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公开(公告)号：CN100520348C
公开(公告)日：2009-07-29
申请号：CN200610114437.3
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样(5)一端与接地电极(4)连接，另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连，另一端与平行板电容传感器的上级板相连，平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本发明采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动，并且互不影响，客服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。
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公开(公告)号：CN1945270A
公开(公告)日：2007-04-11
申请号：CN200610114437.3
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样(5)一端与接地电极(4)连接，另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连，另一端与平行板电容传感器的上极板相连，平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本发明采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动，并且互不影响，克服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。
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公开(公告)号：CN1924546A
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200610112809.9
申请日：2006-09-04
Applicant: 北京工业大学
IPC: G01N3/04
Abstract: 本发明是一种十字型点焊试样多向疲劳加载夹具装置，属于机械、汽车制造技术领域。主要包括有下夹具体(9)、上夹具体(8)。在下夹具体(9)中，基座(1)的上表面设置有能够沿其滑动的梯形块(5)。在梯形块(5)的两侧设置有楔形夹紧块(2)，楔形夹紧块2能够在梯形块5斜面的推动下滑动。楔形夹紧块2的另一表面与基座1之间形成长方形的凹槽，用于放置点焊试样。下夹具体9的上述部分与上夹具体8相同，不同之处在于：下夹具体9的锁盘7位于基座1的下表面，上夹具体8的锁盘7位于基座1的上表面，锁盘7上设置有加载孔。本发明使点焊试样能够同时承受不同方向拉剪循环载荷使试样在夹具体中保持正确的位置，并实现对试样的夹持。
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公开(公告)号：CN100498275C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200610114431.6
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及一种平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有三个电极，驱动电极1接交流电，通过该电极的底电极层与第一悬置平板(9)构成平行板电容驱动器，实现对悬置平板的垂直驱动。电极(2)的底电极层与第二悬置平行板(10)构成平行板电容传感器，通过外接振幅检测电路来获得实验过程中悬置平板与底电极之间间距的变化。第三个电极(11)接地。试样(7、8)为一个处在平板中轴线上的悬臂梁，其一端与固定块相连，另一端在悬置平板的带动下受到扭力作用。该装置具有加工简单，操作方便，容易获取真实实验数据，真实模拟MEMS构件的扭转应力环境等特点。
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公开(公告)号：CN1963444A
公开(公告)日：2007-05-16
申请号：CN200610114431.6
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明涉及一种平行板电容驱动的微结构扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有三个电极，驱动电极1接交流电，通过该电极的底电极层与第一悬置平板(9)构成平行板电容驱动器，实现对悬置平板的垂直驱动。电极(2)的底电极层与第二悬置平行板(10)构成平行板电容传感器，通过外接振幅检测电路来获得实验过程中悬置平板与底电极之间间距的变化。第三个电极(11)接地。试样(7、8)为一个处在平板中轴线上的悬臂梁，其一端与固定块相连，另一端在悬置平板的带动下受到扭力作用。该装置具有加工简单，操作方便，容易获取真实实验数据，真实模拟MEMS构件的扭转应力环境等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1948942A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200610114436.9
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1，2)，其中电极(2)接交流电，通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地，通过结构层的两个相互垂直的悬臂梁与梁另一端的悬置梳齿连接。接交流电的两组固定梳齿与接地的两组悬置梳齿交错设置从而构成两组梳齿静电驱动器。两个相互垂直的悬臂梁交叉部分为疲劳试样。本发明中使得试样(悬臂梁的公共部分)(7)处于典型的双轴拉伸应力状态下，克服了传统MEMS实验装置仅能够模拟试样的单轴拉伸和弯曲应力状态的不足；这样对于MEMS疲劳特性的研究非常有利。
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公开(公告)号：CN100498276C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200610114435.4
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有：平行板电容驱动器，平行板电容传感器，梳状电容驱动器，梳状电容传感器，接地电极，拉伸驱动电极，扭转驱动电极，拉伸检测电极，扭转检测电极。实验过程中，通过拉伸驱动电极和扭转驱动电极分别为平行板电容驱动器和梳状电容驱动器提供交流电信号，使疲劳试样同时受到交变的拉伸和扭转应力。平行板电容传感器和梳状电容传感器分别通过拉伸检测电极和扭转检测电极接直流电，可以检测疲劳试样的拉伸和扭转幅度。该微疲劳试验结构装置具有加工容易，操作简便等特点，对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。
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公开(公告)号：CN100491961C
公开(公告)日：2009-05-27
申请号：CN200610114436.9
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种静电梳状驱动MEMS双轴拉伸疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置共有两个电极(1，2)，其中电极(2)接交流电，通过多晶硅结构层连接到固定梳齿(12、13)。另一个电极(1)接地，通过结构层的两个相互垂直的悬臂梁与梁另一端的悬置梳齿连接。接交流电的两组固定梳齿与接地的两组悬置梳齿交错设置从而构成两组梳齿静电驱动器。两个相互垂直的悬臂梁交叉部分为疲劳试样。本发明中使得试样(悬臂梁的公共部分)(7)处于典型的双轴拉伸应力状态下，克服了传统MEMS实验装置仅能够模拟试样的单轴拉伸和弯曲应力状态的不足；这样对于MEMS疲劳特性的研究非常有利。
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公开(公告)号：CN1948943A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200610114435.4
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明是一种MEMS拉伸扭转疲劳特性实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置主要组成部分有：平行板电容驱动器，平行板电容传感器，梳状电容驱动器，梳状电容传感器，接地电极，拉伸驱动电极，扭转驱动电极，拉伸检测电极，扭转检测电极。实验过程中，通过拉伸驱动电极和扭转驱动电极分别为平行板电容驱动器和梳状电容驱动器提供交流电信号，使疲劳试样同时受到交变的拉伸和扭转应力。平行板电容传感器和梳状电容传感器分别通过拉伸检测电极和扭转检测电极接直流电，可以检测疲劳试样的拉伸和扭转幅度。该微疲劳试验结构装置具有加工容易，操作简便等特点，对MEMS结构强度的研究具有很高的实用价值。
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公开(公告)号：CN200975966Y
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200620158421.8
申请日：2006-11-10
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本实用新型是平行板电容驱动的MEMS弯曲扭转疲劳实验装置，属于微纳米尺度材料特性基础研究领域。该装置通过两个平行板电容驱动器(3、12)分别实现对疲劳试样(5)的弯曲和扭转驱动。疲劳试样5一端与接地电极(4)连接，另一端与第三平行板电容驱动器(12)的上极板连接。试样(5)中部的与其垂直的横梁的一端与第一平行板电容驱动器(3)的上极板相连，另一端与平行板电容传感器的上级板相连，平行板电容传感器的下极板通过检测电极接外部振幅检测电路从而实时的获得试样的振动幅度。本实用新型采用两个平行板电容驱动器分别对试样进行弯曲和扭转驱动，并且互不影响，客服了现有装置只能模拟MEMS构件单相应力工作环境的不足。
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