一种带有滤波功能的光束漂移矫正装置及方法

    公开(公告)号:CN116224575A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202310521844.X

    申请日:2023-05-10

    Abstract: 本发明公开了一种带有滤波功能的光束漂移矫正装置及方法,入射光束经第一压电反射镜架、第二压电反射镜架上的反射镜再经过依次布置的第一透镜、针孔和第二透镜进行滤波,然后一部分光束经第一固定反射镜架上的反射镜透射至能量探测PD上,一部分光束经第二固定反射镜架上的反射镜出射至位置探测CCD的探测面上;通过调整第一压电反射镜架使能量探测PD上的光强保持最大值,以矫正光束位置漂移量;通过调整第二固定反射镜架使位置探测CCD的光斑形心坐标与初始光斑形心坐标相同,实现光束漂移矫正。本发明装置不仅可以完成光束大范围位置漂移和角度漂移矫正,还可以进行滤波,提供光束质量,为高精密光学系统中光束的实时校正提供技术支持。

    一种三维结构光照明超分辨显微成像的高保真重构的方法和装置

    公开(公告)号:CN116183568A

    公开(公告)日:2023-05-30

    申请号:CN202310020503.4

    申请日:2023-01-06

    Abstract: 一种三维结构光照明超分辨显微成像的高保真重构的方法,包括:将一束平行光分为强度相等、偏振方向一致的三束平行光束,在样品上进行干涉形成三维非均匀照明光场,样品受到非均匀照明光场调制后频谱产生频移;由物镜接收样品发出的荧光信号后,经过场镜汇聚到成像像面,用探测器接收该荧光信号,得到一张混有样品高低频信息的低分辨率图像;多次改变照明光场的空间位移和方向,再次拍摄受光场调制的荧光信号,得到一系列混有样品高低频信息的低分辨率图像,作为原始图像。再将原始图像进行后续图像处理,首先进行照明光场的初始相位和空间频率的参数估计,然后再对样品各个频带进行分离,最后将各频谱进行组合重构出样品的高保真超分辨图像。

    一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头

    公开(公告)号:CN116165850A

    公开(公告)日:2023-05-26

    申请号:CN202310119397.5

    申请日:2023-01-17

    Abstract: 本说明书公开了一种用于激光直写的光纤光刻物镜镜头,该物镜镜头包括:光焦度为负的第一透镜组、光焦度为负的第二透镜组以及光焦度为正的第三透镜组,第一透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、负、正的透镜;第二透镜组包含三个光焦度依次为负、正、负的透镜;第三透镜组中包含四个光焦度依次为正、负、正、正的透镜;第一透镜组负责接收光源,并将光源折射至第二透镜组,第二透镜组收集从第一透镜组出射的光线,并将收集的光线折射至第三透镜组,第三透镜组将光线将聚焦于基底,物镜镜头中的透镜均处于同一光轴,本说明书中的物镜镜头能够校正多种像差,特别是畸变、场曲、像散、轴向色差、倍率色差。

    一种深度学习的亚五十纳米结构光照明超分辨成像方法

    公开(公告)号:CN115619646B

    公开(公告)日:2023-04-18

    申请号:CN202211577360.9

    申请日:2022-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种亚五十纳米结构光照明超分辨显微成像方法,涉及光学超分辨显微成像领域,先通过图像退化获得高分辨STORM图像和低分辨SIM图像并进行配对、再对配对的数据进行训练数据集制作,然后通过训练的去噪网络进行去噪优化,最后通过SIM超分辨重构,输出高分辨率图像,本发明将传统SIM技术的分辨率提升至50 nm,同时不损失其快速、低光毒性、长时程成像能力;所需的训练集通过高分辨图像退化得到,无需实验获取,无需复杂的配准过程,大大降低了训练集的制作难度;本方法不增加任何系统复杂度,可基于任何已有SIM系统实现,应用范围广。

    一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法及系统

    公开(公告)号:CN115639729A

    公开(公告)日:2023-01-24

    申请号:CN202211053614.7

    申请日:2022-08-30

    Abstract: 本发明提供了一种基于全息相位分束的光纤并行激光直写方法和系统,本发明将一水平偏振方向的激光入射至空间光调制器的液晶面元,所述的空间光调制器加载不同的全息相位图实现对入射光束的分束并调整分束后各个子光束的位置,从而实现良好地耦合进光纤阵列。光纤阵列通过光开光模块实现每一路光的开关。通过每路光的开关以及三维位移台的移动,实现三维大面积的微纳结构直写,本发明的直写效果更加丰富,直写效率进一步提高,有效解决了现有激光直写系统直写速度慢分辨率低等问题。

    一种双工作波段高衍射效率复合反射光栅

    公开(公告)号:CN115201953B

    公开(公告)日:2023-01-20

    申请号:CN202211009602.4

    申请日:2022-08-22

    Abstract: 本发明公开了一种双工作波段高衍射效率复合反射光栅,包括透明基底、设置于透明基底上的周期性高折射率栅条和设置于高折射率栅条上表面的金属薄膜;高折射率栅条的折射率大于透明基底的折射率;高折射率栅条的周期、高折射率栅条的斜面与光栅平面的夹角、高折射率栅条的折射率、光栅工作短波段的中心波长和光栅工作长波段的中心波长满足由反射定律、折射定律和光栅衍射方程得出的定量关系式,金属薄膜的厚度满足由趋肤效应得出的定量关系式。本发明的复合反射光栅可以在间隔超过400nm的两个中心波长处同时实现高于90%的衍射效率。

    一种深度学习的亚五十纳米结构光照明超分辨成像方法

    公开(公告)号:CN115619646A

    公开(公告)日:2023-01-17

    申请号:CN202211577360.9

    申请日:2022-12-09

    Abstract: 本发明公开了一种亚五十纳米结构光照明超分辨显微成像方法,涉及光学超分辨显微成像领域,先通过图像退化获得高分辨STORM图像和低分辨SIM图像并进行配对、再对配对的数据进行训练数据集制作,然后通过训练的去噪网络进行去噪优化,最后通过SIM超分辨重构,输出高分辨率图像,本发明将传统SIM技术的分辨率提升至50 nm,同时不损失其快速、低光毒性、长时程成像能力;所需的训练集通过高分辨图像退化得到,无需实验获取,无需复杂的配准过程,大大降低了训练集的制作难度;本方法不增加任何系统复杂度,可基于任何已有SIM系统实现,应用范围广。

    一种基于双步吸收效应与STED原理的超分辨光刻方法

    公开(公告)号:CN114895535B

    公开(公告)日:2022-12-02

    申请号:CN202210817874.0

    申请日:2022-07-13

    Abstract: 本发明公开了一种基于双步吸收效应与STED原理的超分辨光刻方法,对于含有特殊光引发剂的光刻胶,使用两束不同波长的光源照射光刻胶,第一束激光以聚焦实心斑照射到光刻胶,利用聚焦实心斑与该光刻胶发生双步吸收作用使得光刻胶聚合固化;第二束激光为聚焦空心斑,且与第一束激光的三维中心对准,使得两束光边缘重合区域的光刻胶不发生聚合固化,通过控制两束光的相对能量,从而实现亚衍射极限2D及3D结构刻写,刻写最小精度可达亚50nm。

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