公开(公告)号：CN107924639A

公开(公告)日：2018-04-17

申请号：CN201680045233.0

申请日：2016-07-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 阿部哲也 ,  井中千草

IPC: G09B9/00 ,  A61B90/00 ,  G05G5/03

Abstract: 提供操作感觉再现装置，该操作感觉再现装置能够准确地传递触觉驱动力，并能够培养出微妙且细微的触觉感觉。即，该操作感觉再现装置具有：操作部，其供使用者进行操作；致动器部，其根据操作部的操作而产生触觉驱动力；以及驱动轴部，其将操作部和致动器部连结，该操作感觉再现装置将根据操作部的操作而由致动器部产生的触觉驱动力通过驱动轴部传递给操作部，从而使用者能够体验到实际的操作感，其中，致动器部具有定子和动子，在一方贯穿插入于另一方的状态下相对地进行变位从而产生触觉驱动力，动子和操作部由驱动轴部连结，定子、动子和驱动轴部各自的中心轴被设置在同一轴上。

公开(公告)号：CN104275278B

公开(公告)日：2017-12-26

申请号：CN201410299903.4

申请日：2014-06-27

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 堀内展雄

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种排气系统，能够在短时间内进行排气处理，并且通过抑制涂布液的劣化能够再利用排气处理中排出的涂布液。该排气系统是涂布装置的排气系统，所述涂布装置通过使具有贮存涂布液的歧管和细缝喷嘴的管套部从所述细缝喷嘴排出涂布液的同时进行扫描来在基板上形成涂布膜，在所述管套部上设置有向歧管供给涂布液的涂布液供给孔和通过从所述涂布液供给孔供给涂布液来排出所述歧管内存在的空气的排气孔，所述排气系统包括：排气罐，用来贮存从所述排气孔排出的含有空气的涂布液；减压器，对所述排气罐内的压力进行减压。

公开(公告)号：CN106185321A

公开(公告)日：2016-12-07

申请号：CN201610341223.3

申请日：2016-05-20

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 滨川健史 ,  宫岛勇也 ,  冈本贯志

IPC: B65G49/06

CPC classification number: B65G49/061 ,  B65G49/065 ,  B65G49/067

Abstract: 提供基板输送装置，即使在干燥温度的设定变更时，也不需要进行振动板与转乘单元的高度位置的调节。基板输送装置具有：多张振动板，它们使基板在基板输送面上超声波浮起；和加热器部，其设置在所述振动板的基板输送面的背侧，该基板输送装置构成为：在相邻的振动板的彼此之间设置有使基板转乘到下一个振动板的转乘单元，该转乘单元具有：输送空气喷出部，其向基板输送面侧喷出空气并形成基板输送面的一部分；和支承延长部，其朝向相邻的各个振动板延伸设置，在支承延长部中设置有朝向振动板喷出空气的支承空气喷出部，通过从该支承空气喷出部喷出的空气，将转乘单元非接触地支承在振动板之间，并将振动板的基板输送面与输送空气喷出部调整为平滑。

公开(公告)号：CN106166896A

公开(公告)日：2016-11-30

申请号：CN201610301189.7

申请日：2016-05-09

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 木浦敦之 ,  浅井一夫 ,  福岛雄悟

IPC: B41J2/165

CPC classification number: B41J2/165 ,  B41J2/16517

Abstract: 提供墨水防干燥装置，即使溶剂等的蒸发随着时间而推进也能够防止喷嘴内的墨水的干燥。墨水防干燥装置防止涂布喷头的墨水的干燥，该涂布喷头具有多个喷出墨水的喷嘴，该墨水防干燥装置具有：冲洗托盘，其形成有存留墨水的溶剂的溶剂存留部；以及多孔质部件，其以浸渍在冲洗托盘的溶剂存留部中的状态配置，并使墨水的溶剂包含在该多孔质部件中，多孔质部件具有与喷嘴相对的喷嘴相对面，多孔质部件的高度被设定为：在涂布喷头位于所述冲洗托盘上的状态下，喷嘴的前端位于在喷嘴相对面与喷嘴的前端之间所形成的适于防止墨水干燥的溶剂气氛内。

公开(公告)号：CN105983511A

公开(公告)日：2016-10-05

申请号：CN201610148078.7

申请日：2016-03-15

Applicant: 东丽薄膜先端加工有限公司 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 谷野圣 ,  谷尚树 ,  岸谷征典 ,  木田威

IPC: B05C5/02

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/0291

Abstract: 本发明的目的在于提供一种涂布装置和涂布方法，即使提高基材的搬运速度，并且使涂布膜的膜厚变薄，该涂布装置和该涂布方法也能够稳定地保持液珠，从而能够稳定地形成均匀的涂布膜。本发明的涂布装置具备狭缝模(10)和减压单元(20)，狭缝模(10)具有用来喷出涂布液的喷出用狭缝(13)，减压单元(20)设在狭缝模(10)的上游侧，减压单元(20)具备减压用狭缝(21)和减压室(22)，减压用狭缝(21)与喷出用狭缝(13)相邻而设，减压室(22)与减压用狭缝(21)相连结，喷出用狭缝(13)的开口面的上游侧缘部(13a)与减压用狭缝(21)的开口面(21a)的下游侧缘部(21b)之间的距离(L)小于1.0mm，减压用狭缝(21)的开口宽度(W)小于1.0mm。

公开(公告)号：CN105880130A

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201610059267.7

申请日：2016-01-28

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 藤原久嘉

IPC: B05D3/06 ,  B05B13/02

CPC classification number: B05D3/067 ,  B05B13/0278

Abstract: 提供涂布装置，能够在刚进行UV固化液的涂布后照射UV光，而且能够自由地设定该UV光的照射量，由此能够高精度地形成UV固化液膜的膜厚。涂布装置构成为具有：平台，其具有载置基板的基板载置面；涂布单元，其一边相对于所述平台向一个方向相对地移动，一边对载置在所述基板载置面上的基板涂布UV固化液；UV照射部，其从所述平台的与所述基板载置面垂直的侧面侧照射UV光；以及反射部，其使所述UV照射部的UV光向基板载置面侧反射。

公开(公告)号：CN102873052B

公开(公告)日：2016-08-24

申请号：CN201210241658.2

申请日：2012-07-12

Applicant: 东丽株式会社 ,  东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  川竹洋 ,  堀内展雄 ,  伊藤祯彦 ,  釜谷学

IPC: B08B3/12 ,  B05C9/08

Abstract: 本发明的目的在于在金属件（3）中，能够使现有技术中由于振动波（基于振动波的空穴现象）的传播不充分而残留的粘着物浮起，在短时间内得到期望的清洗结果，其中该金属件（3）内形成有在该金属件（3）宽度方向上长、且在该金属件（3）的前端开口的缝隙（7）。本发明提供的金属件的清洗方法包括：使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液（L）通过缝隙（7）向金属件内部流入；由此状态，使气体在缝隙（7）的宽度方向的全长通过缝隙（7）流入金属件内部；其后，使金属件前端（9）浸渍在清洗槽（11）内的施加了振动波的清洗液（L）中，使该清洗液L通过缝隙（7）向金属件内部流入。

公开(公告)号：CN105813761A

公开(公告)日：2016-07-27

申请号：CN201480067152.1

申请日：2014-11-19

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 本田显真

IPC: B05B5/08 ,  F04B53/10

CPC classification number: B05B5/1675 ,  B05B5/057

Abstract: 提供电喷雾装置，该电喷雾装置能够抑制因施加给溶液材料的电压(电流)导致送液驱动部破损。具体而言，该电喷雾装置(100)将从喷嘴(1)喷雾的溶液材料作为薄膜堆积在基板(200)上，该电喷雾装置(100)具有：喷嘴(1)，其在对溶液材料施加了电压的状态下进行喷雾；泵部(6)和电磁阀(7)，其用于将溶液材料输送给喷嘴(1)；接头部(8)，其设置在喷嘴(1)与泵部(6)、电磁阀(7)之间，包含由具有导电性的材料构成的接头主体部(81)，接头主体部(81)被接地。

公开(公告)号：CN103302009B

公开(公告)日：2016-05-18

申请号：CN201310057869.5

申请日：2013-02-25

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 宫岛勇也

IPC: B05D3/04 ,  B05C13/00

Abstract: 本发明提供一种热处理装置，在进行热处理时能够抑制涂布膜上形成干燥不匀，该热处理装置包括：多个振动板部（2），在搬运基板（W）的方向上并排排列；超声波发生部（4），向各振动板部（2）施加超声波振动；温度控制部（3），将规定的振动板部（2）温度控制在规定的温度，并且，对基板（W）以超声波振动悬浮来搬运的同时给基板（W）实施热处理，其中，部分或者全部振动板部（2）之间进一步配置有通过气体的喷射来使基板（W）悬浮的气体悬浮部（6）。

公开(公告)号：CN105562289A

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201510726031.X

申请日：2015-10-30

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 铃木晓雄

IPC: B05C5/00 ,  B05C11/10

Abstract: 本发明提供一种能够容易地去除配管内的滞留空气的涂布装置以及滞留空气去除方法。本发明的涂布装置构成为：通过使多个配管连结而将蓄留涂布液的涂布液容器与喷出涂布液的涂布单元连接，并通过涂布单元喷出涂布液容器中的涂布液，其中，所述配管通过用于将配管彼此连结的配管连结部而被连结，在所述涂布单元与配置于最接近所述涂布单元的位置上的所述配管连结部之间具有逆流送液装置，该逆流送液装置通过所述配管向所述涂布液容器侧进行送液。