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公开(公告)号：CN107479484A
公开(公告)日：2017-12-15
申请号：CN201710799482.5
申请日：2017-09-07
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
IPC: G05B19/05
CPC classification number: G05B19/058
Abstract: 本发明实施例公开了一种气柜控制系统及方法，该控制系统包括：主PLC，用于在工作状态下执行供气控制功能；辅PLC，与所述主PLC相连，用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障，则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态，且用于在所述临时运行状态下执行部分供气控制功能。本发明实施例提供的气柜控制系统及方法，辅PLC可以在主PLC故障时执行部分供气控制功能，且系统配置简单，成本低、可靠性高。
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公开(公告)号：CN103447264B
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201310398147.6
申请日：2013-09-04
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
Inventor： 李敏
Abstract: 本发明提供的一种大型凹面镜片清洗装置包括可旋转推车、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置、清洗管路系统及电控单元。本发明还提供了一种大型凹面镜片清洗方法。本发明具有以下优点：一、本装置各零部件均为常见机械结构，加工装配容易实现；二、本装置可通过改变镜片转速、毛刷转速、毛刷高度、刷洗时间等参数，对清洗效果进行控制；设备工艺开放度高；三、本装置可兼容实现多种尺寸凹面镜的清洗功能，也可实现其它定制功能。
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公开(公告)号：CN103447264A
公开(公告)日：2013-12-18
申请号：CN201310398147.6
申请日：2013-09-04
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
Inventor： 李敏
Abstract: 本发明提供的一种大型凹面镜片清洗装置包括可旋转推车、毛刷旋转清洗机构、喷淋系统、风刀系统、毛刷清洗装置、清洗管路系统及电控单元。本发明还提供了一种大型凹面镜片清洗方法。本发明具有以下优点：一、本装置各零部件均为常见机械结构，加工装配容易实现；二、本装置可通过改变镜片转速、毛刷转速、毛刷高度、刷洗时间等参数，对清洗效果进行控制；设备工艺开放度高；三、本装置可兼容实现多种尺寸凹面镜的清洗功能，也可实现其它定制功能。
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公开(公告)号：CN102534621A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210039680.9
申请日：2012-02-21
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海交通大学
IPC: C23F1/46
Abstract: 本发明涉及一种酸性蚀刻液的处理方法，包括：(1)用酸性混合溶液对硅片进行蚀刻处理，将蚀刻处理后的混合溶液稀释，对混合溶液中的氢氟酸和/或醋酸通过非水中和滴定法进行定量分析，对混合溶液中的硝酸通过硝酸根电极进行定量分析，得到蚀刻后混合溶液的组成浓度增减量；(2)根据上述增减量，在蚀刻过程中或在循环液中添加浓度减少的酸，重新作为硅片的处理液即可。本发明通过蚀刻过程中排出的混合废酸液的有效利用，经济效益显著的同时，大大降低含有强酸成分的混合酸废液的排放，在环境问题上也具有巨大的效益。
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公开(公告)号：CN102172686A
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN201110026567.2
申请日：2011-01-25
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技有限公司
Inventor： 靳化龙
IPC: B21D7/06
Abstract: 本发明涉及一种手动螺旋管弯管器和方法，螺旋管弯管器包括支架、驱动机构、旋转轴和弯制手柄，支架顶端设有旋转轴座；旋转轴的左端穿过旋转轴座并与驱动机构连接；旋转轴座的右侧设有挡块；旋转轴上套有可绕旋转轴旋转且沿旋转轴轴向滑动的旋转轴套；旋转轴套上连有角度调整块；角度调整块与弯制手柄连接；弯制手柄的端部设有凹槽，凹槽内嵌有滑块；滑块的空腔内嵌有滚轮；滚轮边缘刻有半圆凹槽；本发明可以弯制各种小口径的金属管道，便于组装和携带。在进行螺旋管弯制时，滚轮边缘的半圆凹槽与螺旋轴的螺旋凹槽恰好形成管子的外圆形，该外圆形用于卡住管子降低管子的形变量，避免管子在弯制成螺旋状时变扁的问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109404733A
公开(公告)日：2019-03-01
申请号：CN201811536112.3
申请日：2018-12-14
Applicant: 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Inventor： 常军
Abstract: 本发明涉及气体输送技术领域，公开一种供气装置及控制方法。其中供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀，所述控制总路包括气源和电控制阀组件，所述气源与所述电控制阀组件连接；各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀，所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连，所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连；所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。本发明的供气装置既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开，又能在断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开，从而实现不间断供气。
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公开(公告)号：CN108050389A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201711319818.X
申请日：2017-12-12
Applicant: 江苏正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海正帆科技股份有限公司
Abstract: 本发明涉及连续供气技术领域，尤其涉及一种连续供气装置及方法，包括第一供气气路和第二供气气路，第一供气气路中自进气端至出气端依次设置有第一气源端阀门、第一调压阀及第一出口压力检测装置，第二供气气路中自进气端至出气端依次设置有第二气源端阀门、第二调压阀及第二出口压力检测装置；第一供气气路的进气端与第一气源连通，第二供气气路的进气端与第二气源连通，第一供气气路的出气端及第二供气气路的出气端均与用气端连通。本发明通过设置第一调压阀的出口压力和第二调压阀的出口压力为高低不同值，完全依靠机械结构设计实现供气气源的自动切换和无缝式更换，从而达到连续供气的目的，气路简单，操作简便，成本降低。
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公开(公告)号：CN102586780B
公开(公告)日：2014-01-15
申请号：CN201210039679.6
申请日：2012-02-21
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 上海交通大学
IPC: C23F1/24
Abstract: 本发明涉及一种酸性蚀刻液及其制备方法和应用，组成包括：1～20wt％的氢氟酸，20～60wt％的硝酸，1～20wt％的氟硅酸，其余为水。制备方法包括：以氟化氢气体或氟化氢酸，70～98wt％的硝酸水溶液和硅或二氧化硅为原料，按上述配比混合，得酸性蚀刻液。酸性蚀刻液用于蚀刻硅晶片、GaAs晶片、GaP晶片或InP晶片的蚀刻。本发明与传统的蚀刻液不同，不需要对环境造成较大负担的醋酸、磷酸等，不会产生异味，也可减小废弃物的负荷。
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公开(公告)号：CN102878423A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210398354.7
申请日：2012-10-18
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司 , 合肥正帆电子材料有限公司
IPC: F17C7/04
Abstract: 本发明提供了一种液化气体的电磁感应加热装置，其特征在于：包括设于储存容器底部的电磁感应加热带，温度传感器设于电磁感应加热带表面，电磁感应发生器通过可根据储存容器大小分配不同支路数的线缆分配箱与电磁感应加热带连接，线缆分配箱连接主机系统；储存容器下方设有与电磁感应发生器连接的称量器，电磁感应发生器与设于储存容器出口的压力传感器连接，气体使用设备与储存容器出口连接。本发明提供的一种液化气体的电磁感应加热装置，通过在储存容器底部进行电磁感应加热的方式，使容器内部的液化气体汽化，对温度、压力和重量进行多重安全保护，有效保证了系统的安全、稳定，且具有控制精确、操作简便、加热效率高的优点。
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公开(公告)号：CN102109090A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201010596149.2
申请日：2010-12-20
Applicant: 上海正帆科技有限公司 , 上海正帆半导体设备有限公司
IPC: F17D1/04
Abstract: 本发明公开了一种大流量高纯液化气体的输送方法，包括液化气体储存模块、增压模块、液化气体输送管道、蒸发器和调压模块，所述方法依次包括如下步骤：从液化气体储存模块引出液化气体，使其进入增压模块；由增压模块打出液化气体，并通过液化气体输送管道将液化气体输送到蒸发器；在蒸发器中对液化气体汽化加热；加热后的过热液化气体经过调压模块，使其压力降低到工艺需求后输送至所需机台。本发明提供的大流量高纯液化气体的输送方法，由增压模块打出液化气体，并通过液化气体输送管道将液化气体输送到蒸发器，采用蒸发器在液化气体储存模块外对液化气体汽化加热，避免直接加热液化气体储存模块和长距离的输送液体，且满足高纯、大流量的气体输送要求。
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