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公开(公告)号:CN1068417A
公开(公告)日:1993-01-27
申请号:CN91104628.3
申请日:1991-07-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及一种用于位移测量的光栅莫尔信号微机综合补偿细分法及按此方法所组成的光栅位移测量装置。其主要特点在于按光栅莫尔信号实际表达式进行细分,可以消除表征莫尔信号质量的直流电平漂移、幅度波动、两路信号的等幅性和正交性误差对细分精度的影响,大幅度的提高细分精度和有效分辨率,降低对光栅副制造和装配调整精度的要求。为新一代高精度,高分辨率的光栅位移测量系统的实现提供了一个新的途径。
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公开(公告)号:CN2116190U
公开(公告)日:1992-09-16
申请号:CN91219175.9
申请日:1991-07-27
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01B9/06
Abstract: 本实用新型涉及一种用于几何量测量的小型台式三坐标测量机。它是在普通万能工具显微镜的基础上,分别在仪器X、Y轴上加装光栅位移传感器,在立柱上加装光栅阿贝头,在阿贝头的活动测杆上固定三维触发式测头并配置数据处理系统后构成的。数据处理系统采用先进的插件式个人仪器结构,四块具有测量和光栅信号处理功能的个人仪器插件可直接插入PC/XT及其兼容微计算机箱内的扩展槽,具有完备的三坐标测量和数据处理功能。
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