平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置

    公开(公告)号:CN200975966Y

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200620158421.8

    申请日:2006-11-10

    Abstract: 本实用新型是平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样5一端与接地电极(4)连接,另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连,另一端与平行板电容传感器的上级板相连,平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本实用新型采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动,并且互不影响,客服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。

    微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置

    公开(公告)号:CN2864663Y

    公开(公告)日:2007-01-31

    申请号:CN200520145010.0

    申请日:2005-12-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种微结构谐振单向弯拉多轴疲劳试验装置,其驱动电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与驱动梳齿对连接;其检测电极由通过锚定层固定在硅基底上的外侧壁与检测梳齿对连接;上述驱动梳齿和检测梳齿夹合的悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接;试样的另一端与接地电极相连;试样与驱动及检测装置为一体性结构;上述检测电极由探针引出,接入振幅测量电路输入端;该检测电路的输出端连接控制终端的输入端;所述的振动块为直线条的网格状。本实用新型的振动块由于采用了网格状,避免了释放孔的设计,而且其线条全为直线构成,降低了制版成本。同时降低了振动块质量,提高了振动固有频率,使得疲劳能够更早发生。

    MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置

    公开(公告)号:CN200993629Y

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200620158419.0

    申请日:2006-11-10

    Abstract: 本实用新型是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有:平行板电容驱动器,平行板电容传感器,梳状电容驱动器,梳状电容传感器,接地电极,拉伸驱动电极,扭转驱动电极,拉伸检测电极,扭转检测电极。实验过程中,通过拉伸驱动电极和扭转驱动电极分别为平行板电容驱动器和梳状电容驱动器提供交流电信号,使疲劳试样同时受到交变的拉伸和扭转应力。平行板电容传感器和梳状电容传感器分别通过拉伸检测电极和扭转检测电极接直流电,可以检测疲劳试样的拉伸和扭转幅度。该微疲劳试验结构装置具有加工容易,操作简便等特点,对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。

    静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置

    公开(公告)号:CN200975964Y

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200620158423.7

    申请日:2006-11-10

    Abstract: 本实用新型公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性研究装置,属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1,2),其中电极(2)接交流电,通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地,通过结构层的两个相互垂直的悬臂梁与梁另一端的悬置梳齿连接。接交流电的两组固定梳齿与接地的两组悬置梳齿交错设置从而构成两组梳齿静电驱动器。两个相互垂直的悬臂梁交叉部分为疲劳试样。本实用新型中使得试样(悬臂梁的公共部分)(7)处于典型的双轴拉伸应力状态下,克服了传统MEMS实验装置仅能够模拟试样的单轴拉伸和弯曲应力状态的不足;这样对于MEMS疲劳特性的研究非常有利。

    X型点焊试样多向疲劳加载夹持装置

    公开(公告)号:CN200975962Y

    公开(公告)日:2007-11-14

    申请号:CN200620119384.X

    申请日:2006-09-04

    Abstract: 本实用新型是一种X型点焊试样多向疲劳加载夹持装置,属于机械、汽车制造领域。包括有上夹具体(10)、下夹具体(11)。上夹具体(10)中基座(1)上表面设置有能够沿其中心线滑动的梯形块(5),设置在梯形块(5)两侧的楔形夹紧块(2)能够在梯形块5的推动下滑动。楔形夹紧块2的另一侧面与基座1之间形成平行四边形的凹槽,用于放置点焊试样。下夹具体11的上述结构与上夹具体10相同,上夹具体10的上表面设置有锁盘7,在下夹具体11的下表面上设置有燕尾槽,滑轨(9)可沿燕尾槽滑动,锁盘(7)固定在滑轨9上。锁盘7上有加载孔。本实用新型使X形点焊试样能够承受不同方向拉剪循环载荷使试样在夹具体中保持正确的位置。

    微结构单向弯拉疲劳试验装置

    公开(公告)号:CN2878348Y

    公开(公告)日:2007-03-14

    申请号:CN200520145009.8

    申请日:2005-12-16

    Abstract: 本实用新型公开了一种微结构单向弯拉疲劳试验装置,该装置在一个悬置振动块的一侧设有驱动梳齿对,在悬置振动块的另一侧设有检测振动幅度的检测梳齿对;驱动梳齿对和检测梳齿对的外侧壁通过锚定层固定在硅基底上并分别与连接以产生周期性的静电力的驱动电极和连接感测电路的检测电极连接;其悬置振动块的端部与产生交变应力的试样的一端连接;试样的另一端与接地电极相连;试样与驱动及检测装置为一体性结构;驱动电极连接功率放大器输出的探针;检测电极由探针引出,接入振幅测量电路后与终端控制设备的输入端连接;应用于微纳米技术基础研究领域作用在MEMS系统结构材料多晶硅疲劳特性的研究的微结构单向弯拉疲劳试验装置。

    基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置

    公开(公告)号:CN2849703Y

    公开(公告)日:2006-12-20

    申请号:CN200520144909.0

    申请日:2005-12-21

    Abstract: 本实用新型公开了一种基于静电力驱动的微结构谐振双侧弯曲疲劳试验装置,该装置的一个电极连接交流电,通过该电极的底电极层和两组与侧臂成为一体的固定梳齿连接;另一个电极接地;通过结构层直接和两组与其侧臂成为一体的悬置梳齿连接;该悬置梳齿与所述的固定梳齿为交错对应设置;在两组固定梳齿之间由与交流电极连接的其一字型侧臂连接;两组悬置梳齿之间由与接地电极连接的T字型侧臂连接;其中T字型侧臂的横直侧臂连接悬置梳齿,其竖直侧臂通过悬置梁与接地电极连接;该悬置梁为疲劳试样。结构的共振特性及疲劳试样根部缺口的利用,大大提高了试样所受的应力水平,使疲劳试验能够在容许的时间范围内完成。

    薄壁管料自动退料及夹紧装置

    公开(公告)号:CN201086212Y

    公开(公告)日:2008-07-16

    申请号:CN200720173281.6

    申请日:2007-09-21

    Abstract: 本实用新型是薄壁管料自动退料及夹紧装置,属于机械制造技术领域。主要包括有支板(1)、内滑筒(2)、顶料头(3)、夹紧弹簧(8)、退料片(7)、连接螺杆(9)。其中,支板上设置有一外套筒,夹紧弹簧和内滑筒设置在该外套筒内并可在其中滑动,外套筒上下面设置有键槽型通孔,连接螺杆穿过键槽型通孔与滑块固定连接,且连接螺杆可在键槽型通孔内左右移动;内滑筒为一端开口的空心圆柱筒,顶料头通过轴承设置与内滑筒开口端内;退料片通过连接圈和支杆固定于内滑筒开口端外周;顶料头(3)的顶料端加工成与管料成品相对应的模具。本实用新型能够实现自动夹紧功能;将顶料头和刀具端面加工成模具,即可实现薄壁管料端面、侧面一次成型。

    一种薄板预紧定位夹紧装置

    公开(公告)号:CN201066329Y

    公开(公告)日:2008-05-28

    申请号:CN200720169812.4

    申请日:2007-07-20

    Abstract: 本实用新型是一种薄板预紧定位夹紧装置,属于机械、汽车制造技术领域。主要包括有基底(1)、夹紧块(2)、定位块(3)、预紧滑块(4)、紧固螺栓(5)、紧固螺母(6)、预紧弹簧(9)、预紧螺钉(10)。在基底(1)上安装定位块(3),定位块(3)为两点定位结构。在预紧弹簧(9)的作用力下,预紧螺钉(10)带动预紧滑块(4)使试件定位于基底(1)上。在紧固螺母(6)的作用下,紧固螺栓(5)带动夹紧块(2)夹紧试件。基底(1)下端设置有凸台夹持端,能够方便地装夹在试验机上,试验过程中无需从试验机上拆卸夹具。本实用新型能够使点焊试样在多次装夹中均保持相同的夹持位置,并实现对试样的夹持。

    基于超磁致伸缩原理的微结构弯扭疲劳试验装置

    公开(公告)号:CN200993627Y

    公开(公告)日:2007-12-19

    申请号:CN200620158663.7

    申请日:2006-12-01

    Abstract: 本实用新型涉及一种基于超磁致伸缩原理的微结构弯扭疲劳试验装置,属于微机电系统技术基础研究领域。本装置主要包括有基底(1)、超磁致复合层伸缩薄膜和“T”型试样(2),超磁致复合层伸缩薄膜分为三层,中间一层为基片(4),在基片(4)的上下分别镀有负超磁致伸缩薄膜(3)和正超磁致伸缩薄膜(5)。其中,在基底(1)的中心有一凹槽,超磁致复合层伸缩薄膜设置在该凹槽内,其一端固定在基底(1)上构成悬臂梁,另一端与“T”型试样(2)中间的一端固定连接,“T”型试样(2)的另两端分别固定在基底(1)上。本实用新型使试样处于弯扭的多轴受力环境中,与MEMS典型器件的受力环境相类似,其研究结果具有很高的实用价值。

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