公开(公告)号：CN110579941A

公开(公告)日：2019-12-17

申请号：CN201910119201.6

申请日：2019-02-18

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  金乙泰 ,  黄恩秀

IPC: G03F7/00

Abstract: 提供了一种压印压辊装置。所述压印压辊装置包括：辊构件，在关于轴旋转的同时向下施加压力；轴承座，结合到辊构件的两个端部以允许辊构件的旋转；以及框架，结合到轴承座以支撑辊构件和轴承座，其中，轴承座包括：结合部，连接到轴；芯部，在竖直方向上从结合部延伸；第一线圈，完全围绕芯部的侧面；以及第二线圈，完全围绕芯部的侧面并且设置在第一线圈上以与第一线圈分隔开。

公开(公告)号：CN110543080A

公开(公告)日：2019-12-06

申请号：CN201910405326.5

申请日：2019-05-16

Applicant: 三星电子株式会社

Inventor： 刘灏 ,  金炳相 ,  朴景彬

IPC: G03F7/00 ,  H01L21/67

Abstract: 提供了半导体压印装置和半导体压印装置的操作方法。该半导体压印装置包括：支撑基板的载物台；膜夹具，将包括图案的膜印模施加到基板上；辊，向设置在基板上的膜印模施加压力，使得所述图案被转印到基板；相机，捕获辊和膜印模的图像；以及控制器，通过使用所述图像调节膜夹具的位置。所述图案用于形成半导体器件。