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公开(公告)号:CN117012541B
公开(公告)日:2023-12-15
申请号:CN202311264390.9
申请日:2023-09-28
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于电感、线圈技术领域,尤其涉及一种高密度柔性微纳线圈的可控剥离制备方法,解决了背景技术中的技术问题,其包括准备刚性硅基底并在上表面粘贴聚酰亚胺胶带,在聚酰亚胺胶带上制作单层MEMS微纳线圈,之后旋涂光敏性聚酰亚胺膜;重复制作线圈以及旋涂光敏性聚酰亚胺膜,直至线圈的总层数达到要求;最终在最顶层旋涂作为应力绝缘层的光敏性聚酰亚胺膜进行封装;将成品整体浸泡于丙酮溶液,一定时间后将多层微纳线圈整体从刚性硅基底上剥离,得到柔性微纳线圈。聚酰亚胺胶带下表面的聚氨酯胶与有机溶剂丙酮发生反应,减少胶带的粘附力,应力绝缘层的张应力驱动膜层结构产生
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公开(公告)号:CN116944006A
公开(公告)日:2023-10-27
申请号:CN202311203223.3
申请日:2023-09-19
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于半导体技术领域,尤其涉及一种d11工作模式驱动的PMUT单元及其制备方法,解决了现有PMUT性能较低的技术问题,该方法包括在SOI片上表面制备压电层;在压电层上制作上电极;在SOI片下表面沉积二氧化硅层,在二氧化硅层的下表面向上刻蚀漏出SOI片的埋层;对二氧化硅层和SOI片中的埋层进行腐蚀,得到PMUT单元的空腔结构。本发明提供的PMUT单元采用压电材料表面横向伸缩工作模式膜薄压电层与振动层产生位移差,实现弯曲振动,可用于超声成像,同时可提高输出电压及相应灵敏度;该方法避免了压电层图形化过程中刻蚀工艺复杂、困难问题,该方法简单,可应用于医疗、工业、生物特征识别等领域。
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公开(公告)号:CN116566159A
公开(公告)日:2023-08-08
申请号:CN202310840865.8
申请日:2023-07-11
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于发电技术领域,尤其涉及一种叠层滑轨式振动能量采集器,解决了背景技术中的技术问题,其包括多个相连的能量采集单元;能量采集单元包括第一半圆筒、第二半圆筒、第三半圆筒、上端盖和下端盖,第一半圆筒、第二半圆筒拼接成圆筒结构;第二半圆筒开有滑槽,第三半圆筒设有与滑槽滑动配合的限位卡块,第一半圆筒上设置有多个线圈插槽,第三半圆筒上设置有多个磁铁插槽,相邻滑动磁铁的同极相对,上、下端盖连接至圆筒结构的两端,第一半圆筒底部设有卡环,卡环与下端盖间设有固定磁铁。该结构叠层式集成化设计,形成多个滑动磁铁‑线圈发电单元,提升了输出功率,变频调整可使能量采集单元与外部工作环境发生共振以达到最大输出。
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公开(公告)号:CN109781087B
公开(公告)日:2022-09-16
申请号:CN201811482396.2
申请日:2018-12-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本申请的目的是提供一种基于驻波模式的SAW陀螺仪,本申请通过采用压电耦合系数高、SAW传播速度高且声光耦合系数较大的128°Y‑X切LiNbO3压电基片,通过在收发天线触发的双端口谐振器的谐振腔之间放置材料为金的金属点阵和声光读出模式SAW接收端来实现一种新型的驻波模式的陀螺仪。收发天线的设计能够有效减少SAW陀螺仪需要的电子电路模块,即减少外电路的使用;所述SAW接收端采用高精度声光耦合模式读出角速率的变化,从而提高了SAW陀螺仪的准确度与灵敏度。
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公开(公告)号:CN114826016A
公开(公告)日:2022-07-29
申请号:CN202210570103.6
申请日:2022-05-24
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请公开了一种摩擦磁电复合微能源采集器,包括:用于将风能转化为机械能的风能捕获装置以及与所述风能捕获装置组装的发电装置,所述发电装置包括:摩擦‑电磁发电单元、外壳以及密封盖,所述摩擦‑电磁发电单元安装在所述外壳内并由所述密封盖密封。本申请将摩擦和电磁发电单元集成在同一器件上,实现对不同频率风能的高效采集,相对于传统的能源采集器件,具有更高的能源采集效率,解决了电子设备的自供电问题,特别是在无人值守环境中的监测、物联网等领域的供电和传感。
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公开(公告)号:CN114446661A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202111477532.0
申请日:2021-12-06
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请提供了一种基于化学机械抛光的多层陶瓷电容器及其制备方法,通过在基板上生长SiO2牺牲层与陶瓷薄膜层,分别对陶瓷薄膜层进行化学机械抛光并溅射电极,将两块陶瓷薄膜层键合,再腐蚀SiO2牺牲层释放陶瓷薄膜层,对释放后的陶瓷薄膜层两端溅射电极,多次重复后浸封陶瓷薄膜层两端的电极后高温煅烧,得到多层陶瓷电容器。本申请结合化学机械抛光与间接键合的方法实现了多层陶瓷电容器的制造,避免了在流延法工艺流程中的温度控制,可以在常温中实现陶瓷薄膜的制备,减少了高温、冷却和干燥过程对薄膜品质和性能产生的不利影响,获得了高品质,低应力,高致密度的压电陶瓷薄膜;无需高温烧结过程,具有更低的操作温度,保障了陶瓷薄膜的成品率。
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公开(公告)号:CN113374660A
公开(公告)日:2021-09-10
申请号:CN202110792949.X
申请日:2021-07-14
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明公开了一种关节发电装置,包括摆动臂、变速齿轮箱、发电机齿轮、发电机和整向模块组成;所述摆动臂固定连接有输入驱动轴,所述输入驱动轴上固设有输入齿轮;所述变速齿轮箱上端的齿轮箱初级齿轮与整向模块组成其中一个齿轮啮合,下端的齿轮箱终级齿轮与发电机齿轮啮合,所述发电机齿轮转动驱动发电机;本发明使用整向模块将关节的往复运动转换为输出齿轮的单向旋转运动,提高了关节发电装置对人体所携带机械能的采集效率,可为便携式电子设备持续供电。
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公开(公告)号:CN112177872A
公开(公告)日:2021-01-05
申请号:CN202011094587.9
申请日:2020-10-14
IPC: F03G7/08
Abstract: 本发明公开了一种往复式发电装置及发电背包,包括背板、发电机和弹簧往复回弹机构,所述弹簧往复回弹机构与背板滑动连接,弹簧往复回弹机构与背板之间安装连杆动力传递机构,连杆动力传递机构一端和背板固定连接,连杆动力传递机构另一端安装在弹簧往复回弹机构的滑板上;弹簧往复回弹机构的滑板上还设有单向传动机构和发电机,连杆动力传递机构连接单向传动机构,单向传动机构连接发电机转轴;滑板上下滑动过程中带动连杆动力传递机构动作,进而带动单向传动机构驱动发电机单向旋转运动而发电。本发明的发电装置应用在背包上,有效采集人体行走时背包上下振动产生的机械能,并用于发电,进而存储或供用电器使用,能够适应各种环境。
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公开(公告)号:CN111746766A
公开(公告)日:2020-10-09
申请号:CN202010575308.4
申请日:2020-06-22
Applicant: 中北大学
Abstract: 本申请公开了一种深水机械延时的多配重舱连接分离装置,包括:连接舱、多个吊环以及多个配重舱,其中,所述连接舱中设有连接分离机构,所述吊环的一端与所述连接分离机构可分离连接,所述吊环的另一端对应连接所述配重舱。本申请具有稳定性高,连接牢固,分离有效、灵活、方便,保证了配重舱的稳定连接和多级分离;本申请中的连接分离机构能够保证仪器在工作过程中受到较小的扰动,在分离时,按照预定时间分离配重舱,在尽量减少配重舱损失的情况下,保证测试仪器的主要部分和数据载体的可靠回收。
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公开(公告)号:CN110247536A
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201910357571.3
申请日:2019-04-29
Applicant: 中北大学
IPC: H02K35/02
Abstract: 本申请公开了一种防侧倾的六面体磁悬浮发电装置,包括:外壳,其具有顶盖和底盖;第一约束磁铁,其嵌套于所述顶盖中;第二约束磁铁,其嵌套于所述底盖中;悬浮振动磁铁,其设置在所述第一约束磁铁和所述第二约束磁铁之间的外壳内部;第一发电线圈,其设置在所述外壳内部并靠近所述顶盖设置;以及第二发电线圈,其设置在所述外壳内部并靠近所述底盖设置。本申请发电效率高,能量转换效率高,可防侧倾,适用于收集振动能量并将其转化为电能。
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