公开(公告)号：CN105301283A

公开(公告)日：2016-02-03

申请号：CN201410270229.7

申请日：2014-06-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备及移动体，其能够准确地检测物理量。本发明所涉及的功能元件包括：第一电极部、第二电极部、与所述第一电极部相连接的第一配线和与所述第二电极部连接的第二配线，所述第一配线具备与所述第二配线以外的配线交叉的第一交叉部，所述第二配线具备与所述第一配线以外的配线交叉的第二交叉部，所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数之差相对于所述第一交叉部的个数与所述第二交叉部的个数中的较多的一方的个数,而满足在其50％以下。

公开(公告)号：CN105043368A

公开(公告)日：2015-11-11

申请号：CN201510185507.3

申请日：2015-04-17

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

CPC classification number: B81B3/0072 ,  B81B3/0018 ,  B81B7/007 ,  B81B2201/0235 ,  B81B2201/0242 ,  B81B2203/0118 ,  B81B2207/097 ,  B81C1/00158 ,  B81C2203/0109 ,  G01C19/5656 ,  G01L9/0042 ,  H01L21/76205 ,  H01L23/528 ,  H01L24/02 ,  H01L2224/0212 ,  H01L2924/15 ,  H01L2924/351 ,  G01C19/5642

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备以及移动体，其能够具有良好的温度特性。功能元件(100)包括：设置有凹部(12)的基板(10)；与所述基板(10)的规定凹部(12)进行的壁部(13)相连接固定部(30a)、(30b)；从固定部(30a)、(30b)延伸出并能够在第一轴方向上伸缩的弹性部(40)、(44)；与弹性部(40)、(44)相连接的可动体(20)；从可动体(20)延伸出可动电极部(50)、(52)；与基板(10)相连接并沿可动电极部(50)、(52)的延伸方向而延伸的固定电极部(60)、(62)、(64)、(66)，凹部(12)具有被设置在壁部(13)上的缺口部(16)，固定部(30a)、(30b)具有与基板(10)分离并在俯视观察时与凹部(12)重叠的重叠部(32)，重叠部(32)的至少一部分在俯视观察时与缺口部(16)重叠，弹性部(40)、(44)从重叠部(32)延伸出。

公开(公告)号：CN104864862A

公开(公告)日：2015-08-26

申请号：CN201510085068.9

申请日：2015-02-16

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01C19/5642

CPC classification number: G01P15/125 ,  B81B3/0016 ,  G01P2015/0874 ,  G01C19/5656 ,  G01P15/14

Abstract: 本发明提供一种功能元件、电子设备以及移动体。功能元件包括：基板；可动体，其具备可动电极部；支承部，其对可动体以能够围绕第一轴进行位移的方式进行支承；第一固定电极部，其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的一方的第一部分对置地被配置于基板上；第二固定电极部，其至少一部分与以第一轴为边界而划分出的作为可动体的另一方的第二部分对置地被配置于基板上；第三固定电极部，其至少一部分与第一部分对置地被配置于基板上，在俯视观察时，在可动体上设置有开口部，所述开口部与第一固定电极部与第三固定电极部之间的基板的区域对置，开口部的宽度为区域的宽度以上。

公开(公告)号：CN104345174A

公开(公告)日：2015-02-11

申请号：CN201410384428.0

申请日：2014-08-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种能够使配线的布局简单，并实现小型化的物理量传感器、电子设备以及移动体。本发明所涉及的物理量传感器(100)包括：基板(10)；第一可动体(20a)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第一支承轴(Q1)进行位移，并且具备第一可动电极部(24a)；第二可动体(20b)，其被配置于基板(10)上，且能够围绕第二支承轴(Q2)进行位移，并且具备第二可动电极部(23b)；固定电极部(53)，其以在俯视观察时与第一可动电极部(24a)以及第二可动电极部(23b)重合的方式而被配置于基板(10)上。

公开(公告)号：CN103569938A

公开(公告)日：2014-02-12

申请号：CN201310309015.1

申请日：2013-07-22

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

IPC: B81B7/00

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0086 ,  B81B7/0006 ,  B81B2207/012

Abstract: 本发明提供一种微电子机械系统装置、电子模块、电子设备以及移动体，其能够对在配线间产生的寄生电容进行抑制。所述微电子机械系统装置具备：底基板；第一配线，其使用第一结构体并被配置在底基板上；第二配线，其使用第一结构体和与第一结构体相连接的第二结构体并被配置在底基板上；微电子机械系统元件，其上连接有第一配线和第二配线，并被配置在底基板上，并且，所述微电子机械系统装置具备第一配线和第二配线相互交叉的交叉部，在交叉部处，第一配线的第一结构体和第二配线的第二结构体交叉。

公开(公告)号：CN103364591A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310119719.2

申请日：2013-04-08

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: B81B3/0018 ,  B81B3/0021

Abstract: 一种物理量传感器以及电子设备，其能够在实现小型化的同时，具有良好的噪声特性。物理量传感器包括：基板；可动体，具有第一部分及第二部分，并在第一部分上设置有第一可动电极部；梁部，以使可动体可位移的方式对可动体进行支承；第一固定电极部，以与第一可动电极部对置的方式被配置在基板上；第一部分在与第一轴正交的第二轴的方向上的宽度小于，第二部分在第二轴的方向上的宽度，第一固定电极部被设置于，在俯视观察时与第一部分的第二轴的方向上的端部重叠的位置处，且当将第一部分的第二轴的方向上的宽度设定为X，并将第一固定电极部的在俯视观察时与可动体重叠的部分的、第二轴的方向上的宽度设定为L时，被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内。

公开(公告)号：CN103364589A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310115933.0

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: G01P15/125

CPC classification number: G01P1/003 ,  G01P15/0802 ,  G01P15/125 ,  G01P2015/0882

Abstract: 本发明提供一种物理量传感器和电子设备，其具有简单的结构且能够提高检测灵敏度。物理量传感器(100)包括：基板(10)；可动体(20)，其具备以第一轴(Q1)为界，而被设置在第一区域(20a)内的第一可动电极部(21)、和被设置在第二区域(20b)内的第二可动电极部(22)、以及被设置在第一区域(20a)和第二区域(20b)中的至少一个区域内的阻尼调节部(23)；梁部(30、32)，其对可动体(20)进行支承；第一固定电极部(50)；第二固定电极部(52)，在阻尼调节部(23)上设置有第一贯穿孔(26)，在可动电极部(21、22)上设置有第二贯穿孔(27、28)，第一可动电极部(21)与第一固定电极部(50)重叠的区域的面积、和第二可动电极部(22)与第二固定电极部(52)重叠的区域的面积相同，第一贯穿孔(26)的宽度大于第二贯穿孔(27、28)的宽度。

公开(公告)号：CN103363980A

公开(公告)日：2013-10-23

申请号：CN201310116379.8

申请日：2013-04-03

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 古畑诚 ,  田中悟

IPC: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

CPC classification number: G01C19/5719 ,  G01C19/5747

Abstract: 本发明的目的在于提供一种能够防止因碰撞而造成的损坏的陀螺传感器及使用了该陀螺传感器的电子设备。陀螺传感器具备：驱动质量块，其通过驱动部而在ｘ轴方向上被驱动；检测质量块，其与驱动质量块相连结；驱动用连结部，其一端被连结在驱动质量块上而另一端被固定在固定部上；岛部，其与固定部相连接，且与驱动质量块隔着间隙而配置，并与该驱动质量块电连接；突起，其被设置在驱动质量块的对置于岛部的面与岛部的对置于驱动质量块的面中的至少一个面上，驱动部包括：可动电极部，其与驱动质量块相连接；固定电极部，其以与可动电极部对置的方式而设置，驱动质量块与岛部之间的最短距离大于驱动质量块的驱动振幅且小于可动电极部的最大振幅。

公开(公告)号：CN100477514C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200610000366.4

申请日：2006-01-06

Applicant: 精工爱普生株式会社

Inventor： 田中悟

IPC: H03H9/145 ,  H03H9/25 ,  H01L41/09 ,  H01L41/18

Abstract: 一种兰姆波型高频谐振器。本发明提供一种可以实现高频化、频率温度特性良好、且能够降低制造成本的兰姆波型高频谐振器。兰姆波型高频谐振器(1)在石英基板(10)的一个主面上具有用于激励兰姆波的梳齿状的IDT电极(20)，将IDT电极(20)形成为按照欧拉角表示方式时所述石英基板(10)的切出角度和所述兰姆波的传播方向为(0、θ、0)，把石英基板(10)的厚度t和波长λ的关系设定在利用0＜t/λ≤3表示的范围内，在该范围内设定6个区域，在其中的第1区域中，角度θ被设定在132.8度≤θ≤178度的范围内，t/λ被设定在1.1≤t/λ≤3的范围内。