(公告)日:2017-10-31

    申请号:CN201310389452.9

    申请日:2013-08-30

    CPC classification number: H01L43/08 G11C11/161 G11C11/1659

    Abstract: 本发明公开了磁存储器件及其形成方法。其中根据实施方式的磁存储器件包括在衬底上的第一参考磁性层、在第一参考磁性层上的第二参考磁性层、在第一参考磁性层和第二参考磁性层之间的自由层、在第一参考磁性层和自由层之间的第一隧道势垒层、以及在第二参考磁性层和自由层之间的第二隧道势垒层。第一参考磁性层、第二参考磁性层和自由层均具有基本上垂直于衬底的顶表面的磁化方向。第一隧道势垒层的电阻面积积(RA)值大于第二隧道势垒层的RA值。

    磁存储器件及其形成方法
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN103682084A

    公开(公告)日:2014-03-26

    申请号:CN201310389452.9

    申请日:2013-08-30

    CPC classification number: H01L43/08 G11C11/161 G11C11/1659

    Abstract: 本发明公开了磁存储器件及其形成方法。其中根据实施方式的磁存储器件包括在衬底上的第一参考磁性层、在第一参考磁性层上的第二参考磁性层、在第一参考磁性层和第二参考磁性层之间的自由层、在第一参考磁性层和自由层之间的第一隧道势垒层、以及在第二参考磁性层和自由层之间的第二隧道势垒层。第一参考磁性层、第二参考磁性层和自由层均具有基本上垂直于衬底的顶表面的磁化方向。第一隧道势垒层的电阻面积积(RA)值大于第二隧道势垒层的RA值。

    磁存储器件
    18.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111490153B

    公开(公告)日:2024-01-16

    申请号:CN201910960905.6

    申请日:2019-10-11

    Abstract: 公开了一种磁存储器件,其包括:线图案,所述线图案位于衬底上;磁隧道结图案,所述磁隧道结图案位于所述线图案上;以及上导电线,所述上导电线跨越所述磁隧道结图案与所述线图案间隔开,并且连接到所述磁隧道结图案。所述线图案为所述磁隧道结图案提供自旋轨道矩。所述线图案包括拓扑绝缘体。

    磁存储器件
    19.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111490153A

    公开(公告)日:2020-08-04

    申请号:CN201910960905.6

    申请日:2019-10-11

    Abstract: 公开了一种磁存储器件,其包括:线图案,所述线图案位于衬底上;磁隧道结图案,所述磁隧道结图案位于所述线图案上;以及上导电线,所述上导电线跨越所述磁隧道结图案与所述线图案间隔开,并且连接到所述磁隧道结图案。所述线图案为所述磁隧道结图案提供自旋轨道矩。所述线图案包括拓扑绝缘体。

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